وحدة تحكم تماثلية في الكتلة التدفقية FC-770A AERA من سلسلة FC-7700

AERA FC-770A | تحكم تناظري في التدفق لأنظمة غاز أشباه الموصلات

يُعد FC-770A وحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي من سلسلة AERA FC-7700. وقد صُممت لتنظيم التدفق بدقة في معدات عمليات أشباه الموصلات باستخدام الغازات غير المسببة للتآكل المتوافقة معها.

يجمع تصميمها التناظري ثلاثي الأرقام بين مساحة تركيب مدمجة واتصال كهربائي بحافة البطاقة بـ 20 دبوسًا. تقبل وحدة التحكم إشارة تحكم بجهد 0–5 فولت تيار مستمر وتوفر مخرجًا تناظريًا مطابقًا.

مع نطاقات كاملة تتراوح من 10 سم³/دقيقة إلى 5 لتر/دقيقة، يدعم FC-770A متطلبات توصيل الغاز المختلفة. صُمم هيكله المحكم بإحكام باستخدام مواد مطاطية للاستخدام في التطبيقات التي يكون فيها غاز العملية ومواد الإحكام متوافقين.

01 | نظرة سريعة على أداء التحكم

• نطاق التدفق: من 10 سم³/دقيقة إلى 5 لتر/دقيقة، حسب النطاق الكامل المكوّن.
• الدقة: ≤ ±1% من النطاق الكامل.
• قابلية التكرار: ≤ ±0.2% من النطاق الكامل.
• الخطية: ≤ ±0.5% من النطاق الكامل.
• نطاق التحكم: 2–100% من النطاق الكامل.
• استقرار الصفر: أقل من 0.5% من التدفق عند النطاق الكامل على مدار عام واحد.
• الاستجابة: أقل من ثانيتين لاستقرار التدفق بين نقاط الضبط.

ملاحظة هندسية: تُحدد الدقة وقابلية التكرار كنسب مئوية من النطاق الكامل، وليس كنسب مئوية من القراءة اللحظية. وهذا التمييز مهم عند اختيار نطاق تدفق منخفض. على سبيل المثال، يمثل تحديد الدقة بنسبة 1% من النطاق الكامل انحرافًا مطلقًا أكبر في التدفق عند نطاق 5 لتر/دقيقة مقارنة بنطاق 500 سم³/دقيقة.

02 | مسار الغاز وهيكل الإحكام

يستخدم الهيكل الملامس للغاز الفولاذ المقاوم للصدأ 316(L)، وPTFE، والفولاذ المغناطيسي المقاوم للصدأ. تتوفر سدادات المطاط المرن بتكوينات من الفلوروإلاستومر أو مطاط الكلوروبرين.

• المواد الملامسة للغاز: الفولاذ المقاوم للصدأ 316(L)، وPTFE، والفولاذ المغناطيسي المقاوم للصدأ.
• مواد الإحكام: الفلوروإلاستومر أو مطاط الكلوروبرين.
• آلية الصمام: صمام ملف لولبي.
• وضعية الصمام: مفتوح عادةً.
• سلامة الإحكام: بحد أقصى 1 × 10^-6 ضغط جوي-سم مكعب/ثانية (هيليوم).
• التدفئة: تكوين قياسي غير مدفأ.

ينبغي أن يتبع اختيار الإحكام غاز العملية الفعلي ودرجة الحرارة ومتطلبات التنظيف. لا تفترض أن خيارًا واحدًا من المطاط المرن مناسب لكل غاز. يتطلب استخدام الأكسجين تحققًا منفصلًا من التوافق والنظافة.

03 | ظروف الضغط ونطاق التركيب

يجب تقييم ظروف الضغط بشكل منفصل أثناء تصميم النظام. لا يمكن استبدال متطلب الضغط التفاضلي بتصنيف ضغط المدخل.

• الضغط التفاضلي المطلوب: 7–40 psiD.
• ضغط التشغيل العادي: 70 psig.
• أقصى ضغط للمدخل: 140 psig.
• درجة حرارة التشغيل: 5–45°C (41–113°F).
• الأبعاد (الارتفاع × العرض × العمق): 122 × 32 × 124 مم.
• الوزن: 1.0 كجم (2.2 رطل).

تأكد من هبوط الضغط المتاح عبر وحدة التحكم في ظروف التشغيل الفعلية. لا يضمن ضغط المدخل المناسب وحده توفير الضغط التفاضلي المطلوب. تحقق أيضًا من أن تغيرات الضغط في اتجاه المصب لن تؤثر سلبًا على هامش التحكم المتاح.

04 | الواجهة التناظرية والمتطلبات الكهربائية

تستخدم FC-770A واجهة تحكم ومخرج تناظرية بجهد 0–5 فولت تيار مستمر. يتطلب التكامل الكهربائي موصل حافة بطاقة متوافقًا من AERA بـ 20 دبوسًا.

• إشارة التحكم: 0–5 فولت تيار مستمر.
• إشارة المخرج: 0–5 فولت تيار مستمر.
• الموصل: موصل حافة بطاقة AERA بـ 20 دبوسًا.
• مصدر التغذية الموجب: +15 فولت تيار مستمر ±2%، 25 مللي أمبير.
• مصدر التغذية السالب: -15 فولت تيار مستمر ±2%، 180 مللي أمبير.
• أقصى استهلاك للطاقة: 3.1 واط.

قبل توصيل وحدة التحكم، تحقق من تعيين الدبابيس ومرجع الإشارة في المعدات المضيفة. لا تعتمد على شكل الموصل وحده لتحديد التوافق الكهربائي. تحقق من قطبية التغذية والتأريض وتدرج إشارة التحكم وتدرج المخرج وفقًا لوثائق التوصيل المعمول بها.

05 | مكان FC-770A في العملية

هذا الطراز مخصص لمعدات أشباه الموصلات التي تتطلب تنظيمًا تناظريًا لتدفق الغاز. تشمل التطبيقات النموذجية:

• CVD: تنظيم توصيل غاز العملية المتوافق إلى غرف الترسيب.
• PVD: التحكم في تدفق الغاز المستخدم في أنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار.
• النقش: إدارة تدفق الغاز غير المسبب للتآكل في تكوينات العملية المتوافقة.
• الانتشار: دعم توصيل الغاز المتحكم فيه أثناء المعالجة الحرارية.
• زرع الأيونات: توفير تحكم تناظري في التدفق في أنظمة الغاز الداعمة.
• الترذيذ: تنظيم إمدادات الغاز المتوافقة لمعدات الترذيذ.

يجب تأكيد توافق الغاز لكل تطبيق. لا يثبت تصميم المواد المدرج توافقًا شاملًا مع كل غاز عملية.

06 | فحوصات الاختيار والتشغيل التجريبي

1. تأكد من النطاق الكامل. طابق النطاق المكوّن مع تدفق العملية المطلوب. تجنب اختيار نطاق أكبر بكثير من متطلبات التشغيل العادية.
2. تحقق من معايرة الغاز. أكد غاز المعايرة ومتطلبات تصحيح الغاز قبل مقارنة التدفق الموضح مع هدف العملية.
3. افحص ظروف الضغط. أكد بقاء الضغط التفاضلي ضمن متطلب 7–40 psiD المحدد.
4. افحص الواجهة الكهربائية. تحقق من موصل 20 دبوسًا، وتغذية ±15 فولت تيار مستمر، وتوصيلات إشارة الإخراج التناظرية، ومرجع الإشارة.
5. راجع توافق الإحكام. أكد أن نوع المطاط المرن المثبت مناسب للغاز والبيئة التشغيلية المقصودة.
6. افحص استجابة الصمام. تحقق من استقرار التدفق بشكل صحيح بعد تغيير نقاط الضبط في ظل ظروف الضغط والغاز الفعلية.

07 | المواصفات الفنية

08 | الأسئلة الشائعة

س1: هل يمكن تركيب FC-770A كبديل مباشر لوحدة تحكم تناظرية أخرى في التدفق الكتلي؟

ليس تلقائيًا. تحقق من أبعاد التركيب، وتوصيلات الغاز، والنطاق الكامل، وتوزيع دبابيس الموصل، ومتطلبات التغذية، وتدرج الإشارة التناظرية. قد تستخدم وحدتا تحكم بمسافات تركيب متشابهة تعيينات كهربائية أو بيانات معايرة مختلفة. أكمل هذه الفحوصات قبل التركيب.

س2: ما الذي ينبغي التحقق منه إذا كان التدفق المعروض لا يتطابق مع مرجع تدفق العملية؟

أولًا، أكد أن كلا الجهازين يستخدمان نفس الوحدات الهندسية وظروف المرجع. ثم تحقق من معايرة الغاز، والنطاق الكامل، وظروف الضغط، وتدرج المخرج التناظري. يمكن أن يؤدي الاختلاف في معايرة الغاز إلى إزاحة ثابتة حتى عندما تعمل وحدة التحكم بشكل طبيعي.

س3: لماذا يمكن أن يصبح التدفق غير مستقر بعد تغيير خط الغاز أو المنظم؟

يمكن أن يؤدي تغيير المنظم إلى تغيير الضغط المتاح عبر وحدة التحكم. تحقق من استقرار الضغط في اتجاه المنبع، والضغط العكسي في اتجاه المصب، وسعة المنظم، وقيود الخطوط. أكد أن الضغط التفاضلي يظل ضمن النطاق المطلوب قبل ضبط نظام التحكم.

س4: ماذا يعني تكوين الصمام المفتوح عادةً أثناء انقطاع التيار الكهربائي؟

يُحدد الصمام على أنه مفتوح عادةً. لذلك، فإن وضعه الافتراضي الميكانيكي يكون مفتوحًا عند إزالة طاقة التشغيل. ضع هذا السلوك في الاعتبار عند تصميم عزل الغاز والسلامة في المعدات. لا تعامل وحدة التحكم كجهاز إغلاق أمان يفشل في وضع الإغلاق.

س5: كيف ينبغي التحقق من وحدة بديلة قبل إعادة المعدات إلى الإنتاج؟

قارن نطاق الوحدة البديلة ومعايرة الغاز ومادة الإحكام وتوصيلات الموصل ومتطلبات الطاقة مع التكوين المثبت. بعد التركيب، أجرِ فحصًا للتسرب وتحقق من الصفر في المخرج وعدة نقاط ضبط للتدفق واستقرار الاستجابة. اتبع إجراء التشغيل التجريبي المعتمد من الشركة المصنعة للمعدات قبل إطلاق نظام الغاز.

9 | معلومات الطلب

عند طلب AERA FC-770A، قدم رقم الطراز الكامل وتفاصيل التكوين المتاحة. قم بتضمين نطاق التدفق الكامل المطلوب، وغاز العملية، ومادة الإحكام، وظروف الضغط، ومتطلبات الموصل.

بالنسبة لمشاريع الاستبدال أو التحديث، يمكن أن تساعد صور لوحة الاسم والموصل الكهربائي في التحقق من التكوين قبل الطلب.

تواصل معنا للحصول على الأسعار وتوفر المنتج والمساعدة الفنية لـ AERA FC-770A.

Tags