وحدة التحكم في التدفق الكتلي لعدة غازات من سلسلة FC-D980 AERA FC-D980

وحدة التحكم الرقمية في التدفق الكتلي AERA FC-D980

تُعد AERA FC-D980 وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي مصممة لتوفير إمداد دقيق للغاز في معدات عمليات أشباه الموصلات. وتجمع بين صمام تحكم كهرضغطية وهيكل إحكام من المعدن بالكامل ومعايرة قابلة للبرمجة لعدة غازات. ويدعم تصميمها الرقمي تحكمًا متكررًا في التدفق عبر أنواع متعددة من الغازات ونطاقات قياس مختلفة.

تغطي سلسلة FC-D980 نطاقات تدفق كاملة تتراوح من 3 sccm إلى 5 slm، مقاسة كتدفق مكافئ للنيتروجين. وتوفر تحكمًا ومراقبة تناظريين إلى جانب الاتصال عبر RS-485. ويناسب هذا التكوين أنظمة العمليات التي تتطلب تنظيمًا دقيقًا للغاز وتشغيلًا مستقرًا عند معدلات التدفق المنخفضة وأسطحًا نظيفة ملامسة للغاز.

01 | أداء التحكم في التدفق

تحافظ FC-D980 على الدقة المحددة عبر نطاق تشغيلها. ويدعم ملف أدائها التشغيل عند معدلات تدفق أعلى ونقاط ضبط أدنى.

• نطاق التدفق كامل المقياس: من 3 sccm إلى 5 slm، متعدد النطاقات، مكافئ للنيتروجين
• الدقة من 25% إلى 100% من كامل المقياس: ضمن ±1% من نقطة الضبط
• الدقة من 2% إلى 25% من كامل المقياس: ضمن ±0.25% من كامل المقياس
• التكرارية: ضمن ±0.2% من كامل المقياس
• نطاق التحكم: من 2% إلى 100% من كامل المقياس
• زمن الاستجابة: أقل من ثانية واحدة للوصول إلى ±2% من نقطة الضبط
• زمن استقرار التدفق الفعلي: 0.5 ثانية بين نقاط الضبط
• استقرار الصفر: أقل من 0.5% من التدفق كامل المقياس على مدار عام واحد

تتغير مراجع الدقة مع نطاق التشغيل. لذلك، ينبغي للمهندسين تقييم نقطة ضبط التدفق المطلوبة مقابل نطاق كامل المقياس المختار. ويساعد النطاق المناسب في الحفاظ على دقة التحكم المطلوبة دون تكبير حجم وحدة التحكم بشكل غير ضروري.

02 | معايرة الغاز القابلة للبرمجة

تدعم FC-D980 تشغيل عدة غازات من خلال معايرة قابلة للبرمجة في الموقع. ويمكنها تخزين ما يصل إلى ثماني تكوينات للغاز، مع ما يصل إلى 11 نقطة معايرة لكل غاز.

• تدعم أنواعًا متعددة من الغازات من خلال معايرة الغاز القابلة للبرمجة
• تخزن ما يصل إلى ثماني تكوينات للغاز
• توفر ما يصل إلى 11 نقطة معايرة لكل غاز مخزن
• تدعم نطاقات متعددة كاملة المقياس ضمن سلسلة المنتجات
• تستخدم التدفق المكافئ للنيتروجين كمرجع محدد لنطاق التدفق

عند تكوين وصفة غاز، تأكد من أن الغاز المختار وبيانات المعايرة يتطابقان مع متطلبات العملية الفعلية. لا تفترض أن تغيير الغاز المختار وحده يؤكد صحة جميع ظروف العملية. تحقق من المعايرة المناسبة وظروف الضغط ونطاق كامل المقياس قبل التشغيل التجريبي.

03 | مسار غاز نظيف وهيكل محكم معدنيًا

يعد اختيار المواد الملامسة للغاز أمرًا مهمًا في معدات أشباه الموصلات. تستخدم FC-D980 فولاذًا مقاومًا للصدأ من النوع 316L بتصميم VAR المزدوج في الأجزاء الملامسة للغاز. وتخضع الأسطح الملامسة للغاز للتلميع الكهروكيميائي والتنظيف الفائق لتحقيق تشطيب سطحي محدد يبلغ 1 Ra (0.025 μm).

• المادة الملامسة للغاز: فولاذ مقاوم للصدأ من النوع 316L بتصميم VAR المزدوج
• معالجة السطح: مصقولة كهروكيميائيًا ومنظفة بشكل فائق
• تشطيب السطح: 1 Ra (0.025 μm)
• هيكل الإحكام: إحكام معدني بالكامل
• سلامة الإحكام: 1 × 10^-10 atm-cc/sec للهيدروجين كحد أقصى

يتجنب ترتيب الإحكام المعدني بالكامل استخدام إحكام من المطاط في هيكل الإحكام المحدد الملامس للغاز. ويعد هذا التصميم مهمًا عند تقييم توافق الغاز والتحكم في التلوث وسلامة الإحكام في أنظمة العمليات النظيفة.

04 | الصمام الكهروضاغط والحدود الضغطية

ينظم الصمام الكهروضاغطي تدفق الغاز استجابةً لإشارة الطلب الصادرة عن وحدة التحكم. وتتوفر FC-D980 بتكوين صمام مفتوح عادةً أو مغلق عادةً. تأكد من سلوك الصمام المطلوب عند اختيار الوحدة لتصميم عملية أو معدات محددة.

• نوع الصمام: كهرضاغطي
• سلوك الصمام المتاح: مفتوح عادةً أو مغلق عادةً
• الضغط التفاضلي للتشغيل: من 7 إلى 40 psiD (من 49 إلى 275 kPaD)
• أقصى ضغط تشغيل: 70 psig (490 kPaG)
• ضغط الاختبار: 140 psig (981 kPaG)
• تكوين التدفئة: إصدار قياسي غير مدفأ

يصف الضغط التفاضلي للتشغيل وأقصى ضغط للدخول ظروفًا مختلفة. تحقق من كلا القيمتين مقابل إمداد الغاز الفعلي وضغط العملية في اتجاه المصب. لا يعد تصنيف ضغط الاختبار هدفًا للتشغيل العادي.

05 | الواجهة الكهربائية وتكامل التحكم

تجمع FC-D980 بين الإشارات التناظرية والاتصال الرقمي لتكامل المعدات. وتدعم واجهتها الكهربائية إشارات نقطة الضبط والمخرجات التناظرية، إلى جانب اتصال RS-485.

• مدخل تناظري: من 0 إلى 5 VDC
• مخرج تناظري: من 0 إلى 5 VDC
• اتصال رقمي: RS-485
• دعم RS-232: متاح عبر محول
• الموصل: موصل Honda بـ 20 دبوسًا
• مصدر إيجابي: +15 VDC ±2%، 120 mA كحد أدنى
• مصدر سلبي: -15 VDC ±2%، 50 mA كحد أدنى
• أقصى استهلاك للطاقة: 1.3 W

قبل توصيل وحدة التحكم، تحقق من تعيين الدبابيس من جانب المعدات وسعة مصدر الطاقة. وأكد مقياس الإشارة التناظرية وإعدادات الاتصال مقابل تكوين النظام. يتطلب اتصال RS-232 محولًا مناسبًا بدلًا من افتراض الدعم الأصلي لـ RS-232.

06 | البيانات الميكانيكية والبيئية

المعلمة	المواصفات
الطراز	FC-D980
الشركة المصنعة	AERA
سلسلة المنتج	سلسلة FC-D980
نوع المنتج	وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي بصمام كهرضاغطي وإحكام معدني
الأبعاد (الارتفاع × العرض × العمق)	129 × 38 × 124 مم
المسافة بين المنفذين	124 مم
الوزن	1.0 كجم (2.2 رطل)
درجة حرارة التشغيل	من 5 إلى 45°C (من 41 إلى 113°F)
خيار التدفئة	لا؛ إصدار قياسي غير مدفأ
الامتثال	RoHS
مرجع زمن الاستقرار	SEMI E17-91

استخدم الأبعاد الخارجية المحددة عند التحقق من خلو مساحة لوحة المعدات ومساحة التركيب. وأكد الواجهة الميكانيكية وترتيب المنافذ مقابل الرسم التخطيطي الخارجي المعمول به قبل تجهيز خطوط الغاز.

07 | تطبيقات عمليات أشباه الموصلات

تُستخدم FC-D980 في تطبيقات إمداد الغاز في معدات تصنيع أشباه الموصلات. وتدعم معايرتها القابلة للبرمجة ومسار الغاز المحكم معدنيًا التكامل في الأنظمة التي تتطلب تدفقًا محكومًا للغاز.

• ترسيب البخار الكيميائي (CVD): تنظم إمداد غاز العملية إلى معدات الترسيب.
• ترسيب البخار الفيزيائي (PVD): تدعم إمدادًا محكومًا للغاز لعمليات الترسيب.
• الحفر بالبلازما: تتحكم في تدفق الغاز لإمداد غاز العملية.
• الانتشار: تدعم إمدادًا متكررًا للغاز في معدات العمليات الحرارية.
• الزرع الأيوني: توفر تدفقًا محكومًا للغاز ضمن تكوينات المعدات المعمول بها.
• الترذيذ: تدعم تنظيم الغاز في أنظمة عملية الترذيذ.

08 | فحوصات هندسية قبل التركيب

1. تأكيد نطاق التدفق: طابق نطاق كامل المقياس المختار مع متطلبات تدفق العملية. تحقق من نقطة الضبط المطلوبة مقابل نطاق التحكم من 2% إلى 100% من كامل المقياس.
2. التحقق من معايرة الغاز: أكد اختيار الغاز المخزن وبيانات المعايرة قبل إدخال غاز العملية.
3. فحص ظروف الضغط: حافظ على الضغط التفاضلي ضمن 7 إلى 40 psiD والضغط التشغيلي ضمن الحد الأقصى المحدد.
4. فحص توصيلات الغاز: حافظ على ممارسات توصيل نظيفة لحماية مسار الغاز المصقول كهروكيميائيًا من التلوث.
5. التحقق من التوافق الكهربائي: تحقق من مصدر ±15 VDC، والموصل بـ 20 دبوسًا، والإشارات التناظرية، وواجهة RS-485.
6. تأكيد سلوك الصمام: اختر تكوين الصمام المفتوح عادةً أو المغلق عادةً الذي يتطابق مع تصميم المعدات.
7. التحقق من استجابة التدفق: تحقق من سلوك الاستقرار تحت الغاز والضغط وظروف النظام الفعلية بعد التركيب.

09 | الصيانة وتشخيص العملية

يعتمد التحكم المستقر في التدفق على إمداد الغاز وظروف الضغط والإشارات الكهربائية وتكوين المعايرة. عندما يختلف التدفق المقاس عن نقطة الضبط المأمورة، تحقق من مسار الإمداد الكامل قبل استبدال وحدة التحكم.

• إزاحة التدفق: قارن نقطة الضبط المأمورة بالمخرج المقاس وتحقق من معايرة الغاز المختارة.
• استقرار بطيء: تحقق من استقرار الضغط في اتجاه المنبع والقيود في اتجاه المصب وحجم خط الغاز.
• قراءات غير مستقرة: افحص جهد الإمداد والتأريض وتوصيلات الإشارة وتقلبات الضغط.
• أعطال الاتصال: تحقق من توصيلات RS-485 وتكوين اتصال المضيف.
• سلوك غير متوقع للصمام: أكد ما إذا كانت الوحدة المثبتة تستخدم صمامًا مفتوحًا عادةً أو مغلقًا عادةً.
• الانحراف طويل الأمد: راجع استقرار الصفر وسجل المعايرة قبل تغيير نقاط ضبط العملية.

تتضمن FC-D980 وظائف متعددة للتنبيه والتشخيص. استخدم وثائق المعدات المعمول بها لتفسير مؤشرات التشخيص وتحديد الإجراءات التصحيحية. تجنب فتح أو تعديل مجموعة التحكم في الغاز دون إجراء خدمة معتمد.

10 | الأسئلة الشائعة

س1: كيف ينبغي للمهندسين اختيار نطاق كامل المقياس لعملية تتغير فيها متطلبات التدفق؟

اختر نطاقًا يغطي أعلى متطلبات متوقعة للعملية مع الحفاظ على نقاط التشغيل العادية ضمن نطاق التحكم المحدد. إذا كانت العملية تقضي معظم وقتها بالقرب من الحد الأدنى، راجع مواصفات الدقة لمنطقة 2% إلى 25% من كامل المقياس. بالنسبة للوصفات ذات متطلبات التدفق المختلفة بشكل كبير، قيم ما إذا كانت النطاقات المنفصلة ضرورية.

س2: ما الذي ينبغي التحقق منه عند تغيير وصفة غاز في وحدة التحكم؟

تحقق من هوية الغاز المختار والمعايرة المخزنة ونقاط المعايرة المعمول بها. وأكد أيضًا ضغط إمداد الغاز ومتطلبات العملية. لا ينبغي أن يحل تغيير الغاز المختار محل التحقق من أداء التدفق على مستوى النظام.

س3: لماذا يمكن أن تظهر وحدة التحكم المثبتة سلوك استقرار مختلفًا عن المواصفات المحددة؟

يصف زمن الاستجابة المحدد أداء وحدة التحكم تحت ظروف اختبار محددة. يمكن أن يعتمد سلوك النظام الفعلي أيضًا على استقرار الضغط في اتجاه المنبع وحجم اتجاه المصب وقيود الأنابيب وغاز العملية. تحقق من هذه الظروف قبل اعتبار زمن استقرار النظام الأطول عطلًا في وحدة التحكم.

س4: ما الفرق العملي بين تكوينات الصمام المفتوح عادةً والمغلق عادةً؟

يصف التمييز الحالة الميكانيكية الافتراضية للصمام عند إزالة طاقة تشغيله. ينبغي للمهندسين اختيار التكوين وفقًا لتصميم عزل الغاز وسلامة العملية للمعدات. أكد السلوك المطلوب مع مصمم النظام بدلًا من افتراض أن كلا الإصدارين يستجيبان بشكل متماثل أثناء انقطاع الطاقة.

س5: ما المعلومات التي ينبغي تجهيزها عند استبدال FC-D980 في معدات موجودة؟

سجل نطاق التدفق كامل المقياس ومعايرة الغاز وسلوك الصمام وضغط التشغيل وتوزيع دبابيس الموصل ومقياس الإشارة التناظرية ومتطلبات الاتصال. وقارن أيضًا المسافة بين المنفذين والمخطط الميكانيكي مع الوحدة المثبتة. تساعد هذه الفحوصات في تحديد اختلافات التكوين قبل دخول البديل إلى الخدمة.

ملخص المنتج

تجمع AERA FC-D980 بين المعايرة الرقمية لعدة غازات وتنظيم التدفق الكهروضاغطي وهيكل إحكام معدني بالكامل للغاز. ويدعم نطاقها من 3 sccm إلى 5 slm والواجهة التناظرية من 0 إلى 5 VDC والاتصال عبر RS-485 أنظمة إمداد الغاز لأشباه الموصلات. لاختيار المعدات، أكد معايرة الغاز المطلوبة ونطاق كامل المقياس وظروف الضغط وسلوك الصمام والتكوين الكهربائي.

تواصل معنا للحصول على معلومات منتج FC-D980 والتحقق من التكوين والحصول على عرض أسعار.

Tags