تقدم مجموعة أجهزة HORIBA الصناعية وأنظمة التحكم في العمليات إدارة فائقة الدقة لتدفق الغازات والسوائل، إلى جانب حلول تحليلية عالية الدقة لبيئات أشباه الموصلات والصناعات الكيميائية والرصد المستمر للانبعاثات. وتضم هذه المجموعة المتخصصة وحدات التحكم في التدفق الكتلي STEC الرائدة في الصناعة (MFCs) — بما في ذلك النماذج الرقمية SEC-Z500X وSEC-E وسلسلة Criterion غير الحساسة للضغط — التي تستخدم صمامات تعمل بالتحفيز الكهروضغطي وتقنية أجهزة الاستشعار الحرارية عالية السرعة لاستجابة تدفق في أقل من ثانية. وللتشخيص المستمر للعمليات، تتضمن مخزوناتنا أجهزة تحليل الغازات متعددة المكونات HORIBA VA-5000، وأجهزة الرصد الكيميائي بتقنية الأشعة تحت الحمراء غير المشتتة (NDIR)، وأجهزة مطيافية الانبعاثات الضوئية، وأجهزة قياس تركيز السوائل المدمجة في خطوط الإنتاج. صُممت هذه قطع الغيار الأصلية من HORIBA بمسارات تلامس مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L، ومفاتيح رقمية متعددة الغازات/النطاقات، وبروتوكولات Ethernet/DeviceNet عالية السرعة، لتوفير تكرار صارم للعمليات، وأدنى انحراف للصفر، وموثوقية عالية عبر حلقات أتمتة المصانع الصناعية ومصانع أشباه الموصلات الحيوية.
