وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي SEC-Z514 من HORIBA STEC | سلسلة SEC-Z500X DeviceNet

SEC-Z514 | جهاز Net للتحكم في التدفق الكتلي للغازات في أنظمة أشباه الموصلات

يُعد HORIBA STEC SEC-Z514 جهازًا رقميًا للتحكم في التدفق الكتلي من سلسلة SEC-Z500X DeviceNet. ويقوم بتنظيم تدفق الغاز في معدات تصنيع أشباه الموصلات وأنظمة توصيل الغازات الدقيقة.

يجمع الجهاز بين إمكانية التعامل مع غازات متعددة واتصال DeviceNet الرقمي. ويدعم نطاقات تدفق قابلة للاختيار عند النطاق الكامل من 10 SCCM إلى 5.5 SLM، بناءً على مواصفات التدفق المكافئ للنيتروجين (N2).

توفر صمامته الكهروضغطية تنظيمًا دقيقًا للتدفق. ويحقق الجهاز دقة ±1.0% من نقطة الضبط (S.P.) عند تدفق أعلى من 25% من النطاق الكامل (FS)، ودقة ±0.25% من النطاق الكامل عند ظروف التدفق المنخفضة.

يبلغ مقاس الهيكل المدمج 126 × 64 × 29 مم. ويدعم واجهة DeviceNet سرعات اتصال قابلة للاختيار للتكامل مع بنيات ناقل الحقل المتوافقة.

01 | بيانات الأداء والتكوين

الشركة المصنّعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z514
سلسلة المنتج	SEC-Z500X (DeviceNet)
نوع المنتج	جهاز رقمي للتحكم في التدفق الكتلي (MFC)
نطاق التدفق عند النطاق الكامل	من 10 SCCM إلى 5.5 SLM
الغاز المرجعي للتدفق	مكافئ للنيتروجين (N2)
اختيار نطاق التدفق	MR / MG قابل للاختيار
نطاق التحكم	من 2% إلى 100% من النطاق الكامل
الدقة عند تدفق أعلى من 25% من النطاق الكامل	±1.0% من نقطة الضبط (S.P.)
الدقة عند تدفق 25% من النطاق الكامل أو أقل	±0.25% من النطاق الكامل (FS)
التكرارية	±0.2% من النطاق الكامل
الخطية	±0.5% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	≤1 ثانية (T98، عبر كامل نطاق التدفق)
تقنية الصمام	مشغل كهروضغطي
تكوين الصمام	مفتوح عادةً أو مغلق عادةً
تكوين التدفئة	نسخة قياسية غير مدفأة

02 | التعامل مع الغازات وظروف الضغط

يدعم SEC-Z514 غازات عملية متعددة. ويجب على المهندسين اختيار تكوين الغاز ونطاق التدفق المناسبين لكل تطبيق.

أنواع الغازات المدعومة	N2، Ar، H2، He، O2، SF6، HBr، WF6، وغيرها
الضغط التفاضلي التشغيلي	50–300 kPa(d)
أقصى ضغط تشغيلي	450 kPa(g)
مقاومة الضغط	1,000 kPa(g)
المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ SUS316L
السطح الداخلي	فولاذ مصقول، التكوين القياسي
خيارات الختم	معدني أو من الإلاستومر
سلامة الختم من التسرب	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)

ملاحظة حول توافق الغازات: تأكد من الغاز المحدد ومادة الختم وظروف الضغط قبل الطلب. لا تفترض تماثل الأداء عبر جميع تكوينات الغازات.

03 | اتصال DeviceNet والواجهة الكهربائية

• بروتوكول الاتصال: ناقل حقل رقمي DeviceNet™.
• الامتثال للشبكة: تم اختباره للامتثال لـ ODVA.
• الموصل: موصل دقيق.
• معدلات الباود القابلة للاختيار: 125 و250 و500 كيلوبت في الثانية.
• مصدر الطاقة: 24 VDC.
• استهلاك الطاقة: 4.0 VA.
• المعيار الكهربائي: معيار ODVA.

يدعم اتصال DeviceNet التكامل الرقمي مع وحدات التحكم في المعدات المتوافقة. ويمكن للمهندسين دمج جهاز التحكم في التدفق ضمن بنيات توصيل الغازات الشبكية.

04 | التصميم الميكانيكي والحدود البيئية

الأبعاد	126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × العمق)
نوع التوصيل	VCR ذكر مقاس 1/4 بوصة
درجة حرارة التشغيل	5°C إلى 50°C
درجة الحرارة الموصى بها	15°C إلى 45°C
تكوين التدفئة	غير مدفأ

• تدعم الأبعاد المدمجة التركيب في لوحات الغاز ذات المساحة المحدودة.
• تدعم الأسطح الملامسة للغاز المصنوعة من SUS316L تطبيقات توصيل الغازات المتطلبة.
• تناسب الأسطح الداخلية المصقولة متطلبات التعامل الدقيق مع الغازات.
• توفر توصيلات VCR واجهة محددة لأنابيب الغاز المتوافقة.

05 | المزايا الهندسية والقيمة الوظيفية

تنظيم دقيق للتدفق	تدعم الدقة المحددة توصيل الغازات المحكومة في عمليات أشباه الموصلات.
إمكانية التعامل مع غازات متعددة	يدعم غازات عملية مختلفة من خلال تكوينات مناسبة خاصة بكل غاز.
التكامل مع ناقل الحقل الرقمي	يدعم اتصال DeviceNet التحكم في المعدات القائم على الشبكة.
استجابة سريعة للتدفق	تصل استجابة T98 إلى ثانية واحدة أو أقل عبر كامل نطاق التدفق.
تركيب مدمج	يساعد الهيكل المدمج على تحسين مساحة لوحة الغاز.
اختيار مرن للصمام	تتوفر تكوينات المشغلات مفتوحة عادةً ومغلقة عادةً.
خيارات مواد مسار الغاز	تدعم الأختام المعدنية ومن الإلاستومر متطلبات التكوين المختلفة.

06 | تطبيقات أشباه الموصلات والصناعة

• تصنيع أشباه الموصلات: يتحكم في توصيل غازات العملية في معدات الإنتاج المتوافقة.
• لوحات الغاز: ينظم تدفق الغاز داخل وحدات توزيع الغازات الدقيقة.
• توصيل غازات الأدوات: يدعم الإمداد المحكوم بالغاز لأدوات عمليات أشباه الموصلات.
• شبكات معدات DeviceNet: يدمج التحكم في التدفق ضمن أنظمة الأتمتة القائمة على ناقل الحقل.
• أنظمة الغازات الخاصة: يدعم غازات مختارة من خلال تكوينات المواد والمعايرة المناسبة.

07 | إجراءات التركيب والتشغيل التجريبي

1. التحقق من تكوين الغاز: تأكد من نوع الغاز، والنطاق الكامل، واختيار MR/MG.
2. فحص التوصيلات الميكانيكية: افحص واجهة VCR مقاس 1/4 بوصة وأسطح الختم.
3. تأكيد توافق المواد: طابق المواد الملامسة للغاز والأختام مع غاز العملية.
4. التحقق من ظروف الضغط: حافظ على الضغط التفاضلي والتشغيلي ضمن الحدود المحددة.
5. توصيل الطاقة الكهربائية: تحقق من إمداد 24 VDC ومتطلب الطاقة 4.0 VA.
6. تكوين DeviceNet: اختر معدل الباود المطلوب وتحقق من إعدادات الشبكة.
7. التحقق من تكوين الصمام: تأكد من التشغيل مفتوح عادةً أو مغلق عادةً.
8. إجراء اختبار التسرب: اتبع إجراء نظام الغاز المعتمد من الشركة المصنّعة للمعدات.
9. التحقق من أداء التدفق: قارن قراءات التدفق الفعلية مع نطاق التشغيل المحدد.

08 | توصيات الصيانة والتشخيص

• التحقق من التدفق: قارن التدفق المقاس بجهاز مرجعي مناسب تمت معايرته.
• استقرار الصفر: افحص حالة التدفق الصفري قبل تقييم انحرافات القياس.
• مراقبة الضغط: تحقق من ظروف الضغط في المنبع والمصب.
• تشخيص الشبكة: افحص حالة اتصال DeviceNet واتساق معدل الباود.
• تقييم الصمام: ابحث عن التدفق غير المستقر، أو الاستجابة البطيئة، أو سلوك التحكم غير الطبيعي.
• فحص التسرب: افحص توصيلات الغاز بعد التركيب والصيانة.
• إدارة المعايرة: اتبع إجراءات معايرة HORIBA STEC المعمول بها.

09 | قائمة التحقق من التوافق والاختيار

يتطلب SEC-Z514 مطابقة التكوين قبل تكامل النظام. يجب على المهندسين تقييم دائرة توصيل الغازات الكاملة.

• تأكد من عائلة منتجات SEC-Z500X DeviceNet.
• طابق نوع الغاز المطلوب ونطاق النطاق الكامل المكافئ للنيتروجين (N2).
• تحقق من اختيار نطاق MR/MG.
• افحص توصيل VCR الذكر مقاس 1/4 بوصة.
• اختر خيار الختم المعدني أو من الإلاستومر الصحيح.
• تأكد من تكوين الصمام مفتوح عادةً أو مغلق عادةً.
• تحقق من معدل باود DeviceNet وبنية الشبكة.
• افحص سعة الطاقة المتاحة 24 VDC.
• تأكد من متطلبات الضغط ودرجة الحرارة التشغيلية.

10 | معلومات المعايير والامتثال والجودة

• RoHS: متوافق مع RoHS.
• ODVA: تم اختباره للامتثال لـ DeviceNet.
• SEMI: يُشار إلى الامتثال لمعايير SEMI في المواصفات المرفقة.

تأكد من أرقام معايير SEMI المعمول بها ووثائق الشهادة للموافقة على المشروع. يتعلق اختبار الامتثال لـ ODVA بواجهة DeviceNet. وهو لا يحدد كل شهادة على مستوى النظام.

11 | إمداد المنتج والتعبئة

• الشركة المصنّعة: HORIBA STEC
• الطراز: SEC-Z514
• السلسلة: SEC-Z500X DeviceNet
• نوع المنتج: جهاز رقمي للتحكم في التدفق الكتلي
• الحالة: جديد وأصلي في عبوة المصنع
• الضمان: ضمان المصنع: 12 شهرًا
• الشحن: FedEx وUPS وDHL متاحة

العبوة القياسية: جهاز واحد للتحكم في التدفق الكتلي SEC-Z514. تتطلب خيارات الختم، وملحقات التوصيل، والعناصر الأخرى الخاصة بالتكوين تأكيد الطلب.

12 | مركز قطع غيار PLC العالمي – رؤية هندسية

يجمع HORIBA STEC SEC-Z514 بين تنظيم التدفق الدقيق واتصال DeviceNet. تدعم مواصفات أدائه التقييم الهندسي لتطبيقات توصيل غازات أشباه الموصلات.

يتضمن أحد اعتبارات الاختيار المهمة الفرق بين الدقة المعبر عنها كنسبة مئوية من نقطة الضبط والدقة المعبر عنها كنسبة مئوية من النطاق الكامل. يجب على المهندسين تقييم كلا المواصفات عبر نطاق التشغيل المقصود.

عند إعدادات التدفق المنخفضة، تصبح مواصفة ±0.25% من النطاق الكامل مهمة بشكل خاص. كما يستحق الحد الأدنى للتحكم 2% من النطاق الكامل الاهتمام أثناء تصميم العملية.

يتطلب توافق الغازات أكثر من مجرد اختيار نطاق تدفق اسمي. تؤثر خصائص الغازات، ومواد الختم، والضغط التفاضلي، وتكوين المعايرة جميعها على الاختيار النهائي.

13 | الأسئلة الشائعة

س1: لماذا يجب على المهندسين التمييز بين دقة نقطة الضبط ودقة النطاق الكامل؟

تستخدم هذه المواصفات قيمًا مرجعية مختلفة. تتعلق دقة نقطة الضبط بالتدفق المطلوب. تتعلق دقة النطاق الكامل بالنطاق المقدر للجهاز. يساعد هذا التمييز المهندسين على تقييم الانحراف الفعلي للتدفق عند نقاط تشغيل مختلفة.

س2: ما الذي يجب مراعاته عند اختيار جهاز تحكم في التدفق غير مدفأ؟

قيم غاز العملية، ودرجة الحرارة المحيطة، وخطر التكثيف، وظروف التركيب. تتطلب بعض الغازات الخاصة إدارة حرارة محددة. تأكد من ملاءمة العملية قبل اختيار التكوين القياسي غير المدفأ.

س3: كيف يمكن لمشكلة في شبكة DeviceNet أن تؤثر على التحكم في تدفق الغاز؟

يمكن لأعطال الاتصال أن تقطع إرسال الأوامر أو مراقبة حالة المعدات. افحص إنهاء الشبكة، وعنونة العقد، وإعدادات معدل الباود، وتوزيع الطاقة. تحقق أيضًا من استجابة المعدات المكوّنة لأعطال الاتصال.

س4: لماذا تعتبر مادة الختم مهمة في أنظمة توصيل غازات أشباه الموصلات؟

يؤثر توافق الختم على المقاومة الكيميائية وسلامة الختم من التسرب. تتطلب غازات عملية معينة مواد ختم محددة. تأكد من توافق الغازات وتوصيات الشركة المصنّعة قبل تأكيد الطلب.

س5: ما المعلومات التي يجب أن يقدمها المشترون عند طلب عرض أسعار SEC-Z514؟

قدم نوع الغاز، ونطاق التدفق عند النطاق الكامل، واختيار MR/MG، ومادة الختم، وتكوين الصمام، ومتطلبات DeviceNet. أدرج الضغط التشغيلي وتفاصيل التوصيل. تساعد هذه المعلمات الموردين على تحديد التكوين الصحيح وتقليل أخطاء الطلب.

Tags