UFC-1660 UNIT Instruments MFC analógico de precisión serie 1660
Manufacturer: UNIT Instruments
Product No.: UFC-1660
Condition： En stock
Product Type: Controlador de flujo másico
Product Origin: USA
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Weight: 500g
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Controlador analógico de flujo másico UFC-1660 de UNIT Instruments
El UNIT Instruments UFC-1660 es un controlador analógico de flujo másico de la serie 1660. Combina una trayectoria de gas de alta pureza con sellos metálicos y la probada válvula electromagnética proporcional Unit 132. La plataforma admite la entrega de gases de proceso para semiconductores en aplicaciones donde son importantes la capacidad de presión, la regulación repetible del flujo y las superficies en contacto limpias.
Esta configuración analógica básica cubre rangos de flujo a escala completa de 3 sccm a 30 slm, basados en un flujo equivalente al nitrógeno. Utiliza señales de consigna y monitoreo de 0–5 VCC para la integración con equipos. Su construcción con sellos metálicos y su amplio rango de presión lo hacen adecuado para paneles de gas de alta pureza y herramientas de proceso para semiconductores.
01 | Adaptación al proceso: aplicaciones del UFC-1660
El UFC-1660 satisface los requisitos de entrega de gas en la fabricación de semiconductores. Su arquitectura de control analógico es adecuada para equipos que utilizan señales de comando y monitoreo convencionales basadas en voltaje.
- Grabado por plasma: Regula la entrega de gas de proceso a las cámaras de grabado.
- Deposición química de vapor (CVD): Permite un flujo de gas controlado durante la deposición de películas.
- Difusión: Proporciona una entrega de gas repetible para equipos de procesamiento térmico.
- Epitaxia (EPI): Permite regular el flujo de gas en sistemas de crecimiento epitaxial.
- Pulverización catódica: Controla el suministro de gas de proceso en equipos de deposición física de vapor.
- Paneles de gas de alta pureza: Se integra en sistemas de distribución de gas mediante controles analógicos compatibles.
La compatibilidad de gas especificada incluye gases de proceso no corrosivos y moderadamente corrosivos. La calibración estándar se basa en nitrógeno. Confirme la compatibilidad del gas y los requisitos de calibración antes de utilizar el controlador en una química de proceso determinada.
02 | Regulación del flujo: precisión en todo el rango de trabajo
El UFC-1660 ofrece un rango de control del 2 % al 100 % de la escala completa. La especificación de precisión varía según el punto de operación, por lo que los ingenieros deben evaluar la consigna de proceso requerida en relación con el rango seleccionado.
| Parámetro de rendimiento | Especificación |
| Rango de flujo a escala completa | 3 sccm a 30 slm, equivalente a N2 |
| Precisión por encima del 35 % de la escala completa | ±1 % de la escala completa, modelo analógico |
| Precisión por debajo del 35 % de la escala completa | ±0,35 % de la escala completa, modelo analógico |
| Repetibilidad | ±0,15 % de la escala completa, según SEMI E56-96 |
| Linealidad | ±0,5 % de la escala completa, según SEMI E27-92 |
| Rango de control | 2 % al 100 % de la escala completa |
| Tiempo de estabilización de arranque rápido | ≤1,0 segundo, según SEMI E17-91 |
| Rampa de arranque suave | Lineal, 20 % por segundo |
Las especificaciones de arranque rápido y arranque suave describen comportamientos de funcionamiento distintos. El arranque rápido permite la estabilización tras un cambio de consigna. El arranque suave aplica una rampa lineal controlada al 20 % por segundo. Seleccione el comportamiento de arranque adecuado según la secuencia del proceso y los requisitos del equipo.
03 | Rango de presión y condiciones de entrega de gas
La plataforma 1660 admite condiciones exigentes de suministro de gas. Sus límites de presión nominal deben considerarse por separado durante el diseño del sistema.
- Presión máxima de funcionamiento: 3500 kPa (500 psi)
- Presión de prueba: 10500 kPa (1500 psi)
- Presión diferencial: 6,65–350 kPa (50 torr–50 psid)
- Coeficiente de presión: 0,007 % de la lectura por psi, N2
La presión máxima de funcionamiento define el límite de operación indicado. La presión de prueba es una clasificación de resistencia a la presión independiente y no debe considerarse como una condición de funcionamiento normal. La presión diferencial también debe mantenerse dentro del rango especificado para garantizar el rendimiento de flujo requerido.
04 | Trayectoria de flujo de alta pureza: sellos metálicos y acabado superficial
El UFC-1660 utiliza un conjunto en contacto con el gas con sellos metálicos, diseñado para aplicaciones de gas de alta pureza. Su acabado superficial interno estándar es Ra de 16 micro-pulgadas, con una opción de Ra de 10 micro-pulgadas especificada para aplicaciones que requieren un acabado más fino.
| Detalle de construcción | Especificación |
| Materiales en contacto con el gas | Acero inoxidable 316L, K-M43, acero inoxidable 304 y 7Mo |
| Acabado superficial estándar | Ra de 16 micro-pulgadas |
| Acabado superficial opcional | Ra de 10 micro-pulgadas |
| Tipo de sello | Sello metálico, sello en C o sello en W |
| Material del asiento | Kel-F o asiento metálico |
| Integridad de estanqueidad | 1 × 10-10 atm-cc/seg He, según SEMI E16-90 |
La configuración con sellos metálicos es adecuada para aplicaciones en las que se prefiere una estanqueidad sin elastómeros. Sin embargo, debe confirmarse la configuración exacta del sello y el asiento con la unidad adquirida. No asuma que todos los UFC-1660 utilizan la misma combinación.
05 | Válvula Unit 132: control electromagnético proporcional
El UFC-1660 utiliza la válvula electromagnética proporcional Unit 132 para regular el flujo. La plataforma también ofrece configuraciones de solenoide normalmente cerradas o normalmente abiertas.
- Plataforma de válvula: Válvula electromagnética proporcional Unit 132
- Opciones de accionamiento de la válvula: Normalmente cerrada o normalmente abierta
- Función de control: Regulación proporcional del flujo de gas
El accionamiento de la válvula determina el estado predeterminado de la trayectoria del gas cuando la válvula no está energizada. Los ingenieros deben verificar la configuración requerida en relación con la secuencia de parada del equipo y la estrategia de aislamiento de gas. Confirme la opción de válvula instalada antes de la puesta en servicio o sustitución.
06 | Interfaz analógica y requisitos eléctricos
Esta configuración del UFC-1660 es el modelo analógico básico de la familia 1660. Utiliza señales de voltaje para la entrada de consigna y el monitoreo del flujo en lugar de depender de una interfaz de comunicación digital nativa.
- Entrada de consigna: 0–5 VCC
- Salida de monitoreo: 0–5 VCC
- Opciones de conector: Borde de tarjeta de 20 pines o D-sub de 9/15 pines
- Fuente de alimentación: +15 VCC, 100 mA máximo
- Alimentación negativa: -15 VCC, 200 mA máximo
- Consumo máximo de energía: 4,5 W
- Autoajuste de cero: Opcional en configuraciones analógicas
Antes de la instalación, identifique el tipo de conector y verifique la asignación de pines en el lado del equipo. Confirme la escala de la señal, la polaridad de la alimentación y la capacidad de corriente disponible. También debe comprobarse la disponibilidad del autoajuste de cero en relación con la configuración específica. No debe asumirse que este modelo analógico básico incluya la función de autoajuste de cero estándar de los modelos digitales.
07 | Comportamiento térmico y estabilidad a largo plazo
El UFC-1660 estándar es un modelo sin calefacción. Su rango de temperatura de funcionamiento especificado es de 0 a 50 °C. Las variaciones de temperatura y presión pueden afectar el flujo medido, por lo que las condiciones del sistema deben mantenerse controladas durante el funcionamiento del proceso.
| Parámetro | Especificación |
| Temperatura de funcionamiento | 0–50 °C (32–122 °F) |
| Configuración calefactada | No; versión estándar sin calefacción |
| Estabilidad del cero | ≤0,6 % de la escala completa al año, sin autoajuste de cero |
| Coeficiente de temperatura del cero | 0,05 % de la escala completa/°C |
| Coeficiente de temperatura del rango | 0,1 % de la escala completa/°C |
Para aplicaciones con temperatura ambiente variable, considere los coeficientes de cero y de rango indicados al evaluar la estabilidad de la medición. Cuando la unidad analógica no incluya autoajuste de cero, incorpore la verificación del cero al plan de mantenimiento del equipo.
08 | Dimensiones mecánicas y planificación de la instalación
- Dimensiones aproximadas (Al. × An. × Pr.): 137 × 127 × 38 mm
- Espacio ocupado: 1,5 pulgadas
- Longitud total de 1/4 VCR: 124 mm
- Peso: 1,2 kg (2,65 lb)
Consulte el plano mecánico aplicable antes de preparar la placa de montaje o las conexiones de las líneas de gas. Las dimensiones indicadas son aproximadas. Confirme el espacio libre del conector, la orientación de los puertos y la longitud total instalada con la configuración real de la unidad.
09 | Lista de verificación de puesta en servicio para ingenieros de equipos
- Identifique el gas: Confirme el gas de proceso y su compatibilidad con los materiales en contacto y la configuración de los sellos.
- Verifique la calibración: La calibración suministrada se basa en nitrógeno. Confirme si el proceso requiere una calibración con un gas aplicable.
- Ajuste el rango de flujo: Compare la consigna de funcionamiento requerida con el rango de escala completa seleccionado y el rango de control del 2 % al 100 % de la escala completa.
- Compruebe las condiciones de presión: Verifique la presión de suministro y la presión diferencial antes de habilitar el flujo.
- Confirme la opción de válvula: Compare el comportamiento normalmente abierto o normalmente cerrado con la secuencia de funcionamiento del equipo.
- Inspeccione la interfaz: Haga coincidir el conector de borde de tarjeta o D-sub, las señales de 0–5 VCC y los requisitos de alimentación.
- Valide la respuesta: Pruebe el comportamiento de estabilización de arranque rápido y de rampa de arranque suave en el sistema real de entrega de gas.
- Registre los valores de referencia: Documente la salida de cero, la respuesta a la consigna y la presión de funcionamiento para futuras comparaciones de mantenimiento.
10 | Referencias de cumplimiento y calibración
Las especificaciones del UFC-1660 hacen referencia a las siguientes normas y certificaciones:
- CE: Certificado CE
- SEMI E12: Norma de cumplimiento de referencia
- SEMI E16-90: Referencia de integridad de estanqueidad
- SEMI E17-91: Referencia del tiempo de estabilización de arranque rápido
- SEMI E27-92: Referencia de linealidad
- SEMI E56-96: Referencia de repetibilidad
- Calibración: Calibración trazable al NIST
Confirme la documentación aplicable y los registros de cumplimiento específicos de la configuración al calificar el controlador para una herramienta de producción.
11 | Preguntas frecuentes para ingenieros
P1: ¿Puede el UFC-1660 sustituir a un controlador de flujo másico que utiliza un bus de comunicación digital?
No como sustituto eléctrico directo. Este modelo analógico básico utiliza señales de consigna y monitoreo de 0–5 VCC. Un proyecto de sustitución debe verificar la interfaz de señales del controlador anfitrión, el cableado del conector, la escala y la lógica de control. Si el sistema existente depende de la comunicación digital, compruebe si el equipo admite una interfaz analógica antes de seleccionar este modelo.
P2: ¿Qué debe considerarse al elegir una construcción con sello en C frente a una con sello en W?
La selección depende de la conexión de gas especificada, la disposición de los sellos y la interfaz del equipo. Confirme la geometría de sello requerida y el hardware de acoplamiento compatible en el plano de la unidad o en la especificación de adquisición. No seleccione un sello únicamente por su nombre ni asuma que las dos configuraciones son intercambiables.
P3: ¿Cómo deben evaluar los ingenieros la opción de acabado superficial Ra de 10 micro-pulgadas?
Comience con la especificación de limpieza del proceso y los requisitos del sistema de distribución de gas. El acabado estándar es Ra de 16 micro-pulgadas, mientras que Ra de 10 micro-pulgadas es una configuración opcional. Confirme que la unidad adquirida incluya el acabado requerido y la documentación de respaldo si la calificación del proceso lo especifica.
P4: ¿Qué puede causar que una lectura de flujo cambie después de que se haya revisado un panel de gas?
Los elementos comunes a investigar incluyen cambios en la presión de suministro, gas atrapado, contaminación de las conexiones, restricciones alteradas en las líneas y conexiones eléctricas dañadas. Primero, estabilice el suministro de gas y compare la presión diferencial real con el requisito de funcionamiento. Luego, verifique la salida de cero y la señal de comando antes de cambiar los ajustes de calibración.
P5: ¿Cómo debe considerarse la función de arranque suave al secuenciar varias líneas de gas?
La rampa de arranque suave especificada es lineal al 20 % por segundo. Cuando varias líneas de gas arrancan juntas, considere cómo sus perfiles de rampa individuales afectan la presión de la cámara y la temporización del proceso. Valide la secuencia a nivel del equipo, especialmente cuando el orden de introducción de gas o los transitorios de presión influyen en la receta del proceso.
Resumen de selección del producto UFC-1660
El UNIT Instruments UFC-1660 es un controlador analógico de flujo másico de alta pureza construido en torno a la plataforma de sellos metálicos de la serie 1660 y la válvula electromagnética proporcional Unit 132. Ofrece rangos equivalentes a N2 de 3 sccm a 30 slm, control de 0–5 VCC y un amplio rango de presión de funcionamiento. Su configuración se evalúa mejor haciendo coincidir la compatibilidad del gas, el tipo de sello, el accionamiento de la válvula, el conector y los requisitos de calibración con el equipo de proceso existente.
Contáctenos para consultar la disponibilidad del UFC-1660, confirmar la configuración y solicitar una cotización.
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