تُعد Unit Instruments معيارًا مرجعيًا في التحكم الدقيق في تدفق الغاز وقياس الضغط، حيث توفر وحدات تحكم في التدفق الكتلي (MFCs) وعدادات التدفق الكتلي (MFMs) ومحولات ضغط متخصصة عالية الأداء، والمصممة خصيصًا لتصنيع أشباه الموصلات وترسيب الأغشية الرقيقة وأتمتة العمليات الصناعية. وبفضل تصميمها القائم على مستشعرات تدفق حراري عالية الاستقرار، وسلامة الختم المعدني، ودوائر الاستجابة الديناميكية السريعة، توفر أجهزة Unit Instruments توزيعًا دقيقًا ومتكررًا للغاز عبر حلقات العمليات الحرجة. وتضم مجموعتنا سلاسل شهيرة، بما في ذلك وحدات التحكم من سلسلة UFC-1100 وUFC-7300 وUFC-8100، التي تدعم معايرات غاز متعددة، وأختامًا معدنية عالية النقاء (VCR)، وبروتوكولات اتصال تناظرية أو DeviceNet. سواء كنت تستبدل قطع غيار وحدات التحكم في التدفق الكتلي القديمة أو توفر مكونات تحكم في التدفق مُعايَرة لأدوات الشركات المصنّعة للمعدات الأصلية (OEM)، فإن مجموعتنا من منتجات Unit Instruments الأصلية تضمن تشغيلًا خاليًا من الانحراف، واستجابة حرارية سريعة، وتقليل تلوث العمليات في بيئات الفراغ العالي.
