وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي HORIBA SEC-Z514MGX من سلسلة Z500

نظرة عامة على المنتج

يُعد HORIBA SEC-Z514MGX وحدة رقمية للتحكم في التدفق الكتلي من سلسلة Z500. ويوفر تنظيمًا دقيقًا لتدفق الغاز في تصنيع أشباه الموصلات وأنظمة العمليات الصناعية.

يجمع هذا الطراز بين قياس التدفق الكتلي الحراري وصمام تحكم مدمج. ويوفر نظام التحكم PID المتغير استجابة كاملة النطاق في غضون ثانية واحدة. ويمكن للمهندسين استخدامه للحفاظ على إمداد ثابت للغاز أثناء انتقالات العملية.

يدعم SEC-Z514MGX بروتوكول الاتصال DeviceNet ومصدر طاقة بجهد 24 فولت تيار مستمر. وتستخدم مكوناته الملامسة للغاز فولاذًا مقاومًا للصدأ من نوع 316L مصقولًا. وتدعم هذه الميزات التشغيل الموثوق في بيئات إمداد الغاز الصعبة.

تقدم HORIBA أيضًا SEF-Z514MGX كتكوين مقياس التدفق الكتلي المقابل. ينظم الطراز SEC التدفق، بينما يقيس الطراز SEF التدفق دون صمام تحكم مدمج.

المواصفات الفنية

العلامة التجارية	HORIBA STEC
السلسلة	سلسلة Z500 / Z500X
طراز وحدة التحكم	SEC-Z514MGX
طراز المقياس	SEF-Z514MGX
نوع المنتج	وحدة رقمية للتحكم في التدفق الكتلي / مقياس للتدفق الكتلي
الاتصال	بروتوكول DeviceNet
مصدر الطاقة	24 فولت تيار مستمر، 4.0 فولت أمبير
المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ 316L مصقول
درجة حرارة التشغيل	من 5 إلى 50 درجة مئوية
درجة الحرارة الموصى بها	من 15 إلى 45 درجة مئوية
الوصلة القياسية	معادل VCR مقاس 1/4 بوصة
اتجاه التركيب	اتجاه حر

نطاق التدفق وأداء القياس

يدعم SEC-Z514MGX تكوينات متعددة للتدفق كامل النطاق المكافئ للنيتروجين. ويعتمد السعة الفعلية للتدفق على النطاق المختار وغاز العملية.

رمز النطاق	النطاق الكامل المكافئ للنيتروجين
#R01	10 SCCM
#R1.5	17.5 SCCM
#01	30 SCCM
#1.5	55 SCCM
#02	100 SCCM
#2.5	175 SCCM
#03	300 SCCM
#3.5	550 SCCM
#04	1 SLM
#4.5	1.75 SLM
#05	3 SLM
#5.5	5.5 SLM
#06	10 SLM

خصائص القياس والتحكم

• نطاق التحكم: من 2 إلى 100% من النطاق الكامل.
• نطاق القياس: من 0 إلى 100% من النطاق الكامل لمقياس SEF.
• الدقة فوق 25% من النطاق الكامل: ±1.0% من نقطة الضبط.
• الدقة عند 25% أو أقل من النطاق الكامل: ±0.25% من النطاق الكامل.
• زمن الاستجابة: ≤1 ثانية عبر كامل نطاق التدفق.
• الخطية: ≤±0.5% من النطاق الكامل.
• التكرارية: ≤±0.2% من النطاق الكامل.
• تسرب الصمام المغلق: ≤2% من النطاق الكامل.

تصنيفات الضغط والبيئة

الضغط التفاضلي للتشغيل	50–300 kPa(d)
الضغط التفاضلي للتدفق العالي	100–300 kPa(d) للطرازين #5.5 و#06
الضغط التفاضلي لـ SEF	≤300 kPa(d)
أقصى ضغط تشغيل	450 kPa(g)
مقاومة الضغط	1000 kPa(g)
سلامة تسرب الهيليوم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s

ملاحظة هندسية: تختلف متطلبات الضغط التفاضلي حسب نطاق التدفق. تحقق من ظروف الضغط في المنبع والمصب قبل التركيب.

الميزات الكهربائية والاتصال

• الواجهة الرقمية: بروتوكول DeviceNet.
• مدخل الطاقة: 24 فولت تيار مستمر.
• استهلاك الطاقة: 4.0 فولت أمبير.
• طريقة التحكم: تحكم PID متغير.
• تكوين الصمام: مفتوح عادةً أو مغلق عادةً.

يحدد التكوين المورد خيارات الاتصال والكهرباء المتاحة. أكد رمز الطراز الكامل قبل دمج الوحدة مع وحدة PLC أو وحدة تحكم في إمداد الغاز.

تفصيل تكوين الطراز

يحدد رمز طراز SEC-Z514MGX عائلة المنتج وتكوينه. تتطلب الخيارات التالية التأكيد بمقارنتها بمعلومات الطلب الكاملة للمصنع.

• SEC: تكوين وحدة التحكم في التدفق الكتلي.
• SEF: تكوين مقياس التدفق الكتلي.
• Z514MGX: تسمية الطراز ضمن عائلة Z500.
• نطاق التدفق: يتم اختياره من خلال تكوين النطاق المقابل.
• حركة الصمام: مفتوح عادةً (O) أو مغلق عادةً (C).
• الوصلة: معادل VCR قياسي مقاس 1/4 بوصة.

تشمل تكوينات الوصل الاختيارية IGS مقاس 1.125 بوصة وIGS مقاس 1.5 بوصة. أكد الوصلة وحركة الصمام المختارة قبل الطلب.

إرشادات التركيب

1. تحقق من الطراز: افحص رمز الطراز ونوع الغاز ونطاق التدفق وحركة الصمام.
2. افحص الوصلات: افحص الوصلات وأسطح الختم قبل التجميع.
3. أكد توافق الغاز: تحقق من توافق المواد الملامسة للغاز مع غاز العملية.
4. افحص الضغط: حافظ على الضغط التفاضلي المحدد أثناء التشغيل.
5. وصّل الطاقة: وفّر مصدر طاقة منظم بجهد 24 فولت تيار مستمر ضمن متطلبات المعدات.
6. وصّل DeviceNet: تحقق من أسلاك الشبكة وعنوان العقدة وإعدادات الاتصال.
7. افحص خطوط الغاز: أجرِ اختبار تسرب مناسبًا قبل إدخال غاز العملية.
8. ابدأ التشغيل: طبق إجراء بدء التشغيل المعتمد وافحص استقرار التدفق.

التشغيل التجريبي والصيانة

يساعد التشغيل التجريبي السليم في الحفاظ على دقة القياس واستقرار إمداد الغاز. يجب على المهندسين التحقق من الظروف التالية:

• أكد التحويل الصحيح للغاز والنطاق الكامل.
• افحص قراءات التدفق الصفري قبل تطبيق غاز العملية.
• تحقق من اتصال DeviceNet واتصال وحدة التحكم.
• قارن قراءات التدفق الفعلية بأداة مرجعية مناسبة.
• افحص استقرار الضغط أثناء التشغيل عند التدفق المنخفض والعالي.
• افحص استجابة الصمام عند تغيير نقاط ضبط التدفق.
• افحص الوصلات والأختام أثناء الصيانة المجدولة.

لا تضبط معلمات PID دون مراجعة متطلبات التطبيق. تجنب إدخال أي ملوثات أثناء صيانة خط الغاز. اتبع إجراءات المصنع للمعايرة والصيانة الداخلية.

توافق النظام والتطبيق

يدعم HORIBA SEC-Z514MGX أنظمة التحكم في تدفق الغاز التي تتطلب اتصال DeviceNet وطاقة متوافقة بجهد 24 فولت تيار مستمر.

تشمل مجالات التطبيق النموذجية:

• تصنيع أشباه الموصلات: إمداد دقيق للغاز في غرف العمليات ولوحات الغاز.
• ترسيب الأغشية الرقيقة: تدفق غاز ثابت أثناء عمليات الترسيب.
• أنظمة النقش: إمداد محكوم لغازات العملية المتوافقة.
• أنظمة الغاز الصناعية: تنظيم التدفق في معدات توزيع الغاز المؤتمتة.
• معدات الأبحاث: قياس الغاز والتحكم فيه في أنظمة العمليات المخبرية.

قبل دمج النظام، تحقق من واجهة PLC وتكوين DeviceNet وتوافق الغاز وأبعاد الوصل ومتطلبات الضغط. تعتمد واجهات RS-485 والتناظرية على تكوين المنتج المحدد. لا تفترض توفرها في كل وحدة SEC-Z514MGX.

الشهادات والامتثال

تحدد المعلومات الفنية الموردة اتصال DeviceNet ومتطلبات الطاقة المتوافقة مع ODVA. وهي لا تحدد شهادات أمان أو مناطق خطرة محددة.

اطلب إقرار المصنع المعمول به ووثائق المنتج عندما يتطلب تركيبك موافقة تنظيمية. تحقق من التكوين الدقيق قبل تحديد متطلبات الامتثال.

محتويات العبوة

• 1 × وحدة رقمية للتحكم في التدفق الكتلي HORIBA SEC-Z514MGX، وفقًا للتكوين المطلوب.
• معلومات تعريف المنتج ومعلومات الطراز.
• الملحقات القياسية، فقط عند إدراجها في الطلب المؤكد.

بالنسبة لتكوين SEF-Z514MGX، تكون الوحدة الموردة مقياسًا للتدفق الكتلي. أكد محتويات العبوة والملحقات مع المورد قبل الشراء.

الأسئلة الشائعة

س1: ما الفرق بين SEC-Z514MGX وSEF-Z514MGX؟

يجمع SEC-Z514MGX بين قياس التدفق الكتلي وصمام تحكم مدمج. يقيس SEF-Z514MGX التدفق الكتلي دون توفير وظيفة تنظيم التدفق المدمجة نفسها.

س2: كيف يجب على المهندسين اختيار نطاق التدفق الصحيح؟

أولًا، حدد غاز العملية وتدفق التشغيل المطلوب. ثم اختر نطاقًا كاملًا مكافئًا للنيتروجين يستوعب ظروف التشغيل العادية. تجنب اختيار نطاق يضع معظم نقاط التشغيل بالقرب من الحد الأدنى للتحكم.

س3: لماذا يمكن أن يختلف التدفق الفعلي عن التصنيف المكافئ للنيتروجين؟

تستخدم النطاقات المدرجة النيتروجين كغاز مرجعي. للغازات المختلفة خصائص فيزيائية ومتطلبات تحويل مختلفة. يجب على المهندسين تأكيد معايرة الغاز الصحيحة قبل التشغيل التجريبي.

س4: ما الذي يجب على المهندسين التحقق منه عندما يستجيب وحدة التحكم ببطء؟

ابدأ بالتحقق من الضغط التفاضلي واستقرار إمداد الغاز. بعد ذلك، افحص اتصال DeviceNet ونقطة الضبط المطلوبة. أكد تكوين الغاز المختار وتحقق من عدم وجود أي قيود في خط العملية. تساعد هذه الفحوصات في عزل المشاكل المتعلقة بالنيوماتيك والتحكم.

س5: هل يمكن توصيل SEC-Z514MGX مباشرة بأي PLC؟

لا. يجب أن يدعم PLC واجهة DeviceNet متوافقة أو استخدام بوابة شبكة مناسبة. يجب على المهندسين أيضًا التحقق من عناوين العقد ومعلمات الاتصال ومتطلبات الطاقة وتعيين بيانات التحكم.

س6: كيف يجب على المشترين الاختيار بين الصمامات المفتوحة عادةً والمغلقة عادةً؟

ضع في اعتبارك سلوك خط الغاز المطلوب أثناء انقطاع الطاقة أو انقطاع التحكم. توفر التكوينات المفتوحة عادةً والمغلقة عادةً مواضع افتراضية مختلفة للصمام. اختر الخيار الذي يتوافق مع فلسفة سلامة العملية وتصميم المعدات.

س7: ما المعلومات التي يجب على المشترين تقديمها عند طلب عرض أسعار؟

قدم رقم الطراز الكامل، وغاز العملية، والتدفق الكامل المطلوب، وحركة الصمام، ونوع الوصلة، وواجهة الاتصال. حدد أيضًا ضغط التشغيل ودرجة الحرارة. تساعد هذه التفاصيل في منع عدم تطابق التكوينات.

لماذا تختار Global PLC Spare HUB؟

يدعم Global PLC Spare HUB مستخدمي الأتمتة الصناعية في اختيار المكونات والمساعدة في التوريد.

• الدعم الفني: المساعدة في تحديد الطراز وفحوصات التكوين.
• توريد المنتجات: الدعم لمتطلبات التحكم الصناعي وأجهزة القياس العملية.
• ضمان لمدة 12 شهرًا: تغطية الضمان وفقًا لشروط البيع المؤكدة.
• خيارات الشحن: الشحن الدولي عبر FedEx وUPS وDHL.
• ترتيب الإرسال: ترتيب شحن نموذجي خلال 24-48 ساعة، يخضع لتأكيد المخزون ومعالجة الطلب.

اطلب عرض أسعار اليوم

هل تبحث عن HORIBA SEC-Z514MGX أو SEF-Z514MGX؟ تواصل مع Global PLC Spare HUB مع الغاز المطلوب ونطاق التدفق وتفاصيل الاتصال الخاصة بك. يمكن لفريقنا المساعدة في التحقق من الطراز واستفسارات عروض الأسعار.

Tags