Controlador de flujo másico analógico FC-770A AERA serie FC-7700

AERA FC-770A | Control de flujo analógico para sistemas de gas de semiconductores

El FC-770A es un controlador analógico de flujo másico de la serie AERA FC-7700. Está diseñado para la regulación precisa del flujo en equipos de procesos de semiconductores utilizando gases no corrosivos compatibles.

Su diseño analógico de 3 dígitos combina un tamaño de instalación compacto con una conexión eléctrica de borde de tarjeta de 20 pines. El controlador acepta una señal de mando de 0–5 VCC y proporciona una salida analógica correspondiente.

Con rangos de escala completa de 10 sccm a 5 slm, el FC-770A admite diferentes requisitos de suministro de gas. Su construcción con sellos de elastómero está destinada a aplicaciones donde el gas de proceso y los materiales de sellado sean compatibles.

01 | Rendimiento de control de un vistazo

• Rango de flujo: De 10 sccm a 5 slm, según el rango de escala completa configurado.
• Precisión: ≤ ±1 % de la escala completa.
• Repetibilidad: ≤ ±0,2 % de la escala completa.
• Linealidad: ≤ ±0,5 % de la escala completa.
• Rango de control: Del 2 al 100 % de la escala completa.
• Estabilidad del cero: Menos del 0,5 % del flujo de escala completa durante un año.
• Respuesta: Menos de 2 segundos para la estabilización del flujo entre los puntos de consigna.

Nota de ingeniería: La precisión y la repetibilidad se especifican como porcentajes de la escala completa, no como porcentajes de la lectura instantánea. Esta distinción es importante al seleccionar un rango de bajo flujo. Por ejemplo, una especificación de precisión del 1 % de la escala completa representa una desviación absoluta de flujo mayor en un rango de 5 slm que en un rango de 500 sccm.

02 | Construcción del conducto de gas y los sellos

La construcción en contacto con el proceso utiliza acero inoxidable 316(L), PTFE y acero inoxidable magnético. Los sellos de elastómero están disponibles en configuraciones de fluoroelastómero o caucho cloropreno.

• Materiales en contacto con el proceso: Acero inoxidable 316(L), PTFE y acero inoxidable magnético.
• Materiales de los sellos: Fluoroelastómero o caucho cloropreno.
• Mecanismo de la válvula: Válvula solenoide.
• Posición de la válvula: Normalmente abierta.
• Integridad de estanqueidad: Máximo 1 × 10^-6 atm-cc/seg (He).
• Calefacción: Configuración estándar sin calefacción.

La selección del sello debe ajustarse al gas de proceso, la temperatura y los requisitos de limpieza reales. No asuma que una opción de elastómero es adecuada para todos los gases. El uso de oxígeno requiere una verificación independiente de compatibilidad y limpieza.

03 | Condiciones de presión y dimensiones de instalación

Las condiciones de presión deben evaluarse por separado durante el diseño del sistema. El requisito de presión diferencial no es intercambiable con la clasificación de presión de entrada.

• Presión diferencial requerida: 7–40 psiD.
• Presión normal de funcionamiento: 70 psig.
• Presión máxima de entrada: 140 psig.
• Temperatura de funcionamiento: 5–45 °C (41–113 °F).
• Dimensiones (Al. × An. × Pr.): 122 × 32 × 124 mm.
• Peso: 1,0 kg (2,2 lb).

Confirme la caída de presión disponible a través del controlador en las condiciones reales de funcionamiento. Una presión de entrada adecuada por sí sola no garantiza la presión diferencial requerida. Verifique también que los cambios de presión aguas abajo no comprometan el margen de control disponible.

04 | Interfaz analógica y requisitos eléctricos

El FC-770A utiliza una interfaz analógica de mando y salida de 0–5 VCC. La integración eléctrica requiere un conector de borde de tarjeta AERA de 20 pines compatible.

• Señal de mando: 0–5 VCC.
• Señal de salida: 0–5 VCC.
• Conector: Conector de borde de tarjeta AERA de 20 pines.
• Alimentación positiva: +15 VCC ±2 %, 25 mA.
• Alimentación negativa: -15 VCC ±2 %, 180 mA.
• Consumo máximo de potencia: 3,1 W.

Antes de conectar el controlador, compruebe la asignación de pines y la referencia de señal del equipo anfitrión. No confíe únicamente en la forma del conector para establecer la compatibilidad eléctrica. Verifique la polaridad de la alimentación, la conexión a tierra, la escala de la señal de mando y la escala de salida según la documentación de cableado aplicable.

05 | Dónde se integra el FC-770A en un proceso

Este modelo está destinado a equipos de semiconductores que requieren regulación analógica del flujo de gas. Las aplicaciones típicas incluyen:

• CVD: Regulación del suministro de gas de proceso compatible a las cámaras de deposición.
• PVD: Control del flujo de gas utilizado en sistemas de deposición física de vapor.
• Grabado: Gestión del flujo de gas no corrosivo en configuraciones de proceso compatibles.
• Difusión: Suministro controlado de gas durante el procesamiento térmico.
• Implantación iónica: Control analógico del flujo en los sistemas de gas de soporte.
• Pulverización: Regulación de los suministros de gas compatibles para equipos de pulverización.

La compatibilidad del gas debe confirmarse para cada aplicación. La construcción de materiales indicada no establece una compatibilidad universal con todos los gases de proceso.

06 | Comprobaciones de selección y puesta en marcha

1. Confirme el rango de escala completa. Ajuste el rango configurado al flujo de proceso requerido. Evite seleccionar un rango sustancialmente mayor que la demanda normal de funcionamiento.
2. Verifique la calibración del gas. Confirme el gas de calibración y los requisitos de corrección del gas antes de comparar el flujo indicado con el objetivo del proceso.
3. Compruebe las condiciones de presión. Confirme que la presión diferencial se mantenga dentro del requisito especificado de 7–40 psiD.
4. Inspeccione la interfaz eléctrica. Verifique el conector de 20 pines, la alimentación de ±15 VCC, el cableado de la señal analógica y la referencia de señal.
5. Revise la compatibilidad del sello. Confirme que el tipo de elastómero instalado sea adecuado para el gas y el entorno de funcionamiento previstos.
6. Compruebe la respuesta de la válvula. Verifique que el flujo se estabilice correctamente después de los cambios en los puntos de consigna bajo las condiciones reales de presión y gas.

07 | Especificaciones técnicas

08 | Preguntas frecuentes

P1: ¿Se puede instalar el FC-770A como reemplazo directo de otro MFC analógico?

No automáticamente. Compruebe las dimensiones de montaje, las conexiones de gas, el rango de escala completa, la asignación de pines del conector, los requisitos de alimentación y la escala de la señal analógica. Dos controladores con dimensiones similares pueden utilizar diferentes asignaciones eléctricas o datos de calibración. Realice estas comprobaciones antes de la instalación.

P2: ¿Qué se debe comprobar si el flujo indicado no coincide con la referencia del flujo del proceso?

Primero, confirme que ambos instrumentos utilicen las mismas unidades de ingeniería y condiciones de referencia. Luego, compruebe la calibración del gas, el rango de escala completa, las condiciones de presión y la escala de la salida analógica. Una diferencia en la calibración del gas puede producir un desfase constante incluso cuando el controlador funciona normalmente.

P3: ¿Por qué puede volverse inestable el flujo después de cambiar una línea de gas o un regulador?

Un cambio de regulador puede alterar la presión disponible a través del controlador. Compruebe la estabilidad de la presión aguas arriba, la contrapresión aguas abajo, la capacidad del regulador y las restricciones de la línea. Confirme que la presión diferencial se mantenga dentro del rango requerido antes de ajustar el sistema de control.

P4: ¿Qué significa la configuración de válvula normalmente abierta durante una interrupción del suministro eléctrico?

La válvula está especificada como normalmente abierta. Su posición mecánica predeterminada es, por lo tanto, abierta cuando se retira la alimentación de accionamiento. Tenga en cuenta este comportamiento en el diseño de aislamiento de gas y seguridad del equipo. No trate al controlador como un dispositivo de cierre de seguridad de falla cerrada.

P5: ¿Cómo se debe verificar una unidad de reemplazo antes de devolver el equipo a producción?

Compare el rango, la calibración del gas, el material del sello, el cableado del conector y los requisitos de alimentación del reemplazo con la configuración instalada. Después de la instalación, realice una comprobación de fugas y verifique la salida en cero, varios puntos de consigna de flujo y la estabilidad de la respuesta. Siga el procedimiento de puesta en marcha aprobado del fabricante del equipo antes de liberar el sistema de gas.

9 | Información para pedidos

Al solicitar un AERA FC-770A, proporcione el número de modelo completo y los detalles de la configuración disponible. Incluya el rango de flujo de escala completa requerido, el gas de proceso, el material del sello, las condiciones de presión y los requisitos del conector.

Para proyectos de reemplazo o modernización, las fotografías de la placa de identificación y del conector eléctrico pueden ayudar a verificar la configuración antes de realizar el pedido.

Contáctenos para obtener precios, disponibilidad y asistencia técnica para el AERA FC-770A.

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