توفر مجموعة منتجات MKS Instruments حلولاً حيوية للتحكم في العمليات وقياس الضغط وتوصيل الغازات، مصممة خصيصاً لبيئات تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة والمعالجة بالتفريغ والأتمتة الصناعية. وبفضل اعتمادها على تقنيات مملوكة للشركة، مثل مقاييس الضغط السعوية عالية الدقة من طراز Baratron® ووحدات التحكم في التدفق الكتلي من طراز Mass-Flo® (MFCs)، تضمن مكونات MKS استقراراً استثنائياً عند الصفر، وسرعة استجابة، ومناعة حرارية. وتشمل هذه السلسلة وحدات إمداد الطاقة الرقمية، ومولدات طاقة البلازما، وصمامات التفريغ، ووحدات القراءة متعددة القنوات التي تدعم بنيات ناقل البيانات الميدانية EtherCAT وDeviceNet وRS-485. وقد صُممت مخزوناتنا من قطع الغيار الأصلية لـ MKS Instruments لتحمّل غازات العمليات المسببة للتآكل والتدرجات الحرارية الشديدة، مما يسهّل القياس الدقيق للغازات وتوصيل طاقة التردد اللاسلكي وإدارة الضغط بنظام الحلقة المغلقة. ادمج حلول MKS الموثوقة لتقليل انحراف العمليات، والحفاظ على سلامة تفريغ الغرفة، وتقليل وقت التوقف عن العمل في خطوط المعالجة ذات الأهمية البالغة.
