Controlador analógico de flujo de gas FC-R7700 AERA | Serie FC-R7700

FC-R7700 | Controlador analógico de flujo másico AERA

El AERA FC-R7700 es un controlador analógico de flujo másico económico diseñado para suministrar con precisión gases inertes y otros gases no corrosivos. Combina un conducto de gas con sellos de elastómero, una válvula de control de solenoide e interfaz analógica de 0–5 VCC en un diseño compacto.

Con opciones de flujo a escala completa de 10 sccm a 5 slm, el FC-R7700 permite regular el flujo de gas en equipos de procesos de semiconductores, sistemas de vacío y aplicaciones de recubrimiento industrial. Su construcción estándar sin calefacción ofrece una solución práctica para aplicaciones que no requieren suministro de gas con control de temperatura.

Enfoque de ingeniería: La unidad ofrece una precisión del ±1 % de la escala completa (FS), una repetibilidad del ±0,2 % de la FS y un rango de control del 2–100 % de la FS. Estas especificaciones permiten un control estable del punto de consigna en un amplio rango de funcionamiento cuando el gas, la presión y las condiciones de instalación coinciden con la configuración seleccionada.

01 | Rendimiento de un vistazo

Parámetro	Especificación
Fabricante	AERA
Modelo	FC-R7700
Serie	Serie FC-R7700
Tipo de producto	Controlador analógico de flujo másico (MFC)
Rango de flujo a escala completa	10 sccm a 5 slm
Precisión	≤ ±1 % de la escala completa
Repetibilidad	≤ ±0,2 % de la escala completa
Linealidad	≤ ±0,5 % de la escala completa
Rango de control	2–100 % de la escala completa
Tiempo de respuesta	Menos de 2 segundos para estabilizarse dentro de ±2 % de la FS entre puntos de consigna
Estabilidad del cero	Menos del 0,5 % de la FS durante un año
Temperatura de funcionamiento	5 a 45 °C (41 a 113 °F)
Configuración de calefacción	Versión estándar sin calefacción
Peso	Aproximadamente 1,0 kg (2,2 lb)
Cumplimiento	RoHS

02 | Arquitectura de control y compatibilidad con gases

El FC-R7700 utiliza un sistema analógico de comando y retroalimentación. Una entrada de 0–5 VCC establece el flujo objetivo, mientras que la salida analógica proporciona la señal de flujo correspondiente al controlador principal o al equipo de proceso.

• Señal de comando: Entrada analógica de 0–5 VCC.
• Señal de retroalimentación: Salida analógica de 0–5 VCC.
• Conector eléctrico: Conector D de 9 pines AERA.
• Mecanismo de la válvula: Válvula de solenoide.
• Configuración de la válvula: Normalmente abierta o normalmente cerrada, según la versión solicitada.
• Compatibilidad con gases: Gases inertes y no corrosivos, incluidos nitrógeno, oxígeno y argón, sujetos a la configuración de gas especificada.

Nota de selección: Confirme la calibración del gas y la configuración de la válvula antes de realizar el pedido. El uso de oxígeno requiere la confirmación de la limpieza de los materiales y la idoneidad de la aplicación. No asuma que todas las configuraciones estándar están aprobadas para todos los gases.

03 | Materiales del conducto de gas y rango de presión

Artículo	Detalles
Materiales del cuerpo en contacto con el gas	Acero inoxidable 316/316L, PTFE y acero inoxidable magnético
Materiales de los sellos	Fluoroelastómero o caucho cloropreno
Diseño del sello	Sellado con elastómero
Presión diferencial de funcionamiento	7–40 psiD
Presión normal de funcionamiento	70 psig
Presión máxima de entrada	140 psig
Tasa de fuga de helio	≤ 1 × 10⁻⁶ atm·cc/seg; también especificada como ≤ 1 × 10⁻⁷ Pa·m³/seg

El diseño de sellos de elastómero ofrece una opción económica para sistemas de gases no corrosivos compatibles. La selección del sello es importante porque el fluoroelastómero y el caucho cloropreno tienen diferentes límites de compatibilidad química y de temperatura.

La presión diferencial especificada es la diferencia de presión requerida a través del controlador. No es intercambiable con la clasificación de presión de entrada. Mantenga la presión diferencial requerida en las condiciones reales de flujo del proceso.

04 | Integración eléctrica y mecánica

Artículo de integración	Especificación
Fuente de alimentación	+15 VCC ±2 % a 25 mA
Alimentación negativa	−15 VCC ±2 % a 180 mA
Potencia máxima	3,1 W
Interfaz de señal	Comando y salida de 0–5 VCC
Conector	Conector D de 9 pines AERA
Dimensiones (Al. × An. × Pr.)	119 × 32 × 124 mm
Dimensión de puerto a puerto	124 mm
Ancho del cuerpo	32 mm
Altura total	119 mm

Antes de la instalación, compruebe el espacio de montaje disponible, la alineación de las líneas de gas, el acceso a los conectores y la capacidad de la fuente de alimentación. Verifique la asignación real de los pines del conector con la documentación del equipo antes de realizar el cableado.

05 | Aplicaciones del FC-R7700

• Fabricación de semiconductores: Suministro de gas para equipos de CVD, PVD, grabado, difusión, implantación iónica y pulverización catódica.
• Producción de pantallas planas: Regulación del flujo en sistemas compatibles de suministro de gases de proceso.
• Fabricación de almacenamiento de datos: Control de gas para procesos de deposición y recubrimiento.
• Equipos industriales de vacío: Inyección controlada de gas en aplicaciones de gases no corrosivos.
• Recubrimiento industrial: Gestión del flujo para procesos compatibles con gases inertes.

06 | Lista de verificación de instalación y puesta en servicio

1. Confirme la configuración del modelo. Haga coincidir el flujo a escala completa, la calibración del gas, el material del sello, la acción de la válvula y el tipo de conexión con los requisitos del proceso.
2. Inspeccione las líneas de gas. Elimine partículas, humedad, aceite y otros contaminantes que puedan afectar el conducto de flujo o el funcionamiento de la válvula.
3. Compruebe las condiciones de presión. Mantenga una presión diferencial de 7–40 psiD y verifique que la presión de entrada se mantenga dentro del máximo de 140 psig.
4. Verifique las fuentes de alimentación eléctrica. Proporcione los rieles de CC positivos y negativos especificados. Confirme la polaridad y la estabilidad de la alimentación antes de conectar la unidad.
5. Compruebe las señales analógicas. Confirme los rangos de comando y salida de 0–5 VCC, la disposición de puesta a tierra y la asignación de los pines del conector.
6. Realice una comprobación del cero y del flujo. Siga el procedimiento del fabricante del equipo y utilice un instrumento de referencia calibrado adecuado.
7. Valide la respuesta del proceso. Pruebe cambios representativos en el punto de consigna y confirme que el flujo medido se estabilice dentro de la tolerancia requerida del proceso.

Para la resolución de problemas, compruebe primero la presión de suministro de gas, las restricciones aguas abajo, los rieles eléctricos, el cableado de las señales y la calibración del gas. Las lecturas de flujo inesperadas pueden deberse a un factor de gas incorrecto o a una presión diferencial inadecuada, no necesariamente a un fallo del controlador.

07 | Consideraciones de sustitución y selección

El FC-R7700 se describe como compatible con opciones de conexión de estilo VCR, VCO y Swagelok, y como adecuado para sustituir productos seleccionados de otras marcas. Sin embargo, el estilo de conexión por sí solo no establece la compatibilidad de sustitución directa.

• Haga coincidir el rango de flujo a escala completa y la calibración del gas.
• Compruebe el gas de proceso con los materiales en contacto y el sello de elastómero.
• Verifique la presión de entrada y la presión diferencial disponible.
• Confirme el tamaño del puerto, el tipo de conexión, la orientación y las dimensiones de puerto a puerto.
• Compare el rango de la señal analógica, el conector, la asignación de pines y los requisitos de alimentación.
• Confirme la acción de la válvula normalmente abierta o normalmente cerrada.

Para la sustitución entre marcas, compare la interfaz mecánica y eléctrica completa antes de retirar la unidad existente. Un rango de flujo similar no garantiza una calibración o un comportamiento de control equivalente.

08 | Suministro, embalaje y garantía

• Estado del producto: Nuevo y original en embalaje de fábrica
• Garantía de fábrica: 12 meses
• Opciones de envío: FedEx, UPS y DHL
• Documentación: Confirmación del modelo y la configuración disponible bajo petición.

Póngase en contacto con nuestro equipo de ventas con el rango de flujo requerido, el gas de proceso, el tipo de conexión y la acción de la válvula. Esta información ayuda a confirmar la configuración correcta del FC-R7700 antes del envío.

09 | Global PLC Spare HUB – Perspectiva de ingeniería

Al seleccionar el FC-R7700, los ingenieros deben evaluar el flujo mínimo controlable en lugar de depender únicamente de la clasificación de flujo máximo. Su rango de control del 2–100 % de la FS proporciona un límite inferior nominal de control de 0,2 sccm para un modelo de 10 sccm, o de 0,1 slm para un modelo de 5 slm.

La precisión se especifica como un porcentaje de la escala completa, no de la lectura instantánea. Por ejemplo, una configuración de 5 slm con una precisión del ±1 % de la FS tiene un rango de precisión declarado de ±0,05 slm. Esta distinción es importante cuando el proceso funciona cerca del extremo inferior del rango.

El sello de elastómero es otro factor de selección clave. Confirme el compuesto exacto del sello y la compatibilidad con el gas, especialmente para oxígeno o aplicaciones de proceso especiales. Para proyectos de sustitución, verifique la interfaz analógica, la presión diferencial, la geometría de la conexión y la posición de fallo de la válvula antes de la instalación.

10 | Preguntas frecuentes

P1. ¿Cómo debo elegir entre un modelo de 10 sccm y uno de 5 slm a escala completa?

Comience con el flujo normal del proceso, luego compruebe la demanda máxima y el flujo mínimo de funcionamiento. Evite elegir un rango mucho mayor al necesario porque el rango de control utilizable y la precisión absoluta a escala completa pueden afectar al control del proceso a bajo flujo.

P2. ¿Por qué el flujo indicado puede diferir del flujo real del proceso después de cambiar los gases?

Los controladores de flujo másico dependen de una calibración específica del gas. Un controlador calibrado para nitrógeno puede no reportar un flujo preciso para argón u oxígeno sin la calibración de gas correcta. Confirme la configuración del gas antes de la puesta en servicio.

P3. ¿Puede el FC-R7700 sustituir un MFC analógico de otro fabricante sin cambiar el sistema de control?

No automáticamente. Compare la escala de comando y retroalimentación, la asignación de pines del conector, los rieles de alimentación, el rango a escala completa, la calibración del gas y la acción de la válvula. La compatibilidad mecánica de la conexión por sí sola es insuficiente para una sustitución fiable.

P4. ¿Qué debo investigar si el controlador no puede alcanzar su punto de consigna de flujo?

Compruebe primero la presión diferencial a través de la unidad. Luego inspeccione los filtros aguas arriba, las restricciones aguas abajo, la capacidad de suministro de gas, la escala de la señal y la calibración. Una caída de presión fuera de la ventana de funcionamiento especificada puede limitar el flujo alcanzable.

P5. ¿Cuándo debo seleccionar una acción de válvula normalmente abierta en lugar de normalmente cerrada?

Base la elección en el diseño de seguridad del proceso y el comportamiento requerido del gas tras la pérdida de alimentación eléctrica. Confirme la filosofía de parada del equipo y la configuración real de la válvula antes de realizar el pedido. No infiera la posición de fallo únicamente por la familia del modelo.

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