628H13TDE1B MKS Instruments Transductor absoluto de precisión serie 600

MKS Instruments 628H13TDE1B | Transductor de presión absoluta Baratron calefactado a 100 °C

El MKS Instruments 628H13TDE1B es un manómetro capacitivo calefactado de la serie 628H de la serie MKS 600.

Este modelo mide la presión absoluta en un rango de fondo de escala de 1000 Torr. Su sensor interno mantiene una temperatura controlada de 100 °C. La arquitectura calefactada soporta entornos exigentes de procesos de semiconductores y vacío.

El instrumento combina una precisión de lectura especificada del 0,25 % con una resolución del 0,001 % de fondo de escala. Su salida analógica proporciona una señal de presión de 0 a +10 VCC. Un conector D-sub de 15 pines permite la integración eléctrica con equipos de monitoreo compatibles.

El 628H13TDE1B también cuenta con calibración vertical y construcción en Inconel en las partes en contacto con el proceso. Su carcasa compacta facilita la integración en equipos de procesos de semiconductores y conjuntos de medición de vacío.

01 | Especificaciones del instrumento de un vistazo

Fabricante	MKS Instruments
Número de modelo	628H13TDE1B
Serie del producto	Serie 628H
Familia del producto	Serie 600
Tipo de producto	Transductor de presión absoluta Baratron calefactado
Principio de medición	Manómetro capacitivo
Modo de medición	Presión absoluta
Rango de fondo de escala	1000 Torr
Temperatura del sensor	100 °C
Orientación de calibración	Vertical
Salida de presión	0 a +10 VCC
Conexión de proceso	NW16 ISO-KF, sujeto a verificación del código del modelo
Material en contacto con el proceso	Inconel
Conformidad	CE

02 | Rendimiento de medición y resolución

La serie 628H admite múltiples rangos de presión y configuraciones de medición. La versión especificada de 1000 Torr proporciona las siguientes características de rendimiento.

Parámetro	Especificación
Rango de fondo de escala	1000 Torr
Precisión de medición	±0,25 % de la lectura
Componentes de precisión	Incluye no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad
Resolución	0,001 % de fondo de escala
Resolución equivalente	0,01 Torr a 1000 Torr de fondo de escala
Tiempo de calentamiento	2 horas
Posición de calibración	Vertical

Precisión de medición: La especificación de ±0,25 % de la lectura incluye la no linealidad, la histéresis y la falta de repetibilidad. Se aplica a las configuraciones de rango de 1 a 25 000 Torr.

Con un rango de fondo de escala de 1000 Torr, una resolución del 0,001 % de fondo de escala corresponde a 0,01 Torr. La resolución y la precisión representan características de medición diferentes.

03 | Serie 628H: Arquitectura de rango de presión disponible

La familia 628H cubre un amplio rango de presión para diferentes requisitos de medición de vacío y procesos.

Grupo de rango	Rangos de fondo de escala disponibles
Presión ultrabaja	0,05, 0,1, 0,25 Torr
Presión baja	1, 2, 10, 20 Torr
Presión media	100, 1000 Torr
Presión alta	2000, 5000, 10000 Torr
Presión extendida	15000, 20000, 25000 Torr

Rendimiento según el rango:

• 1–25 000 Torr: La precisión es del 0,25 % de la lectura.
• 0,25, 0,1 y 0,05 Torr: La precisión es del 0,50 % de la lectura.
• Rango de 0,05 Torr: La resolución es del 0,002 % de fondo de escala.
• Otros rangos indicados: La resolución es del 0,001 % de fondo de escala.

El 628H13TDE1B utiliza específicamente la configuración de 1000 Torr. No aplique las especificaciones del rango más bajo a este modelo.

04 | Desglose del sufijo del modelo y la configuración

El número de modelo completo identifica la familia de instrumentos, el rango de presión, la conexión, la clase de precisión, la configuración de calibración y el conector eléctrico.

Segmento de código	Configuración	Descripción técnica
628H	Serie del producto	Transductor de presión absoluta Baratron calefactado a 100 °C
13T	Rango de presión	Fondo de escala de 1000 Torr
D	Código de conexión	La descripción del código suministrada indica 8 VCR hembra
E	Clase de precisión	±0,25 % de la lectura
1	Configuración	Configuración estándar con calibración vertical
B	Conector eléctrico	D-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca

Modelo completo: 628H13TDE1B

Verificación de la configuración: La descripción del modelo suministrada contiene una discrepancia en la conexión. La especificación del producto indica NW16 ISO-KF, mientras que la explicación del sufijo suministrada asigna el código D a 8 VCR hembra. Confirme la configuración real de fábrica antes de realizar el pedido o conectar el instrumento.

05 | Gestión térmica y compensación de temperatura

El sistema de calefacción interno mantiene el elemento sensor a 100 °C. Este entorno térmico controlado favorece la estabilidad de la medición ante cambios en las condiciones del proceso.

Temperatura controlada del sensor	100 °C
Temperatura ambiente de funcionamiento	15–50 °C
Tiempo de calentamiento	2 horas para rangos de 1 a 25 000 Torr
Calentamiento por debajo de 1 Torr	4 horas
Coeficiente de temperatura del cero	0,002 % de fondo de escala/°C para 1–25 000 Torr
Coeficiente del cero para 0,1 y 0,25 Torr	0,01 % de fondo de escala/°C
Coeficiente del cero para 0,05 Torr	0,02 % de fondo de escala/°C
Coeficiente de temperatura del fondo de escala	0,02 % de la lectura/°C

Los valores de compensación de temperatura dependen del rango de presión seleccionado. La configuración de 1000 Torr utiliza el coeficiente del cero de 0,002 % de fondo de escala/°C.

06 | Conexión eléctrica y arquitectura de señal

Alimentación de entrada	±15 VCC ±5 %
Corriente máxima	0,60 A
Salida analógica	0 a +10 VCC
Carga de salida	Superior a 10 kΩ
Conector eléctrico	D-sub de 15 pines
Bloqueo del conector	Tornillos bloqueadores de rosca
Salidas de relé integradas	Ninguna
Señal de presión	Salida de tensión analógica

El instrumento proporciona una señal de presión analógica sin puntos de disparo de relé integrados. Conéctelo a un módulo de entrada analógica compatible.

Compruebe la impedancia de entrada receptora antes de la puesta en servicio. La carga debe superar los 10 kΩ para la condición de salida especificada.

07 | Indicadores opcionales y conmutadores de estado para semiconductores

La familia de productos 628H ofrece indicadores de estado y funciones de conmutador de estado opcionales. Estas opciones son independientes de la configuración estándar descrita para el 628H13TDE1B.

Función opcional	Funcionamiento
Estado de la temperatura	El conmutador se activa cuando el instrumento alcanza la temperatura de funcionamiento
LED de temperatura	Verde cuando el sensor alcanza la temperatura
Estado del calentador	El conmutador se desactiva cuando se produce un fallo del calentador
LED del calentador	Verde durante el funcionamiento normal; rojo intermitente durante un fallo del calentador
Corriente máxima del conmutador	120 mA
Resistencia máxima en estado activado	20 Ω a 120 mA y 50 °C
Tensión máxima de circuito abierto	28 V

La configuración suministrada 628H13TDE1B no especifica LED de estado del calentador. Confirme por separado los conmutadores e indicadores opcionales cuando la aplicación requiera un monitoreo externo del estado.

08 | Conexión de proceso y construcción mecánica

Material en contacto con el proceso	Inconel
Volumen interno	6,3 cc
Conexión especificada	NW16 ISO-KF
Opciones de conexión alternativas	Tubo de 1/2 pulg. de diámetro exterior, 8 VCR hembra, 8 VCO hembra, NW25 KF, CF de 1,33 pulg. de diámetro exterior, CF de 2,75 pulg. de diámetro exterior
Diámetro del cuerpo	3,15 pulg. (80,0 mm)
Altura del cuerpo	3,87 pulg. (98,4 mm)
Longitud del vástago	1,38 pulg. (35,1 mm)

La construcción en Inconel en las partes en contacto con el proceso soporta entornos exigentes de medición de gases de proceso. La carcasa compacta facilita la instalación en equipos con espacio limitado.

Evalúe la geometría de la conexión antes de seleccionar el hardware de repuesto. Las conexiones NW16 ISO-KF y 8 VCR requieren componentes de acoplamiento diferentes.

09 | Límites de presión y protección mecánica

Límite de sobrepresión	45 psia (310 kPa) o 120 % de fondo de escala, el que sea mayor
Presión de fondo de escala	1000 Torr
Volumen interno	6,3 cc

La especificación de sobrepresión define un límite de protección, no un objetivo de funcionamiento normal. Evite picos de presión por encima del límite especificado.

Para una configuración de 1000 Torr, el umbral indicado de 45 psia supera el 120 % del fondo de escala. Diseñe la protección de presión en torno a la clasificación aplicable del fabricante.

10 | Recomendaciones de instalación y puesta en servicio

Preparación mecánica

1. Verifique la configuración de fondo de escala de 1000 Torr.
2. Confirme los requisitos de calibración vertical.
3. Compruebe la conexión real con el dibujo de instalación.
4. Inspeccione las superficies de sellado y la conexión de vacío.
5. Confirme la compatibilidad del gas de proceso con el Inconel.
6. Deje suficiente espacio libre alrededor del cuerpo calefactado.

Preparación eléctrica

1. Proporcione una fuente de alimentación regulada de ±15 VCC.
2. Verifique la polaridad de la tensión y la tolerancia de ±5 %.
3. Asegure el conector D-sub de 15 pines.
4. Conecte la salida analógica a una entrada de tensión compatible.
5. Compruebe que la impedancia receptora sea superior a 10 kΩ.

Comprobaciones de arranque y calibración

1. Alimente el instrumento y déjelo calentar durante dos horas.
2. Mantenga condiciones ambientales estables entre 15 y 50 °C.
3. Verifique la orientación de instalación vertical.
4. Compruebe la salida del cero bajo condiciones de referencia adecuadas.
5. Compare las lecturas de presión con una referencia calibrada.
6. Registre las lecturas de referencia para futuras comparaciones de mantenimiento.

11 | Mantenimiento y solución de problemas de la aplicación

• Desviación del cero: Compruebe la estabilización térmica, la orientación de montaje y las condiciones de presión de referencia.
• Saturación de la señal: Verifique la presión real y la escala de la entrada analógica.
• Arranque lento: Espere el período de calentamiento especificado antes de evaluar el rendimiento de medición.
• Fuga de vacío: Inspeccione las superficies de acoplamiento KF o VCR y los componentes de sellado.
• Cambios de presión inesperados: Compruebe el comportamiento de la presión de la cámara y el aislamiento de la línea de proceso.

Utilice una referencia de presión trazable durante la verificación de la calibración. Evite modificar la calibración del instrumento sin procedimientos de servicio aprobados.

12 | Aplicaciones industriales y de semiconductores típicas

• Cámaras de procesos de semiconductores: Monitoreo de presión absoluta en entornos de fabricación controlados.
• Sistemas de vacío: Medición de presión en equipos de vacío y líneas de proceso.
• Procesamiento de películas delgadas: Retroalimentación de presión para equipos de deposición.
• Procesamiento térmico: Monitoreo de presión en sistemas de fabricación a temperaturas elevadas.
• Equipos de suministro de gas: Medición de presión en conjuntos de distribución de gas compatibles.

El diseño del sensor calefactado a 100 °C admite aplicaciones que requieren una temperatura de detección controlada. Los ingenieros deben verificar la compatibilidad con el gas, los límites de presión y la configuración de la conexión antes de la instalación.

13 | Conformidad y verificación del paquete

Conformidad

• Conforme a CE según la especificación del producto suministrada.

Contenido del paquete

• 1 × Transductor de presión Baratron calefactado MKS Instruments 628H13TDE1B.
• Identificación del producto e información del modelo.
• Documentación técnica aplicable, sujeta a confirmación del pedido.

Confirme por separado los cables, accesorios de montaje, adaptadores de conexión e indicadores opcionales. No asuma que los accesorios opcionales están incluidos en el paquete estándar.

14 | Preguntas frecuentes profesionales: Selección de ingeniería y aplicación de campo

P1: ¿Por qué es importante la calibración vertical al instalar este transductor de presión?

La orientación de calibración define la posición de referencia especificada del instrumento. Una posición de montaje diferente puede introducir desviaciones de medición. Mantenga la orientación vertical a menos que el fabricante apruebe otra configuración.

P2: ¿Cómo deben interpretar los ingenieros la especificación de protección contra sobrepresión?

El instrumento utiliza el valor mayor entre 45 psia y el 120 % del fondo de escala. Esta clasificación no autoriza el funcionamiento continuo en el límite de protección. Utilice dispositivos adecuados de regulación y aislamiento de presión.

P3: ¿El 628H13TDE1B es adecuado para aplicaciones que requieren relés de alarma de presión?

La configuración especificada proporciona únicamente salida analógica. No tiene puntos de disparo de relé integrados. Utilice un controlador de presión externo o un PLC para implementar umbrales de alarma e interbloqueos.

P4: ¿Cuándo deben los compradores seleccionar un rango de 1000 Torr en lugar de un rango de 100 Torr?

Revise la presión máxima prevista de la cámara y el rango de funcionamiento normal. Un rango de 100 Torr proporciona un intervalo de medición de fondo de escala más pequeño. Un rango de 1000 Torr permite condiciones de mayor presión. Seleccione un rango que equilibre los requisitos de medición y los límites de funcionamiento del proceso.

P5: ¿Qué deben registrar los ingenieros de mantenimiento durante las comprobaciones periódicas de rendimiento?

Registre las lecturas de cero, las comparaciones de presión de referencia, la temperatura ambiente y el tiempo de arranque. También documente el voltaje de suministro y el estado de la salida analógica. Las mediciones históricas ayudan a identificar derivas graduales y problemas relacionados con la instalación.

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