توفر سلسلة Aera® من Hitachi Metals / Advanced Energy وحدات تحكم في التدفق الكتلي (MFCs) وأجهزة قياس التدفق الكتلي (MFMs) عالية الدقة، والمصممة خصيصًا لعمليات أشباه الموصلات، وترسيب الأغشية الرقيقة بتقنيتي CVD/PVD، وعمليات الطلاء الصناعي في الفراغ. وبفضل تصميمها القائم على مستشعرات الكتلة الحرارية ذات الأنابيب الدقيقة ومسارات التدفق الملامسة للغاز المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L، تضمن هذه المجموعة أزمنة استجابة فائقة السرعة (≤1 ثانية) مع انخفاض الحساسية لتداخل الترددات اللاسلكية والحد الأدنى من الانحراف طويل الأمد في نقطة الصفر. بدءًا من الطرازات الاقتصادية ذات الحشوات المطاطية (FC-R7700)، وصولًا إلى التصميمات عالية الموثوقية ذات الحشوات المعدنية (FC-R7800) والمنصات الرقمية المتقدمة متعددة الغازات (FC-DR980 / HG200 / Transformer®)، تتكيف أجهزة Aera مع نطاقات تدفق ديناميكية واسعة تبدأ من 10 SCCM وتصل إلى 200 SLM. وقد صُممت لتتوافق مباشرة مع وصلات الحشوات المعدنية VCR®، وتوصيلات D-Sub القياسية، وبروتوكولات اتصالات الحافلة الميدانية، لتوفر مخزوننا قياسًا موثوقًا للغاز وتحكمًا ديناميكيًا دقيقًا في الصمامات لاستبدال قطع الغيار الصناعية الحيوية.