E29H.1TBFL1B MKS E29H Medidor Baratron de grabado

MKS E29H.1TBFL1B | Transductor de presión Baratron con sensor de grabado calefactado

Los entornos de los procesos de grabado imponen requisitos exigentes a la medición de la presión de vacío. Los subproductos del proceso pueden acumularse en las superficies de detección expuestas y afectar a la estabilidad del cero a largo plazo.

El MKS Instruments E29H.1TBFL1B aborda este desafío con un diseño especializado de sensor de grabado calefactado. Pertenece a la serie MKS E29H (serie 600) y proporciona medición de presión absoluta en un rango de 0,1 Torr de fondo de escala.

El instrumento mantiene la temperatura del sensor a 100 °C. Su estructura de sumidero integrada patentada ayuda a proteger el diafragma de detección de la deposición de subproductos del proceso. Este diseño soporta aplicaciones exigentes de grabado en semiconductores.

El transductor proporciona una salida analógica de 0–10 VCC a través de un conector D-sub de 9 pines. Su conexión de proceso hembra VCR de 8 soporta conexiones de vacío de alta pureza compatibles.

El E29H.1TBFL1B también ofrece compatibilidad total con los manómetros MKS 629 y E29 Baratron anteriores, según las especificaciones del producto suministradas.

01 | Identidad del producto y posicionamiento de ingeniería

Identificación	Especificación
Fabricante	MKS Instruments
Modelo completo	E29H.1TBFL1B
Familia de productos	Serie E29H
Plataforma	Serie 600
Tipo de producto	Transductor de presión Baratron con sensor de grabado calefactado
Principio de medición	Manómetro capacitivo
Referencia de medición	Presión absoluta
Rango de fondo de escala	0,1 Torr
Temperatura controlada del sensor	100 °C
Orientación de calibración	Vertical
Conexión de proceso	8 VCR hembra
Conexión eléctrica	D-sub de 9 pines con bloqueadores de rosca
Protección de grabado	Sumidero integrado patentado

02 | Tecnología del sensor de grabado y ventajas estructurales

La característica definitoria de la serie E29H es su construcción especializada de sensor de grabado. El sumidero integrado aborda los riesgos de contaminación en entornos de procesos reactivos.

Característica de diseño	Función de ingeniería
Conjunto de detección calefactado	Mantiene una temperatura controlada del sensor de 100 °C.
Estructura del sensor de grabado	Aborda la acumulación de subproductos del proceso alrededor del diafragma de detección.
Sumidero integrado	Ayuda a evitar que los depósitos del proceso alcancen el diafragma de aislamiento.
Materiales Inconel en contacto con el proceso	Proporciona la construcción de material de contacto con el proceso especificada.
Medición capacitiva	Mide la presión absoluta mediante el desplazamiento del diafragma.

Diseño patentado: El sumidero integrado incorpora tecnología patentada bajo la Patente de EE. UU. N.º 5,822,685.

En las aplicaciones de grabado, los residuos del proceso depositados pueden alterar el comportamiento del diafragma y contribuir a la deriva de la medición. El diseño del sumidero ayuda a limitar esta exposición y permite un monitoreo de presión más consistente.

03 | Desglose de configuración – Estructura del código de pedido

El número de pedido completo identifica la familia de instrumentos, el rango de presión, la unidad y la configuración de hardware seleccionada. El siguiente árbol separa las especificaciones confirmadas de las interpretaciones de código que requieren documentación original del fabricante.

Segmento de código	Categoría de configuración	Identificación
E29H	Familia de productos	Familia Baratron de sensores de grabado calefactados MKS
.1	Código de fondo de escala	Configuración de rango de 0,1 Torr
T	Unidad de presión	Torr
B	Código de configuración térmica	Requiere confirmación con la tabla original de códigos de pedido; la especificación suministrada indica 100 °C
F	Código de conexión de proceso	La configuración suministrada especifica 8 VCR hembra
L1B	Configuración eléctrica y de fábrica	La configuración suministrada especifica D-sub de 9 pines y calibración vertical

Número de pedido completo:

• E29H – Familia de productos de sensores de grabado calefactados
• .1T – Rango de presión de 0,1 Torr
• B – Código de configuración que requiere verificación del fabricante
• F – Configuración de conexión asociada con la especificación 8 VCR hembra suministrada
• L1B – Identificador adicional de configuración eléctrica y de fábrica

Nota de pedido: No infiera la temperatura del calentador, el número de pines del conector o la orientación de calibración únicamente a partir de los caracteres de sufijo individuales. Confirme estos detalles con la documentación completa de pedidos del fabricante.

04 | Rendimiento y precisión de medición

La configuración de detección de rango bajo permite un monitoreo preciso de la presión absoluta. Su precisión especificada incluye no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad.

Parámetro de medición	Especificación
Tipo de medición	Presión absoluta
Rango de fondo de escala	0,1 Torr
Temperatura controlada del sensor	100 °C
Componentes de precisión	No linealidad, histéresis y falta de repetibilidad
Resolución	0,001% F.S.
Resolución equivalente	0,000001 Torr
Temperatura del sensor	100 °C controlada
Tiempo de calentamiento	4 horas
Orientación de calibración	Vertical

Interpretación de la medición: La especificación del 0,50% de la lectura describe la precisión. El valor del 0,001% F.S. describe la resolución. La resolución no representa una precisión de medición garantizada.

05 | Características térmicas y condiciones de operación

El conjunto calefactado mantiene una temperatura controlada del sensor de 100 °C. Este arreglo térmico permite la estabilidad de la medición en entornos de procesos de semiconductores.

Parámetro térmico	Valor
Temperatura controlada del sensor	100 °C
Temperatura ambiente de operación	15 a 40 °C
Tiempo de calentamiento	4 horas
Coeficiente de temperatura del cero	0,01% F.S./°C
Coeficiente de temperatura del rango	0,02% de la lectura/°C

Consideración de ingeniería: La temperatura interna del sensor difiere de la temperatura ambiente circundante. Mantenga el rango ambiente especificado durante la operación.

06 | Interfaz eléctrica y características de señal

El instrumento utiliza una salida analógica basada en voltaje. Permite la integración con módulos de entrada analógica PLC compatibles y sistemas industriales de adquisición de datos.

Parámetro eléctrico	Especificación
Fuente de alimentación	±15 VCC, ±5%
Corriente máxima	0,50 A
Salida analógica	0 a +10 VCC
Carga de salida	Mayor a 10 kΩ
Conector eléctrico	D-sub de 9 pines
Retención del conector	Bloqueadores de rosca
Salidas de punto de disparo	No disponible
LED de estado del calentador	No disponible

Recomendaciones de integración:

• Proporcione una fuente de alimentación regulada de ±15 VCC.
• Verifique la corriente de suministro disponible antes de la instalación.
• Utilice una entrada analógica compatible con señales de 0–10 VCC.
• Mantenga una impedancia de entrada superior a 10 kΩ.
• Verifique la asignación de pines del D-sub de 9 antes del cableado.
• Aplique prácticas adecuadas de blindaje de señal y puesta a tierra.
• No espere salidas de relé ni indicación local del estado del calentador.

07 | Interfaz de proceso y construcción mecánica

La conexión hembra VCR de 8 soporta tuberías de gas de proceso de alta pureza. El Inconel forma la construcción de material en contacto especificada.

Parámetro mecánico	Especificación
Conexión de proceso	8 VCR hembra
Materiales en contacto	Inconel
Volumen interno	6,3 cc
Límite de sobrepresión	45 psia (310 kPa)
Diámetro del cuerpo	3,15 in (80,0 mm)
Altura del cuerpo	3,87 in (98,4 mm)
Longitud del vástago	1,38 in (35,1 mm)
Cumplimiento	Cumple con CE

Instalación mecánica: Verifique la compatibilidad de las conexiones, las superficies de sellado y el espacio libre de instalación. Utilice componentes de conexión VCR adecuados para el sistema de proceso.

08 | Procedimiento de instalación y puesta en marcha

La instalación correcta ayuda a preservar la condición de medición calibrada. La siguiente secuencia permite una puesta en marcha sistemática del equipo.

1. Verifique el modelo: Confirme el número de pedido completo E29H.1TBFL1B.
2. Verifique el rango: Verifique el requisito de fondo de escala de 0,1 Torr.
3. Confirme la orientación: Instale según la especificación de calibración vertical.
4. Inspeccione la conexión: Verifique la conexión hembra VCR de 8 y los componentes de acoplamiento.
5. Prepare la línea de proceso: Elimine la contaminación de las superficies de conexión.
6. Complete la instalación mecánica: Siga el procedimiento de instalación VCR adecuado.
7. Conecte la alimentación: Aplique el suministro especificado de ±15 VCC.
8. Conecte la señal: Verifique el cableado del D-sub de 9 pines y la configuración de entrada analógica.
9. Permita la estabilización térmica: Complete el período de calentamiento de cuatro horas.
10. Valide la medición: Compare la salida con una referencia calibrada adecuada.

09 | Mantenimiento y confiabilidad del proceso

Los subproductos del proceso de grabado pueden influir en el rendimiento de detección de vacío. El mantenimiento debe centrarse en la limpieza del proceso, la estabilidad térmica y la integridad de la señal.

Enfoque de mantenimiento	Acción de ingeniería
Residuos de grabado	Inspeccione el sistema de proceso en busca de deposición o contaminación anormal.
Conexión de vacío	Verifique las superficies de sellado VCR y la integridad de la conexión.
Estabilidad del cero	Verifique la presión de referencia y las condiciones de calibración.
Estabilización térmica	Permita el período de calentamiento especificado de cuatro horas.
Integridad eléctrica	Inspeccione el voltaje de suministro, la puesta a tierra y el cableado analógico.
Verificación de medición	Compare las lecturas con un instrumento de referencia independiente.

Recomendación de servicio: Evite el desmontaje no autorizado del conjunto de detección. Siga los procedimientos de MKS al limpiar, inspeccionar o recalibrar el instrumento.

10 | Compatibilidad del sistema y aplicaciones de reemplazo

El E29H.1TBFL1B está destinado a aplicaciones de vacío para semiconductores que requieren monitoreo de baja presión bajo condiciones de proceso de grabado.

• Equipos de grabado por plasma para semiconductores
• Sistemas de procesos de grabado reactivo por iones
• Monitoreo de presión de cámaras de vacío
• Equipos de gases de proceso para semiconductores
• Ensamblajes de vacío de alta pureza
• Sistemas de instrumentación Baratron MKS compatibles

Compatibilidad heredada: La especificación suministrada identifica compatibilidad total con los manómetros MKS 629 y E29 Baratron anteriores. Verifique la configuración eléctrica y mecánica completa antes del reemplazo.

Lista de verificación de reemplazo:

• Confirme el rango de fondo de escala de 0,1 Torr.
• Verifique el requisito de medición de presión absoluta.
• Verifique la especificación de temperatura del sensor de 100 °C.
• Confirme la conexión de proceso hembra VCR de 8.
• Coincida con la interfaz eléctrica D-sub de 9 pines.
• Verifique el requisito de alimentación de ±15 VCC.
• Preserve la orientación de calibración vertical.

11 | Certificaciones y cumplimiento

• Cumplimiento con CE: El modelo especificado cumple con CE.
• Medición de presión: Medición capacitiva absoluta.
• Construcción del proceso: Materiales Inconel en contacto con el proceso.
• Conexión de proceso: 8 VCR hembra.
• Diseño de grabado patentado: Patente de EE. UU. N.º 5,822,685.

Solicite la declaración aplicable del fabricante y los documentos técnicos de respaldo cuando su proyecto requiera una verificación formal de cumplimiento.

12 | Cinco preguntas frecuentes de ingeniería profesional

P1: ¿Por qué un transductor de presión específico para grabado necesita un sumidero integrado?

R: Los procesos de grabado pueden generar subproductos que se desplazan a través del sistema de vacío. El sumidero integrado ayuda a limitar su acumulación en el diafragma de aislamiento. Esto reduce una fuente potencial de deriva de medición y problemas de mantenimiento.

P2: ¿Qué deben considerar los ingenieros al reemplazar un instrumento MKS 629 o E29 anterior?

R: Verifique el arreglo de montaje, las dimensiones de la conexión, el pinout eléctrico, el rango de presión y los requisitos de señal analógica. La compatibilidad heredada indicada no elimina la necesidad de verificar la configuración del sistema instalado.

P3: ¿Cómo deben investigar los equipos de mantenimiento la deriva gradual del cero en una cámara de grabado?

R: Primero, inspeccione la contaminación del proceso y la integridad de la conexión de vacío. Luego verifique el período de calentamiento y compare la lectura con una referencia independiente. Evite asumir que cada cambio del cero indica una falla electrónica.

P4: ¿El E29H es adecuado para aplicaciones que requieren un indicador local listo para calentador?

R: Esta configuración no incluye un LED de estado del calentador. Si los operadores requieren una indicación local del calentador, seleccione un modelo con una función de indicador confirmada o proporcione una solución de monitoreo externa adecuada.

P5: ¿Cómo deben elegir los equipos de compras entre un E29H y un Baratron calefactado estándar?

R: Considere primero la química del proceso y el riesgo de deposición. Una estructura de detección específica para grabado ofrece una ventaja de diseño cuando los subproductos del proceso amenazan la limpieza del diafragma. También compare el rango, la temperatura del sensor, las conexiones, la precisión y la configuración eléctrica.

13 | Términos comerciales e información de pedido

Apoyamos el mantenimiento de equipos de semiconductores, el reemplazo de instrumentación de vacío y las compras de automatización industrial.

Información comercial	Detalles
Fabricante	MKS Instruments
Modelo	E29H.1TBFL1B
Serie	Serie E29H / 600
Tipo de producto	Sensor Baratron de grabado térmico
Rango de medición	0,1 Torr
Temperatura del sensor	100 °C
Conexión de proceso	8 VCR hembra
Garantía	12 meses
Métodos de envío	FedEx / UPS / DHL

Garantía de 12 meses: Ofrecemos una garantía de 12 meses contra defectos cubiertos del producto, sujeta a los términos de venta y las condiciones de garantía acordados.

Entrega internacional: Admitimos opciones de envío por FedEx, UPS y DHL. Los arreglos de entrega dependen del destino y de la confirmación del pedido.

Solicitar una cotización: Contacte a nuestro equipo de ventas para obtener información sobre precios, disponibilidad, plazos de entrega y soporte técnico. Proporcione el número de modelo completo y los requisitos de proceso para ayudar a verificar la configuración correcta.

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