E27H.1TBD5B Transductor de presión térmica para grabado – MKS E27H 0,1 Torr

MKS E27H.1TBD5B | Sensor Baratron calefactado para grabado

MKS Instruments E27H.1TBD5B es un transductor de presión absoluta calefactado diseñado para procesos de grabado de semiconductores exigentes.

Pertenece a la serie E27H (serie 600) y cuenta con una configuración específica para grabado. Su sumidero integrado ayuda a gestionar la deposición de subproductos del proceso en el interior del conjunto de detección de presión.

El sensor funciona a una temperatura controlada de 45 °C. Esta construcción calefactada ayuda a reducir la condensación y la deposición en las superficies internas sensibles.

Esta configuración proporciona un rango de escala completa de 0,1 Torr con calibración horizontal. Combina una salida analógica de 0–10 VCC, materiales en contacto con el proceso de Inconel y una conexión de proceso hembra de 8 VCR.

Características técnicas principales

• Fabricante: MKS Instruments
• Modelo completo: E27H.1TBD5B
• Familia de productos: E27H, serie 600
• Tipo de producto: Sensor Baratron calefactado para grabado
• Medición: Presión absoluta
• Escala completa: 0,1 Torr (aproximadamente 13,3 Pa)
• Temperatura del sensor: 45 °C
• Orientación de calibración: Horizontal
• Protección para grabado: Deflector de grabado con sumidero integrado
• Precisión: 0,15 % de la lectura
• Salida eléctrica: 0–10 VCC
• Conexión de proceso: 8 VCR hembra

01 | Desglose de la configuración – Decodificación del modelo completo

El código de pedido completo identifica el rango de medición, la conexión de proceso, la calibración, la interfaz eléctrica y la configuración de precisión del instrumento.

Segmento del modelo	Configuración	Descripción técnica
E27H	Serie de productos	Configuración de sensor calefactado para grabado Baratron
.1T	Rango de presión	Escala completa de 0,1 Torr
B	Conexión de proceso	Conexión hembra de 8 VCR
D	Opción de calibración	Calibración horizontal, configuración estándar
5	Conector eléctrico	D-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca
B	Grado de precisión	0,15 % de la lectura

Interpretación de la configuración:

• E27H: Identifica la familia de productos de sensores calefactados para grabado.
• .1T: Define el rango de medición de 0,1 Torr.
• B: Especifica la conexión de proceso hembra de 8 VCR.
• D: Identifica la configuración de calibración horizontal.
• 5: Especifica el conector D-sub de 15 pines con rosca.
• B: Identifica el grado de precisión del 0,15 % de la lectura.

Verifique siempre el código de pedido completo con la placa de identificación del instrumento. Confirme la interpretación del sufijo con la documentación de configuración de MKS aplicable antes de realizar el pedido.

02 | Especificaciones de medición de presión

El instrumento mide la presión absoluta dentro de un rango de baja presión. Su arquitectura de medición permite supervisar la presión del proceso en equipos de grabado de semiconductores.

Parámetro de medición	Especificación
Tipo de medición	Presión absoluta
Rango de escala completa	0,1 Torr
Presión equivalente	Aproximadamente 13,3 Pa
Precisión	0,15 % de la lectura
Resolución	0,001 % de la escala completa
No linealidad	Incluida en la precisión especificada
Histéresis	Incluida en la precisión especificada
No repetibilidad	Incluida en la precisión especificada
Tiempo de calentamiento	4 horas
Orientación de calibración	Horizontal

Cálculo de la resolución:

0,1 Torr × 0,001 % = 0,000001 Torr.

Esto equivale aproximadamente a 0,000133 Pa. La resolución no representa la precisión absoluta de la medición.

Interpretación de la precisión:

La precisión especificada del 0,15 % se aplica a la lectura de presión. Incluye la no linealidad, la histéresis y la no repetibilidad.

A 0,05 Torr, el valor de precisión correspondiente del 0,15 % es de 0,000075 Torr. Este cálculo representa el porcentaje de la lectura indicado.

03 | Sensor calefactado para grabado y tecnología de sumidero integrado

La característica distintiva de esta configuración es su deflector de grabado y estructura de sumidero integrados.

Los procesos de grabado pueden generar subproductos de reacción durante el procesamiento con plasma. Algunos subproductos pueden depositarse en las superficies internas a medida que cambian las condiciones del proceso.

Los depósitos acumulados pueden restringir la comunicación de presión y afectar la fiabilidad de la medición a largo plazo. La configuración E27H aborda este desafío mediante un diseño específico de sensor para grabado.

Deflector de grabado integrado:

• Cuenta con una estructura de sumidero integrada.
• Utiliza un diseño patentado, Patente de EE. UU. n.º 5.822.685.
• Ayuda a gestionar la acumulación de subproductos dentro del conjunto del sensor.
• Permite la medición de presión en entornos de grabado exigentes.

Sensor calefactado a 45 °C:

• Mantiene una temperatura controlada del sensor de 45 °C.
• Ayuda a reducir la condensación de los subproductos del proceso.
• Favorece condiciones térmicas internas más estables.
• Reduce el riesgo de que la deposición afecte las superficies sensibles de detección.

Valor técnico:

El sumidero y la construcción calefactada abordan diferentes aspectos de la contaminación del proceso. El sumidero gestiona los subproductos acumulados, mientras que el calentamiento ayuda a reducir la condensación.

La vida útil real depende de la química del proceso, la tasa de deposición, la presión de operación y las condiciones de mantenimiento.

04 | Rendimiento térmico y límites ambientales

Las condiciones térmicas influyen en la estabilidad de la medición a baja presión. Los siguientes parámetros definen el entorno de operación y la sensibilidad térmica.

Parámetro térmico	Especificación
Temperatura del sensor	Controlada a 45 °C
Temperatura ambiente de operación	De 15 a 40 °C
Tiempo de calentamiento	4 horas
Coeficiente de temperatura del cero	0,005 % FS/°C
Coeficiente de temperatura de la escala	0,02 % de la lectura/°C

Recomendaciones para la gestión de la temperatura:

• Mantenga la temperatura ambiente entre 15 y 40 °C.
• Permita cuatro horas para la estabilización térmica después del arranque.
• Evite cambios bruscos de temperatura alrededor del sensor.
• Compruebe la estabilidad del cero después del período de calentamiento.
• Evalúe la variación de la escala cuando cambie la temperatura ambiente.

El valor de 45 °C se refiere a la temperatura controlada del sensor. No representa la temperatura ambiente permitida.

05 | Interfaz eléctrica y señal analógica

El instrumento proporciona una salida de voltaje analógica para sistemas externos de supervisión de presión. Su conector D-sub de 15 pines utiliza herrajes de bloqueo de rosca.

Parámetro eléctrico	Especificación
Fuente de alimentación	±15 VCC
Tolerancia de la fuente	±5 %
Corriente máxima	0,25 A
Salida analógica	De 0 a +10 VCC
Carga de salida	>10 kΩ
Conector	D-sub de 15 pines
Bloqueo del conector	Bloqueadores de rosca
Puntos de disparo	Ninguno
LED de estado del calentador	No disponible

Referencia de escalado analógico

Asumiendo una salida lineal de 0–10 VCC en el rango de 0–0,1 Torr:

Voltaje de salida	Presión equivalente
0 V	0 Torr
2,5 V	0,025 Torr
5 V	0,05 Torr
7,5 V	0,075 Torr
10 V	0,1 Torr

Utilice la función de transferencia del fabricante para el escalado final del sistema. Confirme el comportamiento del cero y la escala durante la puesta en marcha.

Integración con PLC y sistemas de control:

• Utilice un canal de entrada analógica compatible de 0–10 V.
• Proporcione la fuente de alimentación bipolar de ±15 VCC requerida.
• Mantenga la impedancia de entrada por encima de 10 kΩ.
• Verifique la asignación de los pines del conector antes del cableado.
• Asegure el conector D-sub utilizando sus tornillos de bloqueo.
• Compruebe las disposiciones de puesta a tierra y blindaje.

06 | Conexión de proceso y construcción mecánica

El límite de presión utiliza materiales Inconel en contacto con el proceso. El instrumento cuenta con una conexión de proceso hembra de 8 VCR.

Parámetro mecánico	Especificación
Materiales en contacto con el proceso	Inconel
Conexión de proceso	8 VCR hembra
Volumen interno	6,3 cc
Diámetro del cuerpo	3,15 in (80,0 mm)
Altura del cuerpo	3,87 in (98,4 mm)
Longitud del vástago	1,38 in (35,1 mm)
Calibración de montaje	Horizontal

Consideraciones de instalación:

• Confirme la orientación de montaje horizontal.
• Compruebe el espacio libre disponible alrededor del cuerpo del sensor.
• Haga coincidir la conexión de proceso con el conjunto VCR existente.
• Inspeccione las superficies de sellado antes de la instalación.
• Evite la carga mecánica sobre la conexión de presión.
• Confirme la compatibilidad con el material del proceso antes de la operación.

07 | Flujo de trabajo de instalación y puesta en marcha

Preparación mecánica

1. Verifique el modelo completo y el rango de medición.
2. Confirme que la instalación requiere calibración horizontal.
3. Inspeccione la conexión hembra de 8 VCR.
4. Compruebe la línea de proceso en busca de contaminación.
5. Instale los componentes de sellado VCR adecuados.
6. Asegure el instrumento sin aplicar un esfuerzo mecánico excesivo.

Preparación eléctrica

1. Verifique la fuente de alimentación de ±15 VCC.
2. Confirme la polaridad de la fuente y la tolerancia de voltaje.
3. Inspeccione el conector D-sub de 15 pines.
4. Compruebe el cableado de la salida analógica.
5. Verifique la impedancia de entrada receptora.
6. Asegure los tornillos de bloqueo del conector.

Secuencia de puesta en marcha

1. Aplique la fuente de alimentación especificada.
2. Permita al menos cuatro horas para la estabilización térmica.
3. Confirme que la temperatura ambiente se mantenga dentro de los límites.
4. Compruebe la salida del cero bajo condiciones de referencia adecuadas.
5. Aplique puntos de presión conocidos utilizando equipos calibrados.
6. Compare la salida medida con los valores esperados.
7. Verifique el escalado de presión en el sistema de control receptor.
8. Registre los resultados de la puesta en marcha para referencia futura.

08 | Mantenimiento y gestión de la contaminación del proceso

Las aplicaciones de grabado requieren especial atención a la acumulación de subproductos del proceso. El mantenimiento de rutina debe considerar tanto el rendimiento de presión como las condiciones de contaminación.

Puntos de inspección recomendados:

• Supervise las lecturas de presión en busca de desviaciones graduales.
• Compruebe las condiciones de la línea de proceso en busca de deposición excesiva.
• Inspeccione las conexiones externas en busca de fugas.
• Verifique la estabilización térmica después del arranque del equipo.
• Revise los registros de verificación del cero y la escala.
• Siga los procedimientos de MKS para la limpieza interna y el servicio.

Advertencia de mantenimiento:

No abra ni limpie mecánicamente el conjunto de detección sin procedimientos de servicio aprobados. El manejo incorrecto puede dañar los componentes internos sensibles.

09 | Compatibilidad y selección de reemplazo

La familia E27H admite aplicaciones de reemplazo que involucran familias anteriores de manómetros Baratron, incluidas las configuraciones 127, 627 y E27.

Esta declaración de intercambiabilidad no garantiza la compatibilidad para cada instalación heredada.

Familia heredada	Verificación de reemplazo
Serie 127	Compruebe el rango de presión, el montaje y la interfaz eléctrica.
Serie 627	Verifique la configuración de calentamiento y la conexión de proceso.
Serie E27	Compare el diseño del sensor, la calibración y los requisitos de señal.

Antes de realizar el pedido, confirme:

• El rango de presión original y el tipo de medición de presión.
• El requisito de calibración horizontal.
• Las condiciones de exposición al proceso de grabado y a los subproductos.
• La compatibilidad con la conexión hembra de 8 VCR.
• La disponibilidad de ±15 VCC.
• La compatibilidad con la entrada analógica de 0–10 VCC.
• El conector D-sub de 15 pines y la configuración de cableado.
• Las especificaciones de precisión y térmicas requeridas.

Para equipos heredados, compare los códigos de modelo completos en lugar de depender únicamente de los nombres de las familias.

10 | Cumplimiento, embalaje y condiciones de suministro

Información de cumplimiento

• Conforme con la CE.
• Fabricante: MKS Instruments.
• Familia de productos: E27H, serie 600.

Las declaraciones aplicables y los documentos de respaldo dependen de la configuración suministrada.

Referencia del paquete estándar

• 1 × Sensor Baratron calefactado para grabado MKS Instruments E27H.1TBD5B.
• Información de identificación del producto, cuando se suministre.
• Accesorios y documentación adicionales, sujetos a confirmación del pedido.

Los cables de alimentación, los conectores compatibles y los certificados de calibración requieren una confirmación por separado.

Condiciones de garantía

• Período de garantía: 12 meses para los productos aplicables.
• Cobertura: Problemas de fabricación o de calidad del producto cubiertos por las condiciones de garantía acordadas.
• Soporte: Contacte a nuestro equipo de ventas para conocer los procedimientos de inspección y garantía.
• Verificación: La elegibilidad para la garantía se rige por el pedido y el acuerdo de suministro confirmados.

Envío internacional

• FedEx: Entrega exprés internacional.
• UPS: Servicios internacionales de paquetes y exprés.
• DHL: Entrega exprés internacional.

Los métodos de envío y los programas de despacho dependen del estado del inventario y del destino.

11 | Preguntas frecuentes

P1: ¿Por qué un proceso de grabado requiere un diseño específico de sensor de presión?

Los procesos de grabado pueden generar gases reactivos y subproductos sólidos. Estos materiales pueden acumularse en los conductos de detección de presión.

Una configuración específica para grabado ayuda a gestionar la deposición mediante su sumidero integrado y su diseño de sensor calefactado. Esto reduce los riesgos de medición relacionados con la contaminación.

P2: ¿Cuál es la función de ingeniería del sumidero integrado?

El sumidero integrado proporciona un área designada para gestionar la acumulación de subproductos del proceso. Forma parte del diseño patentado del deflector de grabado.

Los ingenieros deben evaluar la química del proceso y las tasas de deposición. El sumidero no elimina todas las contaminaciones ni los requisitos de mantenimiento.

P3: ¿Puede el instrumento funcionar con un sistema de monitoreo Ethernet externo?

La especificación eléctrica suministrada identifica una salida analógica de 0–10 VCC a través de un conector D-sub de 15 pines.

El monitoreo Ethernet externo requiere un PLC, un dispositivo de adquisición de datos o una puerta de enlace de comunicación compatible. Verifique las opciones exactas de comunicación de la configuración solicitada antes de la integración.

P4: ¿Qué deben investigar los ingenieros si la respuesta de presión se vuelve más lenta después de un período prolongado de operación de grabado?

Compruebe la línea de presión del proceso para detectar la acumulación de subproductos y posibles obstrucciones. Revise la conexión de presión y las válvulas de aislamiento del sistema.

También verifique la estabilización térmica y compare la salida con una referencia calibrada. No reemplace inmediatamente el sensor sin comprobar primero todo el recorrido de presión.

P5: ¿Cómo deben elegir los compradores entre el E27H y un Baratron calefactado estándar?

Considere primero la química del proceso y la deposición esperada de subproductos. Los modelos calefactados estándar pueden ser adecuados para entornos de medición de presión más limpios.

La configuración E27H ofrece un deflector de grabado y un sumidero integrados para aplicaciones propensas a la deposición. Los compradores también deben confirmar el rango de 0,1 Torr, la calibración horizontal y la configuración eléctrica.

Para proyectos de reemplazo, proporcione la placa de identificación original y el modelo del equipo. Esto ayuda a verificar la configuración correcta antes de la compra.

¿Por qué elegir Ubest Automation?

Ubest Automation suministra instrumentación industrial y componentes de automatización para las industrias de semiconductores y de procesos.

• Abastecimiento de productos: Soporte para productos de medición de presión de MKS Instruments.
• Verificación de modelos: Asistencia con códigos de pedido y configuraciones técnicas.
• Inspección previa al envío: Comprobación de productos antes del despacho, sujeta a disponibilidad y requisitos de prueba.
• Garantía: Garantía de 12 meses para los productos aplicables.
• Entrega global: Opciones de envío con FedEx, UPS y DHL.
• Soporte técnico: Asistencia con la identificación de reemplazos y la verificación de interfaces.

Solicite una cotización para el MKS E27H.1TBD5B.

Envíenos el número de modelo completo y los requisitos del equipo. Nuestro equipo puede ayudarle con la verificación de la configuración, los precios y la coordinación de la entrega.

Correo electrónico: sales@ubestplc.com

Sitio web: www.ubestplc.com

Tags