SEC-Z517 HORIBA STEC SEC-Z500X Controlador de flujo másico EtherCAT

Controlador de flujo másico EtherCAT HORIBA STEC SEC-Z517 | SEC-Z500X

El SEC-Z517 de HORIBA STEC es un controlador digital de flujo másico perteneciente a la serie SEC-Z500X EtherCAT. Regula el flujo de gas de proceso mediante comunicación digital de alta velocidad y un control de precisión de la válvula piezoeléctrica.

Este modelo está destinado a equipos de fabricación de semiconductores que requieren un suministro rápido de gas y una regulación de flujo repetible. Su interfaz EtherCAT permite la integración con arquitecturas de control de equipos en tiempo real.

El controlador cubre rangos de flujo de escala completa de 10 SCCM a 5,5 SLM. Su configuración multigas y multirango permite adaptarse a diferentes requisitos de gas de proceso.

Con un tiempo de respuesta de T98 ≤1 segundo, el SEC-Z517 permite ajustes rápidos de flujo. Su especificación de precisión a bajo flujo también permite aplicaciones que requieren un suministro preciso de gas.

01. Identidad y configuración del producto

Fabricante	HORIBA STEC
Modelo	SEC-Z517
Serie del producto	SEC-Z500X
Versión de comunicación	EtherCAT
Tipo de producto	Controlador digital de flujo másico (MFC)
Elemento de control	Válvula con actuador piezoeléctrico
Configuración de gas	Multigas / multirango
Configuración de calefacción	Versión estándar sin calefacción
Alimentación eléctrica	24 VCC, 6,8 VA

02. Rendimiento de medición y control de flujo

La precisión del flujo y la velocidad de respuesta afectan directamente al suministro de gas de proceso. Las siguientes especificaciones definen el rendimiento de control del SEC-Z517.

Parámetro	Especificación
Rango de flujo de escala completa	10 SCCM a 5,5 SLM
Gas de referencia	Equivalente a N2
Configuración de rango	MR / MG seleccionable
Rango de control	2% a 100% de la escala completa
Relación de reducción	50:1
Precisión por encima del 25% de la escala completa	±1,0% del valor de consigna
Precisión en el 25% o por debajo de la escala completa	±0,25% de la escala completa
Repetibilidad	±0,2% de la escala completa
Linealidad	±0,5% de la escala completa
Tiempo de respuesta	≤1 segundo, T98

Interpretación técnica

• Precisión a bajo flujo: La especificación de ±0,25% de la escala completa se aplica a valores de consigna del 25% de la escala completa o inferiores.
• Rango de funcionamiento normal: Por encima del 25% de la escala completa, la precisión cambia a ±1,0% del valor de consigna.
• Repetibilidad: El ±0,2% de la escala completa permite una regulación de flujo constante en ciclos de funcionamiento repetidos.
• Linealidad: El ±0,5% de la escala completa describe la desviación de la relación de flujo lineal especificada.
• Respuesta: T98 ≤1 segundo indica el rendimiento de respuesta especificado en todo el rango.

Consejo de selección: Evalúe la precisión utilizando el valor de consigna de funcionamiento real. No compare directamente la precisión como porcentaje del valor de consigna con la precisión como porcentaje de la escala completa.

03. Compatibilidad con gases y construcción en contacto con el proceso

El SEC-Z517 admite múltiples gases de proceso mediante configuraciones de gas y rango seleccionables.

Compatibilidad con gases especificados

• Nitrógeno (N2)
• Argón (Ar)
• Hidrógeno (H2)
• Helio (He)
• Oxígeno (O2)
• Hexafluoruro de azufre (SF6)
• Bromuro de hidrógeno (HBr)
• Hexafluoruro de tungsteno (WF6)
• Otros gases compatibles sujetos a configuración

Materiales en contacto y sellos

Material en contacto	Acero inoxidable SUS316L
Superficie interna	Acabado pulido, estándar
Opciones de sellos	Metal o elastómero
Tecnología de la válvula	Válvula con actuador piezoeléctrico
Configuración de la válvula	Normalmente abierta o normalmente cerrada
Integridad de estanqueidad	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)

Consideración de ingeniería de procesos: La compatibilidad con los gases depende de los materiales en contacto y la configuración de los sellos seleccionados. Confirme la compatibilidad química antes de realizar pedidos para aplicaciones con gases corrosivos o reactivos.

04. Presión y condiciones de funcionamiento

Un suministro de gas estable requiere una presión diferencial adecuada y un control suficiente de la presión aguas arriba.

Parámetro de funcionamiento	Valor especificado
Presión diferencial de funcionamiento	50–300 kPa(d)
Presión máxima de funcionamiento	450 kPa(g)
Resistencia a la presión	1000 kPa(g)
Temperatura de funcionamiento	5°C a 50°C
Temperatura recomendada	15°C a 45°C
Función de calefacción	No incluida en la configuración estándar

Distinción importante de presión:

• La presión diferencial representa la diferencia de presión a través del controlador.
• La presión máxima de funcionamiento especifica el límite de presión de funcionamiento permitido.
• La resistencia a la presión describe una clasificación de resistencia a la presión independiente.
• No utilice el valor de resistencia a la presión como presión de funcionamiento continua.

05. Comunicación EtherCAT e interfaz eléctrica

La serie SEC-Z500X EtherCAT utiliza comunicación digital para la integración con equipos automatizados de semiconductores.

• Protocolo: Comunicación Ethernet industrial EtherCAT®.
• Puertos de red: Interfaces RJ-45 IN y OUT.
• Conformidad: Conforme al Grupo de Tecnología EtherCAT (ETG).
• Fuente de alimentación: CC 24 V.
• Consumo de energía: 6,8 VA.

Consideraciones de integración

• Conecte el puerto IN al dispositivo de red EtherCAT aguas arriba.
• Utilice el puerto OUT según la topología de la red.
• Verifique el reconocimiento del dispositivo EtherCAT durante la puesta en marcha.
• Confirme la configuración de proceso del controlador antes de habilitar el control de flujo.
• Compruebe el estado de comunicación antes de diagnosticar desviaciones de flujo en el lado del proceso.

El cuerpo más ancho permite la configuración electrónica EtherCAT. Confirme el espacio mecánico al reemplazar equipos dentro de paneles de gas existentes.

06. Dimensiones mecánicas e interfaz de instalación

Altura total	126 mm
Ancho total	82 mm
Espesor total	29 mm
Orden dimensional	A × An × Esp
Conexión de gas	VCR macho de 1/4 de pulgada
Distancia entre conexiones	124 mm

Lista de verificación de instalación

1. Confirme el espacio de montaje y la distancia entre centros de las conexiones.
2. Verifique los requisitos de conexión VCR macho de 1/4 de pulgada.
3. Compruebe la limpieza de la línea de gas antes de conectar el controlador.
4. Confirme que el material de sello seleccionado coincida con el gas de proceso.
5. Verifique las condiciones de presión aguas arriba y aguas abajo.
6. Conecte correctamente la alimentación de 24 VCC y la red EtherCAT.
7. Compruebe si hay fugas externas antes de introducir gas de proceso.
8. Verifique el tipo de gas y el rango de flujo configurados.

Siga las instrucciones de instalación aplicables de HORIBA STEC y los procedimientos de manipulación de gases para semiconductores. Utilice personal cualificado para las conexiones de gases peligrosos.

07. Aplicaciones en procesos de semiconductores

El HORIBA STEC SEC-Z517 está destinado a equipos que requieren control digital de flujo de gas y comunicación rápida.

Aplicación	Requisito de ingeniería
Grabado de semiconductores	Suministro preciso de gas de proceso y ajuste rápido de flujo.
Deposición de película fina	Flujo de gas repetible durante la ejecución de la receta del proceso.
Equipos de procesos avanzados	Integración EtherCAT con arquitecturas de control en tiempo real.
Sistemas de suministro multigas	Configuraciones de gas seleccionables para diferentes recetas de proceso.
Paneles de gas automatizados	Comunicación digital e interfaces de instalación compactas.

08. Conformidad y estándares del producto

• RoHS: Conforme a RoHS.
• EtherCAT: Conformidad con el Grupo de Tecnología EtherCAT.
• Estándares de semiconductores: Conformidad con los estándares SEMI especificados para el producto.

Confirme los números de estándares SEMI aplicables y los documentos de certificación según la configuración exacta del producto. No asuma aprobaciones adicionales de seguridad o para áreas peligrosas.

09. Verificación de la configuración antes de la compra

Pedir el controlador de flujo correcto requiere más que hacer coincidir el número de modelo. El gas de proceso, el rango de flujo, la presión y la configuración de comunicación afectan la selección.

• Modelo: Confirme SEC-Z517.
• Serie: Confirme la versión EtherCAT SEC-Z500X.
• Tipo de gas: Especifique el gas de proceso real.
• Rango de escala completa: Confirme el rango SCCM o SLM requerido.
• Selección de rango: Verifique la configuración MR/MG.
• Tipo de válvula: Confirme el funcionamiento normalmente abierto o normalmente cerrado.
• Material de sello: Seleccione metal o elastómero compatible.
• Conexiones: Verifique las conexiones VCR macho de 1/4 de pulgada.
• Presión: Confirme la presión diferencial y la máxima de funcionamiento.
• Comunicación: Confirme la compatibilidad EtherCAT con el controlador host.

Consejo de compra: Solicite los detalles completos de la configuración antes de realizar el pedido. Dos controladores con rangos de flujo similares pueden tener diferentes configuraciones de gas, sellos y válvulas.

10. Preguntas frecuentes

P1: ¿Cómo afecta la selección de gas a la medición de flujo del SEC-Z517?

Los diferentes gases tienen diferentes propiedades físicas y características de flujo. El controlador requiere la configuración de gas correcta para una regulación de flujo precisa. No asuma que un rango equivalente a N2 proporciona un rendimiento de flujo real idéntico para cada gas. Confirme la calibración y configuración específica del gas antes de la puesta en marcha.

P2: ¿Qué sucede si la presión diferencial de funcionamiento cae por debajo de 50 kPa(d)?

El rango especificado de presión diferencial de funcionamiento comienza en 50 kPa(d). Una presión diferencial insuficiente puede impedir que el controlador alcance el flujo solicitado. Compruebe la presión de suministro aguas arriba, la contrapresión aguas abajo y las restricciones en la línea de gas antes de cambiar el controlador.

P3: ¿Por qué los ingenieros deben comprobar la configuración de la válvula normalmente abierta o normalmente cerrada?

El estado mecánico predeterminado de la válvula afecta al comportamiento de cierre de gas durante ciertas condiciones de alimentación o control. La selección correcta depende del diseño de seguridad del equipo. Verifique la configuración de válvula especificada con la filosofía de parada del panel de gas. No asuma que ambas configuraciones proporcionan un comportamiento de seguridad idéntico.

P4: ¿Puede el SEC-Z517 reemplazar directamente un controlador de flujo másico analógico existente?

No necesariamente. El SEC-Z517 utiliza comunicación EtherCAT e interfaces de red RJ-45. Un controlador analógico puede utilizar diferentes conexiones eléctricas y señales de control. Compruebe el controlador host, la topología de red, las dimensiones de montaje, las conexiones de gas y la configuración de proceso antes del reemplazo.

P5: ¿Qué deben investigar los ingenieros cuando el flujo mostrado fluctúa a pesar de una presión estable?

Comience comprobando la pureza del gas, la regulación aguas arriba y las restricciones aguas abajo. Inspeccione las conexiones en busca de contaminación o fugas. Luego verifique la configuración de gas, el rango de flujo y el estado de comunicación EtherCAT. Compare las condiciones de funcionamiento reales con los límites especificados de precisión y repetibilidad antes de sospechar una falla interna de la válvula.

11. Suministro de producto y soporte técnico

¿Busca el controlador de flujo másico EtherCAT HORIBA STEC SEC-Z517?

• Marca: HORIBA STEC
• Modelo: SEC-Z517
• Serie: SEC-Z500X EtherCAT
• Tipo de producto: Controlador digital de flujo másico
• Rango de flujo: 10 SCCM a 5,5 SLM
• Comunicación: EtherCAT
• Garantía: 12 meses, sujeta a los términos de venta.
• Inspección: Inspección del producto antes del envío.
• Envío: DHL, FedEx, UPS y otros transportistas compatibles.

Contacte a nuestro equipo de ventas para obtener información sobre precios, disponibilidad y entrega. Proporcione su tipo de gas, el rango de flujo requerido y la configuración de conexión para una verificación precisa del modelo.

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