Inicio UFC-7300 UNIT Instruments Controlador de flujo másico analógico Serie 7300

UFC-7300 UNIT Instruments Controlador de flujo másico analógico Serie 7300

  • Manufacturer: UNIT Instruments

  • Product No.: UFC-7300

  • Condition: En stock

  • Product Type: Controlador de flujo másico

  • Product Origin: USA

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UFC-7300 | UNIT Instruments | Controlador analógico de flujo másico serie 7300

El UNIT Instruments UFC-7300 es un controlador analógico de flujo másico para la entrega precisa de gas en equipos industriales y de semiconductores. Su arquitectura de la serie 7300 combina el control proporcional de válvulas electromagnéticas, componentes de acero inoxidable en contacto con el gas y configuraciones eléctricas flexibles.

A diferencia de los controladores de alta temperatura con sellado totalmente metálico, esta configuración utiliza una junta tórica de elastómero Viton y un asiento de válvula Kel-F. Este diseño es adecuado para gases de proceso no corrosivos compatibles en los que el sellado convencional de elastómero proporciona una solución práctica.

El UFC-7300 admite rangos de flujo de extremo a extremo de 5 sccm a 30 slm, basados en la equivalencia de nitrógeno. Su interfaz analógica ofrece control por tensión o corriente, mientras que las configuraciones de alimentación seleccionables admiten diferentes arquitecturas de equipos.

01 | Identidad de la arquitectura y configuración del producto

Fabricante UNIT Instruments
Modelo UFC-7300
Serie del producto Serie 7300
Tipo de producto Controlador analógico de flujo másico
Tecnología de control Control electromagnético proporcional
Conjunto de válvula Válvula Unit 132
Estado de la válvula Solenoide normalmente cerrado
Configuración del sellado Junta tórica de elastómero Viton y asiento Kel-F
Configuración de calefacción Versión estándar sin calefacción

02 | Capacidad de flujo y rendimiento de control

La familia cubre un amplio rango de flujo para diferentes requisitos de entrega de gas. El valor real de extremo a extremo depende de la configuración solicitada y del gas calibrado.

Rango de extremo a extremo 5 sccm a 30 slm
Gas de referencia Equivalente a N2
Precisión analógica del UFC-7300 ±1 % FS
Repetibilidad ±0,15 % FS
Linealidad ±0,15 % FS
Relación de reducción 50:1
Rango de control 2–100 % FS
Respuesta de arranque rápido Menos de 1 segundo
Estabilidad del cero Menos del 0,60 % FS al año sin autoajuste a cero

Distinción importante del modelo: La especificación de precisión de ±1 % FS se aplica al UFC-7300 analógico. Los modelos digitales UFC-7301/7304 tienen diferentes especificaciones de precisión. No transfiera los datos de rendimiento de los modelos digitales a esta unidad analógica.

La respuesta de arranque rápido indicada describe la característica de respuesta inicial. Los perfiles de rampa lineal disponibles proporcionan un control adicional sobre las transiciones de flujo. Confirme el comportamiento de rampa requerido con la configuración real del controlador.

03 | Compensación ambiental y estabilidad

La temperatura del proceso y la presión de entrada pueden influir en la medición del flujo másico. Los siguientes coeficientes ayudan a los ingenieros a evaluar la variación esperada de la medición.

Coeficiente de temperatura del cero ±0,05 % FS/°C
Coeficiente de temperatura del rango ±0,1 % FS/°C
Coeficiente de presión 0,007 % de la lectura/psi
Temperatura de funcionamiento 0–50 °C

Para aplicaciones con condiciones ambientales variables, incluya los efectos de temperatura del cero y del rango en el presupuesto de error de medición. La variación de presión también requiere atención, especialmente cuando el regulador de suministro de gas no puede mantener una condición de entrada estable.

04 | Materiales de la trayectoria del gas y estrategia de sellado

Material principal en contacto con el gas Acero inoxidable 316L
Material del resorte Acero inoxidable 304
Acabado superficial 32 micro-pulgadas Ra
Sello de elastómero Junta tórica Viton
Asiento de válvula Kel-F
Tasa de fuga de helio 1 × 10⁻⁹ atm·cc/seg

La combinación de materiales admite gases de proceso de propósito general compatibles. Sin embargo, los ingenieros deben evaluar la trayectoria completa en contacto con el gas en lugar de basarse únicamente en la especificación del cuerpo de acero inoxidable.

  • Viton: Compruebe la compatibilidad con el gas real, la concentración y la temperatura de funcionamiento.
  • Asiento Kel-F: Verifique la compatibilidad química y los requisitos de limpieza del proceso.
  • Acero inoxidable 316L: Confirme la idoneidad para la química del gas y las condiciones de humedad.
  • Acabado superficial: Considere las 32 micro-pulgadas Ra especificadas al evaluar los requisitos de limpieza del gas.

Esta configuración con sellado de elastómero no debe sustituir automáticamente a un controlador con sellado totalmente metálico en servicios altamente corrosivos o sensibles a la contaminación.

05 | Envolvente de presión y condiciones de suministro de gas

Presión máxima de entrada 500 psig
Presión de prueba 1.500 psig
Presión diferencial del controlador 7–40 psid
Presión diferencial del medidor Menos de 4 torr (0,08 psid)

Los requisitos de presión difieren entre las configuraciones del controlador y del medidor. Mantenga la presión diferencial especificada para el dispositivo instalado. Nunca considere la presión de prueba como una presión de funcionamiento normal.

06 | Interfaz analógica y selección de alimentación

El UFC-7300 admite múltiples configuraciones eléctricas. Confirme la señal de control requerida, la disposición de suministro y el conector antes de solicitar un reemplazo.

Opciones de señal analógica 0–5 VCC o 4–20 mA
Alimentación de doble carril ±15 VCC
Alimentación de un solo extremo 11–33 VCC
Conector Borde de tarjeta de 20 pines
Potencia del controlador 4,5 W máximo a ±15 VCC
Potencia alternativa del controlador 4,8 W máximo a 11–33 VCC
Potencia del medidor 1,5–2 W

No asuma que cada unidad UFC-7300 admite todas las combinaciones de señal y alimentación. Confirme la placa de identificación, la asignación de pines del conector y la configuración del equipo original antes de realizar el cableado.

07 | Dimensiones mecánicas e integración del equipo

Altura 137,2 mm
Ancho 101,6 mm
Profundidad 37,6 mm
Referencia de huella Huella de 1,5 pulgadas
Peso 1,2 kg (2,65 lb), especificación a nivel de familia

Utilice el dibujo de contorno del fabricante para confirmar las dimensiones de montaje y la orientación de conexión. Compruebe la unidad real antes de modificar un panel de gas existente.

08 | Aplicaciones típicas de equipos y procesos

  • Entrega de gas para semiconductores: Controla gases de proceso compatibles en equipos de fabricación de semiconductores.
  • CVD y PVD: Admite la entrega controlada de gas en sistemas de deposición.
  • Sistemas de vacío: Proporciona regulación de flujo para disposiciones de suministro de gas compatibles.
  • Fibra óptica: Admite la entrega de gas en equipos de fabricación de fibra.
  • Equipos médicos: Sirve para aplicaciones compatibles de control de gas con una verificación de materiales adecuada.
  • Sistemas de combustión: Regula el flujo de gas en equipos de proceso y combustión.
  • Pruebas de fuga y purga: Admite el suministro controlado de gas durante las secuencias de prueba y purga.

09 | Fiabilidad y cumplimiento

MTBF del modelo analógico Más de 730.000 horas
Referencia de MTBF de la familia digital 1,5 millones de horas
Diseño EMC Electrónica blindada contra EMI/RFI
Cumplimiento Certificación CE
Trazabilidad de calibración Trazable al NIST

Las cifras de MTBF representan diferentes configuraciones de la familia. La cifra de la familia digital no describe el UFC-7300 analógico en sí. Confirme la documentación de fiabilidad aplicable para el modelo específico.

10 | Ingeniería de campo: Comprobaciones de instalación y mantenimiento

  1. Confirme la compatibilidad del gas. Compruebe la compatibilidad del Viton, Kel-F y acero inoxidable con el gas de proceso.
  2. Verifique el rango calibrado. Haga coincidir el valor de extremo a extremo del controlador con la receta del equipo.
  3. Compruebe la caída de presión. Mantenga la presión diferencial especificada a través del dispositivo instalado.
  4. Identifique la versión eléctrica. Confirme el funcionamiento de 0–5 VCC o 4–20 mA antes de realizar el cableado.
  5. Verifique la tensión de alimentación. Identifique la configuración de alimentación de doble carril o de un solo extremo.
  6. Inspeccione la válvula normalmente cerrada. Confirme el comportamiento de aislamiento de gas previsto durante la pérdida de alimentación.
  7. Evalúe la deriva del cero. Registre la salida cero bajo condiciones de prueba consistentes durante el mantenimiento programado.

Para un flujo inestable, investigue la presión de entrada, la selección de gas, la escala eléctrica y el comportamiento de la válvula antes de cambiar la calibración del controlador. Esta secuencia ayuda a aislar las fallas a nivel de sistema de los problemas relacionados con el instrumento.

11 | Preguntas frecuentes

P1: ¿Cómo pueden los ingenieros distinguir un problema del controlador de un problema del regulador aguas arriba?

Monitoree la presión de entrada mientras el controlador cambia su punto de consigna. Si la presión de entrada fluctúa con la demanda, investigue la capacidad del regulador, las restricciones de suministro y el dimensionamiento de la línea aguas arriba. Si la presión de entrada permanece estable, continúe comprobando la señal de control, la respuesta de la válvula y la configuración del gas calibrado.

P2: ¿Por qué un controlador podría mostrar una salida cero aceptable pero una precisión de flujo deficiente?

La estabilidad del cero y la precisión del rango describen diferentes características de rendimiento. Una unidad puede mantener un cero estable mientras su medición de flujo se desvía bajo condiciones de funcionamiento. Compruebe el gas de referencia, la caída de presión, el rango de calibración y los efectos de temperatura antes de diagnosticar una falla del sensor.

P3: ¿Qué debe considerarse al reemplazar una marca de MFC diferente con este modelo?

Compare el rango de extremo a extremo, la calibración del gas, la caída de presión, la escala analógica, la asignación de pines del conector, el estado de la válvula y los materiales en contacto con el gas. El ajuste mecánico por sí solo no establece la intercambiabilidad. Confirme que el controlador anfitrión pueda suministrar la potencia eléctrica requerida e interpretar el tipo de señal seleccionado.

P4: ¿Puede el UFC-7300 manejar gases que requieren líneas de entrega calefactadas?

La configuración suministrada describe una versión estándar sin calefacción. Para los gases que se condensan cerca de la temperatura ambiente, evalúe los requisitos térmicos completos antes de seleccionar este modelo. Una línea de gas calefactada no puede compensar una trayectoria de flujo interna sin calefacción cuando el gas requiere un control de temperatura continuo.

P5: ¿Cuándo deben los equipos de mantenimiento investigar la degradación del sello de elastómero?

Investigue el estado del sello cuando aparezca una fuga, un cero inestable, contaminación o un comportamiento de gas inesperado. Revise el historial de exposición al gas y la temperatura de funcionamiento. No seleccione elastómeros de reemplazo únicamente por el tamaño físico; confirme el material especificado y el diseño de sellado.

12 | Información de pedido y verificación de configuración

El UNIT Instruments UFC-7300 es un controlador analógico de flujo másico para sistemas de gas industriales y de semiconductores compatibles. Sus opciones eléctricas flexibles y su trayectoria de gas con sellado de elastómero admiten un amplio rango de configuraciones de equipos.

  • Marca: UNIT Instruments
  • Modelo: UFC-7300
  • Serie: Serie 7300
  • Tipo de producto: Controlador analógico de flujo másico
  • Rango de flujo: 5 sccm a 30 slm, equivalente a N2
  • Señal de control: 0–5 VCC o 4–20 mA
  • Opciones de alimentación: ±15 VCC o 11–33 VCC, sujeto a configuración
  • Tipo de sello: Junta tórica Viton y asiento Kel-F

Al solicitar una cotización, proporcione el número de modelo completo, el rango de flujo de extremo a extremo, el tipo de gas, el formato de señal, la tensión de alimentación y los detalles del conector. Estas especificaciones ayudan a verificar la compatibilidad con su sistema de entrega de gas existente.

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