FC-D982 AERA وحدة تحكم رقمية عالية التدفق لمتحكم كتلي كهروإجهادي مختوم معدنيًا

Manufacturer: AERA
Product No.: FC-D982
Condition： متوفر بالمخزون
Product Type: وحدة تحكم رقمية
Product Origin: USA
Payment: T/T, Western Union
Weight: 500g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months

الكمية

Selected quantity: 1

تقدير أوقات التسليم: 12-26 يومًا (دوليًا)، 3-6 أيام (الولايات المتحدة).

يجب الإرجاع خلال 30 يومًا من الشراء. الرسوم والضرائب غير قابلة للاسترداد.

دفع آمن ومضمون

FC-D982 | AERA | وحدة تحكم رقمية عالية التدفق في الكتلة من سلسلة FC-D980

تُعد AERA FC-D982 وحدة تحكم رقمية عالية التدفق في الكتلة مصممة لتوصيل غازات أشباه الموصلات ومعدات العمليات. وهي تنتمي إلى سلسلة FC-D980، التي تجمع بين التحكم الرقمي والتشغيل الكهروضغطي والإحكام المعدني بالكامل.

بفضل سعة النطاق الكامل البالغة 30-50 لتر/دقيقة، تلبي وحدة FC-D982 احتياجات التطبيقات التي تتطلب معدلات تدفق غاز أعلى. ويدعم تصميمها المزدوج من الفولاذ المقاوم للصدأ من النوع 316L وصلات VCR أنظمة الغاز فائقة النظافة ذات المتطلبات الصارمة. ويمكن للمهندسين اختيار وصلات VCR القياسية مقاس 1/4 بوصة أو 3/8 بوصة وفقًا لتكوين التركيب.

تدعم وحدة التحكم أيضًا تشغيلًا متعدد الغازات قابلًا للبرمجة في الموقع. وهي تخزّن ما يصل إلى ثمانية غازات، مع ما يصل إلى 11 نقطة معايرة لكل غاز. ويمنح هذا التكوين مهندسي العمليات مرونة أكبر عند إدارة تركيبات الغاز المختلفة.

01 | تحديد موقع الطراز: تكوين FC-D980 عالي التدفق

الشركة المصنّعة	AERA
الطراز	FC-D982
عائلة المنتج	سلسلة FC-D980
نوع المنتج	وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي (MFC)
تقنية التحكم	تحكم رقمي بصمام كهروضغطي
سعة التدفق	30-50 لتر/دقيقة
تكوين الغاز	متعدد الغازات قابل للبرمجة في الموقع
تصميم الإحكام	إحكام معدني بالكامل
خيارات التوصيل	VCR مقاس 1/4 بوصة أو 3/8 بوصة

02 | أداء القياس: الدقة عبر نطاق التشغيل

تحدد وحدة FC-D982 الدقة في منطقتين منفصلتين للتدفق. وينبغي للمهندسين استخدام الأساس المرجعي المناسب عند حساب عدم اليقين في العملية.

نطاق التدفق عند النطاق الكامل	30-50 لتر/دقيقة
الدقة عند 25-100% من النطاق الكامل	ضمن ±1% من نقطة الضبط
الدقة عند 2-25% من النطاق الكامل	ضمن ±0.25% من النطاق الكامل
التكرارية	ضمن ±0.2% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	أقل من ثانية واحدة للوصول إلى ±2% من نقطة الضبط
نطاق التحكم	2-100% من النطاق الكامل
استقرار الصفر	أقل من 0.5% من النطاق الكامل على مدار عام واحد

تفسير الأداء: يتغير الأساس المرجعي لمواصفة الدقة عند 25% من النطاق الكامل. تستخدم المنطقة التشغيلية العليا الدقة المستندة إلى نقطة الضبط. وتستخدم المنطقة الدنيا الدقة المستندة إلى النطاق الكامل.

على سبيل المثال، يكون لتكوين 50 لتر/دقيقة مواصفة دقة في المنطقة الدنيا مرجعها النطاق الكامل البالغ 50 لتر/دقيقة. ويجب ألا يفسر المهندسون ±0.25% من النطاق الكامل على أنها ±0.25% من التدفق المطلوب.

03 | إدارة الغاز: تكوين مرن متعدد الغازات

تدعم البنية الرقمية تكوينات غاز متعددة ضمن وحدة تحكم واحدة.

تخزين الغاز: تخزّن ما يصل إلى ثمانية تكوينات للغاز.
بيانات المعايرة: تدعم ما يصل إلى 11 نقطة معايرة لكل غاز.
اختيار الغاز: تتيح تكوين الغاز القابل للبرمجة في الموقع.
مرونة العملية: تدعم المعدات التي تستخدم تركيبات غاز متعددة.

يجب أن يتطابق اختيار الغاز وبيانات المعايرة مع غاز العملية الفعلي. لا تفترض أن معايرة غاز واحد توفر تلقائيًا قياسًا دقيقًا لغاز آخر.

04 | التصميم الملامس للغاز: مسار غاز فائق النظافة

المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ مزدوج VAR من النوع 316L
المعالجة السطحية	مصقول كهربائيًا وفائق النظافة
تشطيب السطح	1 Ra (0.025 ميكرومتر)، حسب المواصفات
طريقة الإحكام	إحكام معدني بالكامل
خيارات التوصيل	VCR مقاس 1/4 بوصة أو 3/8 بوصة
معدل تسرب الهيليوم	1 × 10⁻¹⁰ ضغط جوي·سم مكعب/ثانية كحد أقصى

يدعم التصميم المزدوج من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L والسطح المصقول كهربائيًا توصيل الغاز النظيف. ويتجنب الإحكام المعدني الاعتماد على الأختام اللدائنية في تكوين الإحكام الملامس للغاز المحدد.

قبل التركيب، تحقق من توافق الغاز مع جميع المكونات الملامسة له. لا يضمن الفولاذ المقاوم للصدأ والأختام المعدنية التوافق مع كل غاز تآكلي أو حالة عملية.

05 | نطاق التشغيل للضغط والبيئة

الضغط التفاضلي للتشغيل	28-40 psiD (194-275 kPaD)
أقصى ضغط تشغيل	70 psig (490 kPaG)
ضغط الاختبار	140 psig (981 kPaG)
درجة حرارة التشغيل	5-45°C (41-113°F)
التكوين المدفأ	لا؛ إصدار قياسي غير مدفأ

حافظ على الضغط التفاضلي المحدد أثناء التشغيل. يصف أقصى ضغط تشغيل وضغط الاختبار حدودًا مختلفة. لا يمثل ضغط الاختبار حالة تشغيل مستمرة مسموحًا بها.

06 | التحكم الكهربائي وبنية الصمام

نقطة الضبط التناظرية	0-5 VDC
المخرج التناظري	0-5 VDC
الواجهة الرقمية	RS-485
الموصل	موصل هوندا 20 دبوسًا
الإمداد الموجب	+15 VDC ±2%، 120 mA كحد أدنى
الإمداد السالب	−15 VDC ±2%، 50 mA كحد أدنى
أقصى طاقة	1.3 W
تقنية الصمام	مشغّل كهروضغطي
تكوين الصمام	مفتوح عادةً أو مغلق عادةً

يمكن أن يكون تكوين الصمام المحدد مفتوحًا عادةً أو مغلقًا عادةً. تأكد من خيار الصمام الفعلي قبل توصيل وحدة التحكم بمصدر غاز العملية.

07 | الأبعاد الميكانيكية وواجهة التركيب

الارتفاع	142 mm
العرض	38 mm
العمق	183.8 mm
البعد من المنفذ إلى المنفذ	183.8 mm
الوزن	1.8 kg (3.9 lb)

افحص الرسم التخطيطي قبل تعديل لوحة الغاز. تأكد من اتجاه المنفذ، ومساحة الخدمة، وحجم الوصلة، وموضع التركيب. قد يؤثر خيار VCR مقاس 3/8 بوصة على مساحة التركيب المطلوبة.

08 | تطبيقات عمليات أشباه الموصلات

CVD: يتحكم في توصيل غاز العملية في معدات الترسيب الكيميائي للبخار.
PVD: يدعم التحكم في تدفق الغاز في أنظمة الترسيب الفيزيائي للبخار.
النقش: يوفر توصيلًا محكومًا للغاز في عمليات النقش بالبلازما.
الانتشار: يدعم إمداد الغاز في معدات المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات.
الزرع الأيوني: يوفر التحكم في التدفق لأنظمة توصيل الغاز المتوافقة.
الترذيذ: يدعم تنظيم الغاز في معدات عملية الترذيذ.

09 | التشغيل والصيانة: فحوصات عملية

تحقق من النطاق الكامل. تأكد من أن الوحدة المثبتة تتوافق مع متطلبات تدفق العملية.
افحص اختيار الغاز. تأكد من الغاز المبرمج وبيانات المعايرة قبل تطبيق نقطة الضبط.
تأكد من خيار الصمام. حدد التشغيل المفتوح عادةً أو المغلق عادةً من تكوين الوحدة.
افحص وصلات VCR. طابق حجم الوصلة وأجهزة الإحكام مع لوحة الغاز.
افحص ظروف الضغط. حافظ على الضغط التفاضلي المطلوب أثناء التحقق من التدفق.
تحقق من الإشارات الكهربائية. تأكد من قطبية الإمداد، وتدرج الإشارة التناظرية، واتصال RS-485.
تحقق من استقرار الصفر. افحص مخرج الصفر تحت الظروف المحددة من الشركة المصنّعة قبل تقييم أداء التدفق المنخفض.

لاستكشاف أخطاء العملية وإصلاحها، افصل بين مشاكل إمداد الغاز والمشاكل المتعلقة بوحدة التحكم. افحص ضغط المدخل، وضغط المخرج، واختيار الغاز، وتدرج الإشارة قبل ضبط نظام التحكم في التدفق.

10 | الامتثال وتحديد المنتج

RoHS: متوافق حسب المواصفات.
مرجع SEMI: SEMI E17-91.
بنية السلسلة: عائلة FC-D980 الرقمية، الكهروضغطية، والمحكمة معدنيًا.
التكوين: إصدار قياسي غير مدفأ.

تأكد من وثائق الامتثال المعمول بها وإصدار المنتج قبل استخدام الوحدة في عملية تأهيل المعدات المنظمة.

11 | الأسئلة الشائعة

س1: ما الفرق العملي بين تكوين 30 لتر/دقيقة وتكوين 50 لتر/دقيقة؟

يحدد النطاق الكامل المختار نطاق القياس والتحكم. قد تناسب وحدة 30 لتر/دقيقة عملية ذات طلب أقصى أقل. وتوفر وحدة 50 لتر/دقيقة سعة أكبر عندما تتطلب التركيبة تدفقًا أعلى. قارن نقاط التشغيل الفعلية بدلًا من الاختيار بناءً على أقصى طلب للعملية فقط.

س2: هل يمكن تغيير تكوينات الغاز المخزنة أثناء تشغيل المعدات؟

تدعم وحدة التحكم تكوينات الغاز القابلة للبرمجة في الموقع. ومع ذلك، يعتمد الإجراء الآمن لتغيير الغازات على نظام التحكم في المعدات وتركيبة العملية. تأكد من أمر اختيار الغاز، وتسلسل الانتقال، وأقفال الأمان قبل تنفيذ التغييرات أثناء الإنتاج.

س3: كيف ينبغي للمهندسين تقييم أداء التدفق المنخفض أثناء اختبار القبول؟

استخدم أداة مرجعية معايرة ذات عدم يقين مناسب عند نقطة الاختبار المقصودة. ثبّت ضغط الغاز ودرجة الحرارة أولًا. ثم قارن القراءات بحد الدقة المستند إلى النطاق الكامل المعمول به تحت 25% من النطاق الكامل. تجنب استخدام معادلة الدقة للنطاق العلوي لقبول التدفق المنخفض.

س4: ما الذي قد يسبب قراءات غير مستقرة بعد استبدال وصلات لوحة الغاز؟

افحص محاذاة الوصلات، وأسطح إحكام VCR، وتسرب الغاز، والإجهاد الميكانيكي على منافذ وحدة التحكم. وتحقق أيضًا من أن الوصلات البديلة تتطابق مع أبعاد التوصيل الأصلية. يمكن أن يؤثر التسرب أو إجهاد التركيب على استقرار العملية حتى عندما تظل الواجهة الكهربائية صحيحة.

س5: كيف ينبغي لفرق الصيانة تقييم انحراف الصفر على المدى الطويل؟

سجّل قراءات الصفر تحت ظروف عزل الغاز والضغط والبيئة المتسقة. قارن النتائج بمرور الوقت مع استقرار الصفر السنوي المحدد. إذا تغيرت القراءة بشكل غير متوقع، افحص التسرب، والغاز المتبقي، والتلوث، وإعداد الاختبار قبل استنتاج أن وحدة التحكم تحتاج إلى إعادة معايرة.

ضمان شامل لمدة 12 شهرًا

كل جزء توفره Global PLC Spare Hub مشمول بـ ضمان لمدة 12 شهرًا من تاريخ الفاتورة.

التغطية: عيوب وظيفية وأعطال في الأجهزة في ظل ظروف التشغيل العادية.
التزامنا: نقدم إصلاحًا فوريًا أو استبدالًا أو استردادًا كاملاً لأي مكونات معيبة تم التحقق منها لتقليل وقت التوقف التشغيلي لديك.

سياسة الإرجاع والاستبدال

نقدم سياسة إرجاع لمدة 30 يومًا لضمان حصولك على الجزء الدقيق الذي يتطلبه نظامك.

الأهلية: تُقبل المرتجعات للعناصر غير المركبة في تغليفها الأصلي والمحكم الإغلاق من المصنع.
عملية RMA: يرجى الاتصال بفريق الدعم لدينا للحصول على رقم ترخيص إرجاع البضائع (RMA) قبل الشحن.
معالجة سريعة: تتم معالجة المبالغ المستردة أو الاستبدالات في غضون 3-5 أيام عمل بعد أن يجتاز العنصر المرتجع فحصنا الفني.

هل تحتاج إلى مساعدة فنية؟لست متأكدًا مما إذا كان هذا الجزء متوافقًا مع نظامك؟ [استشر مهندسينا] قبل الشراء لضمان التوافق بنسبة 100%.