La serie Aera® de Hitachi Metals / Advanced Energy ofrece controladores de flujo másico (MFC) y medidores de flujo másico (MFM) de alta precisión, diseñados para procesos de semiconductores, deposición de películas delgadas por CVD/PVD y recubrimiento industrial al vacío. Basada en sensores térmicos de flujo de microorificio y conductos de flujo en contacto con gas de acero inoxidable 316L, esta cartera garantiza tiempos de respuesta ultrarrápidos (≤1 s), una baja susceptibilidad a las interferencias de radiofrecuencia y una deriva de cero mínima a largo plazo. Desde modelos económicos con sellos de elastómero (FC-R7700) hasta arquitecturas de alta integridad con sellos metálicos (FC-R7800) y avanzadas plataformas digitales multigas (FC-DR980 / HG200 / Transformer®), los dispositivos Aera admiten amplios rangos dinámicos de flujo, desde 10 SCCM hasta 200 SLM. Diseñados para una compatibilidad directa con conexiones de juntas metálicas VCR®, configuraciones estándar de pines D-Sub y comunicaciones mediante protocolos de bus de campo, nuestros productos en stock proporcionan una medición de gas fiable y un control dinámico preciso de la válvula para la sustitución de repuestos industriales de misión crítica.
