E28H11TDE2B MKS Instruments Transductor de presión de grabado Serie 600
Manufacturer: MKS Instruments
Product No.: E28H11TDE2B
Condition： En stock
Product Type: Módulo Transductor de Presión
Product Origin: USA
Payment: T/T, Western Union
Weight: 500g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
Tiempo estimado de entrega: 12-26 días (Internacional), 3-6 días (Estados Unidos).
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MKS Instruments E28H11TDE2B – Sensor Baratron para grabado con calefacción a 100 °C
El E28H11TDE2B es un sensor de presión absoluta con calefacción a 100 °C de la serie E28H 600 de MKS Instruments. Utiliza tecnología de diafragma capacitivo para medir presiones absolutas bajas con alta repetibilidad.
Diseñado para aplicaciones de grabado en semiconductores, este sensor mantiene una temperatura controlada para favorecer una medición de presión estable. Su deflector de grabado patentado integrado cuenta con un diseño de sumidero que ayuda a proteger el área de detección en entornos de proceso exigentes.
La unidad proporciona una salida analógica de 0–10 VCC y no incluye puntos de disparo integrados. Un LED de estado de la calefacción proporciona una indicación local del funcionamiento de la misma. La conexión NW16 ISO-KF permite conectarlo a líneas de vacío compatibles.
01 | Desglose de la configuración
El código de pedido identifica la familia de sensores, el rango de presión, la conexión, la conexión eléctrica y las opciones de configuración. El siguiente desglose se basa en la información de configuración suministrada. Las definiciones de los sufijos relacionados con la calibración deben confirmarse con la documentación oficial de códigos de pedido de MKS.
| Segmento del código | Configuración | Interpretación suministrada |
|---|---|---|
| E28H | Familia de productos | Sensor Baratron para grabado E28H con calefacción a 100 °C |
| 11T | Rango de presión | 10 Torr de fondo de escala |
| D | Conexión | Conexión NW16 ISO-KF |
| E | Opción de configuración | La descripción del código suministrado asocia este segmento con opciones de precisión y calibración. Su significado exacto requiere confirmación. |
| 2 | Conector eléctrico | D-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca |
| B | Opción de calibración | La descripción del código suministrado indica una calibración horizontal, lo que entra en conflicto con la especificación del producto, que establece una calibración vertical. |
Verificación de la configuración: La especificación técnica suministrada establece una calibración vertical. La explicación del sufijo identifica una calibración horizontal para los segmentos E y B. Estos detalles son contradictorios y deben comprobarse con el registro de pedido completo del fabricante antes de sustituir o instalar el sensor.
02 | Rendimiento de medición
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Tipo de medición | Presión absoluta |
| Rango de fondo de escala | 10 Torr |
| Temperatura del sensor | Controlada a 100 °C |
| Precisión | 0,25 % de la lectura, incluyendo no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad |
| Resolución | 0,001 % del fondo de escala |
| Tiempo de calentamiento | 2 horas |
| Orientación de calibración | Vertical, según la especificación técnica suministrada |
| Estado de la calefacción | Indicador LED |
| Puntos de disparo | Ninguno; solo salida analógica |
03 | Interfaz eléctrica y salida de señal
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Fuente de alimentación | ±15 VCC, ±5 % |
| Corriente máxima | 0,60 A |
| Salida analógica | 0 a +10 VCC |
| Carga de salida | Superior a 10 kΩ |
| Conector | D-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca |
| Tipo de señal | Salida de tensión analógica |
La salida de 0–10 VCC permite la conexión a equipos compatibles de monitorización y control de procesos. Confirme el rango de entrada y los requisitos de puesta a tierra del instrumento receptor antes de realizar el cableado.
04 | Conexión de vacío y construcción del sensor
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Conexión | NW16 ISO-KF |
| Materiales en contacto con el proceso | Inconel |
| Volumen interno | 6,3 cc |
| Límite de sobrepresión | 45 psia (310 kPa) o el 120 % del fondo de escala, lo que sea mayor |
| Deflector de grabado | Diseño de sumidero patentado integrado |
| Referencia de la patente | Patente de EE. UU. n.º 5.822.685 |
El deflector de grabado integrado con diseño de sumidero está diseñado para entornos de procesos de grabado. La construcción en Inconel de las partes en contacto con el proceso proporciona la interfaz de material especificada para la exposición al proceso. Aun así, se debe evaluar la compatibilidad con el proceso en función de la composición real de los gases y las condiciones de funcionamiento.
05 | Datos térmicos y mecánicos
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Temperatura de funcionamiento | De 15 a 40 °C |
| Coeficiente de temperatura del cero | 0,002 % FS/°C |
| Coeficiente de temperatura del fondo de escala | 0,02 % de la lectura/°C |
| Diámetro | 3,15 in (80,0 mm) |
| Altura del cuerpo | 3,87 in (98,4 mm) |
| Longitud del vástago | 1,38 in (35,1 mm) |
06 | Notas de selección e instalación para ingeniería
- Rango de presión: Confirme que el rango de fondo de escala de 10 Torr coincida con el intervalo de presión del proceso. Evite seleccionar un rango basándose únicamente en la presión máxima del sistema.
- Orientación de montaje: Verifique la orientación de calibración requerida antes de la instalación. La especificación suministrada establece una calibración vertical.
- Funcionamiento de la calefacción: Espere aproximadamente dos horas para que se caliente antes de confiar en el rendimiento de medición.
- Compatibilidad eléctrica: Compruebe la fuente de alimentación de ±15 VCC, la capacidad de corriente, la entrada de 0–10 VCC y la disposición de los pines del conector de 15 pines.
- Interfaz de vacío: Confirme que el sistema utiliza una conexión NW16 ISO-KF y que los componentes de sellado son compatibles.
- Exposición al proceso: Revise la composición de los gases, los depósitos y los procedimientos de limpieza antes de utilizar el sensor en una cámara de grabado.
07 | Compatibilidad de sustitución
El E28H11TDE2B se especifica como intercambiable con familias anteriores de manómetros Baratron de MKS, entre ellas:
- MKS serie 128
- MKS serie 628A
- MKS serie 628B
- MKS serie 628D
- MKS serie E28B
- MKS serie E28D
- MKS serie E28F
La intercambiabilidad no debe considerarse como una compatibilidad automática de conexión y uso. Antes de sustituir una unidad instalada, compare el rango de presión, la conexión, la orientación de montaje, la asignación de pines del conector, la fuente de alimentación, la señal de salida y los requisitos de calibración.
08 | Información de cumplimiento y suministro
- Fabricante: MKS Instruments
- Serie: E28H / serie 600
- Modelo: E28H11TDE2B
- Cumplimiento: Conforme a la CE
- Estado: Nuevo y original en embalaje de fábrica
- Garantía: Garantía de fábrica: 12 meses
- Envío: Disponible por FedEx, UPS y DHL
09 | Perspectiva de ingeniería del centro global de repuestos PLC
Al seleccionar el E28H11TDE2B, los ingenieros deben prestar especial atención a su diseño de sensor con calefacción y a su orientación de instalación. La temperatura controlada del sensor a 100 °C, el rango de medición de 10 Torr y la salida de 0–10 VCC definen sus principales requisitos de integración.
El deflector de grabado integrado con diseño de sumidero es una característica de configuración importante para aplicaciones de procesos de semiconductores. En proyectos de sustitución, verifique el código de modelo completo y la interfaz eléctrica en lugar de confiar únicamente en el nombre de la serie. La discrepancia de orientación de calibración en la descripción del sufijo suministrada también debe resolverse antes de realizar el pedido.
10 | Preguntas frecuentes
P1: ¿Qué información debe proporcionarse al solicitar una cotización de sustitución?
Proporcione el número de modelo completo, la aplicación del equipo, el rango de presión, el tipo de conexión, los detalles del conector y una foto de la placa de identificación instalada. Estos detalles ayudan a verificar la configuración requerida antes del envío.
P2: ¿Se puede instalar este sensor en un sistema que actualmente utiliza un modelo Baratron diferente?
Potencialmente. Las familias heredadas enumeradas se identifican como intercambiables, pero la instalación real debe comprobarse en cuanto a compatibilidad mecánica, eléctrica y de calibración. Un rango de presión idéntico no es suficiente.
P3: ¿Qué debe comprobarse si la lectura de presión se desvía después de la instalación?
Compruebe el tiempo de calentamiento, la orientación de montaje, la estabilidad de la fuente de alimentación, la puesta a tierra, la contaminación del proceso y la configuración de entrada del instrumento receptor. Compare la salida con una referencia adecuada antes de ajustar los controles del sistema.
P4: ¿Es adecuado un sensor de 10 Torr para todos los procesos de grabado de baja presión?
No. El rango correcto depende de la presión de funcionamiento normal, los transitorios del proceso y la resolución de medición requerida. Revise el intervalo de presión previsto y los requisitos del sistema de control antes de seleccionar el rango.
P5: ¿El E28H11TDE2B proporciona alarmas de relé para los límites de presión?
No. La especificación suministrada identifica este modelo como de salida analógica únicamente, sin puntos de disparo. Si la aplicación requiere un conmutador de alarma independiente, utilice un controlador externo o un sistema de monitorización compatible.
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