627H21TBC1B MKS Instruments 627H Transductor de presión Baratron calefactado

627H21TBC1B | Medición de presión absoluta con sensor calefactado

MKS Instruments 627H21TBC1B es un transductor de presión absoluta con sensor calefactado de la serie 627H (serie 600).

Este modelo mide la presión absoluta en un rango de 20 Torr de fondo de escala. Su sensor funciona a una temperatura controlada de 45 °C.

El diseño calefactado ayuda a mantener estable la temperatura del sensor durante la medición de presión. La calibración vertical permite instalaciones que requieren una orientación de calibración definida.

El instrumento proporciona una salida analógica de 0 a +10 VCC. Funciona con una fuente de alimentación de ±15 VCC y utiliza una construcción en Inconel en contacto con el proceso.

Identificación del modelo

• Fabricante: MKS Instruments
• Modelo: 627H21TBC1B
• Familia de productos: 627H (serie 600)
• Tipo de instrumento: Transductor de presión absoluta Baratron con sensor calefactado
• Rango de medición: 0–20 Torr absolutos
• Temperatura del sensor: 45 °C controlada
• Orientación de calibración: Vertical
• Señal de salida: 0 a +10 VCC
• Conexión al proceso: 8 VCR hembra

01 | Arquitectura y rendimiento de la medición

El 627H21TBC1B utiliza una plataforma de medición Baratron con sensor calefactado. Mide la presión absoluta en lugar de la presión manométrica o diferencial.

Parámetro de medición	Especificación
Tipo de medición	Presión absoluta
Rango de fondo de escala	20 Torr
Exactitud	0,12 % de la lectura
Resolución	0,001 % del fondo de escala
No linealidad	Incluida en la exactitud especificada
Histéresis	Incluida en la exactitud especificada
No repetibilidad	Incluida en la exactitud especificada
Tiempo de calentamiento	2 horas
Posición de calibración	Vertical

Exactitud de la medición: La exactitud especificada es del 0,12 % de la lectura. Esta especificación incluye la no linealidad, la histéresis y la no repetibilidad.

Resolución de la medición: La resolución indicada es del 0,001 % del fondo de escala. A 20 Torr, esto corresponde a 0,0002 Torr.

La resolución describe el incremento de medición especificado más pequeño. No representa la exactitud absoluta de la medición.

02 | Control térmico y estabilidad de la medición

El sensor mantiene una temperatura controlada de 45 °C. Esta configuración calefactada ayuda a reducir las variaciones de medición asociadas a los cambios de temperatura del sensor.

Parámetro térmico	Especificación
Temperatura controlada del sensor	45 °C
Temperatura de funcionamiento	15 a 40 °C
Tiempo de calentamiento	2 horas
Coeficiente de temperatura del cero	0,002 % FS/°C
Coeficiente de temperatura del rango	0,02 % de la lectura/°C

Consideraciones de ingeniería:

• Deje transcurrir el período completo de calentamiento de dos horas antes de realizar mediciones críticas.
• Mantenga la temperatura ambiente dentro del rango de funcionamiento especificado.
• Evite cambios bruscos de temperatura alrededor del instrumento.
• Compruebe la estabilidad del cero después de la estabilización térmica.
• Evalúe la desviación del rango cuando cambien las condiciones ambientales.

La temperatura del sensor y la temperatura ambiente de funcionamiento describen condiciones diferentes. El ajuste interno de 45 °C no modifica el límite ambiente especificado de 15–40 °C.

03 | Interfaz eléctrica e integración de señales

El transductor proporciona una señal de tensión analógica para sistemas de supervisión de presión. Su interfaz eléctrica permite la integración con equipos de medición industrial compatibles.

Parámetro eléctrico	Especificación
Fuente de alimentación	±15 VCC
Tolerancia de alimentación	±5 %
Corriente máxima	0,25 A
Salida analógica	0 a +10 VCC
Impedancia de carga mínima	>10 kΩ
Conector eléctrico	D-Sub de 15 pines
Retención del conector	Bloqueos de rosca
Puntos de disparo	No disponible
LED de estado del calentador	No disponible

Interpretación de la señal analógica

Asumiendo una salida lineal de 0–10 V en el rango de 0–20 Torr:

• 0 V corresponde a 0 Torr.
• 2,5 V corresponde a 5 Torr.
• 5 V corresponde a 10 Torr.
• 7,5 V corresponde a 15 Torr.
• 10 V corresponde a 20 Torr.

Utilice la función de transferencia real del instrumento al configurar el sistema receptor. Verifique la escala de salida antes de la puesta en servicio.

Integración con PLC y adquisición de datos:

• Utilice un canal de entrada de tensión compatible.
• Confirme que la impedancia de entrada supere los 10 kΩ.
• Proporcione la alimentación bipolar de ±15 VCC requerida.
• Verifique las disposiciones de común de señal y puesta a tierra.
• Utilice cableado blindado cuando la instalación lo requiera.
• Compruebe el ruido eléctrico antes de ajustar la escala de medición.

04 | Conexión al proceso y construcción en contacto con el proceso

La barrera de presión utiliza materiales en contacto con el proceso de Inconel. La conexión al proceso cuenta con un racor hembra 8 VCR.

Parámetro mecánico	Especificación
Material en contacto con el proceso	Inconel
Conexión al proceso	8 VCR hembra
Volumen interno	6,3 cc
Límite de sobrepresión	45 psia (310 kPa) o 120 % FS, lo que sea mayor
Diámetro	3,15 in (80,0 mm)
Altura del cuerpo	3,87 in (98,4 mm)
Longitud del vástago	1,38 in (35,1 mm)

Espacio de instalación: Deje suficiente espacio libre para el cuerpo del sensor, el vástago, la conexión al proceso y el conector eléctrico.

Protección de presión: El límite de sobrepresión no representa un rango de presión de funcionamiento normal. Evite excursiones de presión más allá del límite especificado.

05 | Procedimiento de instalación y puesta en servicio

Instalación mecánica

1. Confirme que la posición de montaje coincida con la orientación de calibración vertical.
2. Compruebe la conexión hembra 8 VCR con la línea de proceso.
3. Inspeccione las superficies de sellado antes de conectar la línea de presión.
4. Utilice componentes de sellado VCR compatibles.
5. Evite cargas mecánicas excesivas sobre el cuerpo del instrumento.
6. Mantenga la instalación dentro de los límites de presión especificados.

Instalación eléctrica

1. Verifique la fuente de alimentación bipolar de ±15 VCC.
2. Compruebe la polaridad de la fuente y la tolerancia de tensión.
3. Inspeccione el conector D-Sub de 15 pines.
4. Asegure el conector utilizando sus bloqueos de rosca.
5. Conecte la salida analógica a una entrada de tensión adecuada.
6. Verifique las disposiciones de común de señal y puesta a tierra.

Secuencia de puesta en servicio

1. Aplique la fuente de alimentación especificada.
2. Deje transcurrir al menos dos horas para el calentamiento.
3. Confirme una temperatura ambiente estable.
4. Compruebe la referencia de presión cero en condiciones adecuadas.
5. Aplique puntos de presión conocidos utilizando una referencia calibrada.
6. Compare la tensión de salida con la presión esperada.
7. Confirme que el controlador receptor muestre las unidades de ingeniería correctas.

06 | Comprobaciones de diagnóstico y mantenimiento

Referencia práctica para la resolución de problemas

Condición observada	Inspección recomendada
Sin salida analógica	Compruebe la fuente de ±15 VCC, el cableado del conector y la entrada receptora.
La salida no alcanza el valor esperado	Verifique la referencia de presión y la escala analógica.
La lectura cero se desvía	Compruebe que el calentamiento se haya completado y la estabilidad de la temperatura ambiente.
Visualización de presión inestable	Inspeccione las conexiones de presión, la puesta a tierra y el cableado de señal.
Estabilización lenta	Compruebe la estabilización térmica y las condiciones de presión del proceso.
Desviación de calibración inesperada	Verifique la orientación de montaje y la referencia de calibración.

Recomendaciones de mantenimiento

• Inspeccione las conexiones al proceso durante el mantenimiento programado.
• Compruebe la tensión de alimentación antes de investigar errores de medición.
• Mantenga el conector eléctrico limpio y seguro.
• Registre los resultados de la verificación del cero y del rango.
• Utilice equipos de referencia adecuados para las comprobaciones de calibración.
• Siga los procedimientos de servicio de MKS para reparaciones internas.

Este modelo no tiene puntos de disparo ni LED de estado del calentador. Los ingenieros deben verificar las condiciones de funcionamiento mediante mediciones externas y diagnósticos del sistema.

07 | Aplicación e integración del sistema

El rango de medición absoluta de 20 Torr es adecuado para aplicaciones de supervisión de baja presión. La salida analógica permite la integración con sistemas compatibles de supervisión de presión.

• Equipos de semiconductores: Supervisión de presión en cámaras de proceso y equipos de vacío compatibles.
• Sistemas de vacío: Medición de presión absoluta dentro del rango configurado.
• Procesos de película fina: Retroalimentación de presión para equipos de deposición adecuados.
• Sistemas de suministro de gas: Supervisión de presión en líneas de gas de baja presión compatibles.
• Instrumentación industrial: Medición analógica de presión mediante interfaces PLC y de adquisición de datos.

La idoneidad de la aplicación depende de la compatibilidad con los gases del proceso, las condiciones de presión, el diseño de la instalación y el rendimiento de medición requerido.

08 | Selección del modelo y verificación del pedido

Varios detalles de configuración determinan si este instrumento coincide con una instalación existente. Verifique el número de modelo completo antes de comprar.

• Rango de medición: Confirme el rango de fondo de escala requerido de 20 Torr.
• Tipo de medición: Verifique la medición de presión absoluta.
• Configuración de calefacción: Confirme la temperatura del sensor de 45 °C.
• Calibración: Compruebe el requisito de calibración vertical.
• Salida: Confirme la interfaz de señal de 0–10 VCC.
• Alimentación: Verifique la disponibilidad de la fuente de ±15 VCC.
• Conexión: Confirme el racor hembra 8 VCR.
• Material: Compruebe la compatibilidad del Inconel con el proceso.

Consejo para el pedido: Un rango de 20 Torr idéntico por sí solo no garantiza la intercambiabilidad. Compare la interfaz eléctrica, la orientación de calibración, la configuración de calefacción y la conexión al proceso.

09 | Cumplimiento e información del paquete

Cumplimiento

• Conforme con la normativa CE.

Confirme la declaración y la documentación aplicables para la configuración exacta suministrada.

Contenido del paquete

• 1 × MKS Instruments 627H21TBC1B Transductor de presión Baratron con sensor calefactado.
• Los accesorios y la documentación adicionales dependen de la configuración de pedido confirmada.

Los cables de alimentación, los conectores compatibles, los certificados de calibración y los accesorios de montaje requieren una confirmación por separado.

10 | Preguntas frecuentes técnicas

P1: ¿Por qué la instalación requiere una orientación de calibración vertical?

La orientación de calibración define la posición de referencia para el rendimiento de medición especificado. La orientación mecánica puede afectar las lecturas del sensor de presión en ciertos diseños.

Instale el instrumento en la posición vertical especificada. Si el equipo requiere otra orientación, consulte a MKS antes de la instalación.

P2: ¿Cómo deben distinguir los ingenieros la resolución del sensor de la exactitud del sistema?

La resolución describe el incremento de medición especificado más pequeño. La exactitud describe qué tan cerca está el valor medido de la presión real.

Para este modelo, la resolución es de 0,0002 Torr. Su exactitud especificada es del 0,12 % de la lectura.

La resolución de entrada del PLC y el ruido de la señal pueden reducir la resolución de medición efectiva del sistema completo.

P3: ¿Qué puede causar una lectura de presión incorrecta después de reemplazar el transductor?

Las causas comunes incluyen una escala de señal incorrecta, una orientación de montaje inadecuada y fuentes de alimentación incompatibles.

Los ingenieros también deben comprobar la conexión 8 VCR y la configuración del instrumento receptor.

Compare la salida analógica con una referencia de presión calibrada antes de cambiar los parámetros del controlador.

P4: ¿Por qué los ingenieros deben esperar dos horas antes de realizar comprobaciones de calibración?

El sensor interno utiliza calefacción controlada a 45 °C. Su estado térmico necesita tiempo para estabilizarse después de la puesta en marcha.

Realizar comprobaciones de calibración demasiado pronto puede introducir desviaciones de cero o de rango engañosas.

Deje transcurrir el período de calentamiento especificado antes de evaluar el rendimiento de medición.

P5: ¿Qué deben verificar los compradores al seleccionar este modelo para equipos de vacío?

Primero, confirme que la presión absoluta de 20 Torr cubra el rango de funcionamiento real del proceso.

A continuación, verifique la calibración vertical, la configuración de calefacción de 45 °C y la salida de 0–10 VCC.

Compruebe la fuente de ±15 VCC y la conexión hembra 8 VCR disponibles. También confirme la compatibilidad del Inconel con los medios del proceso.

Para proyectos de reemplazo, proporcione la fotografía original de la placa de identificación y los detalles de la interfaz del equipo antes de realizar el pedido.

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