SEC-Z517 HORIBA STEC SEC-Z500X وحدة تحكم في التدفق الكتلي EtherCAT

متحكم التدفق الكتلي EtherCAT SEC-Z517 | SEC-Z500X من HORIBA STEC

يُعد SEC-Z517 من HORIBA STEC متحكمًا رقميًا في التدفق الكتلي ضمن سلسلة SEC-Z500X EtherCAT. فهو ينظم تدفق غاز العملية من خلال اتصال رقمي عالي السرعة وتحكم دقيق في الصمام باستخدام تقنية الكهروإجهادية.

يستهدف هذا الطراز معدات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب توصيلًا سريعًا للغاز وتنظيمًا متكررًا للتدفق. وتدعم واجهة EtherCAT الخاصة به التكامل مع بنيات التحكم في المعدات في الوقت الفعلي.

يغطي المتحكم نطاقات تدفق كاملة تتراوح من 10 SCCM إلى 5.5 SLM. ويدعم تكوينه متعدد الغازات والنطاقات متطلبات غازات العملية المختلفة.

بزمن استجابة يبلغ T98 ≤1 ثانية، يدعم SEC-Z517 تعديلات سريعة للتدفق. كما تدعم مواصفات دقته عند التدفق المنخفض التطبيقات التي تتطلب توصيلًا دقيقًا للغاز.

01. هوية المنتج وتكوينه

الشركة المصنعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z517
سلسلة المنتج	SEC-Z500X
إصدار الاتصال	EtherCAT
نوع المنتج	متحكم رقمي في التدفق الكتلي (MFC)
عنصر التحكم	صمام بمشغل كهروإجهادي
تكوين الغاز	متعدد الغازات / متعدد النطاقات
تكوين التسخين	نسخة قياسية غير مسخنة
الإمداد الكهربائي	24 VDC، 6.8 VA

02. أداء قياس التدفق والتحكم فيه

تؤثر دقة التدفق وسرعة الاستجابة بشكل مباشر على توصيل غاز العملية. وتحدد المواصفات التالية أداء التحكم في SEC-Z517.

المعلمة	المواصفة
نطاق التدفق كامل المقياس	10 SCCM إلى 5.5 SLM
الغاز المرجعي	مكافئ N2
تكوين النطاق	MR / MG قابل للاختيار
نطاق التحكم	2% إلى 100% من كامل المقياس
نسبة خفض التدفق	50:1
الدقة فوق 25% من كامل المقياس	±1.0% من نقطة الضبط
الدقة عند 25% من كامل المقياس أو أقل	±0.25% من كامل المقياس
قابلية التكرار	±0.2% من كامل المقياس
الخطية	±0.5% من كامل المقياس
زمن الاستجابة	≤1 ثانية، T98

التفسير الهندسي

• دقة التدفق المنخفض: تنطبق المواصفة ±0.25% من كامل المقياس عند نقاط ضبط 25% من كامل المقياس أو أقل.
• نطاق التشغيل العادي: فوق 25% من كامل المقياس، تتغير الدقة إلى ±1.0% من نقطة الضبط.
• قابلية التكرار: ±0.2% من كامل المقياس تدعم تنظيمًا ثابتًا للتدفق عبر دورات التشغيل المتكررة.
• الخطية: ±0.5% من كامل المقياس تصف الانحراف عن علاقة التدفق الخطية المحددة.
• الاستجابة: T98 ≤1 ثانية تشير إلى أداء الاستجابة المحدد لنطاق كامل المقياس.

نصيحة الاختيار: قيم الدقة باستخدام نقطة الضبط الفعلية للتشغيل. لا تقارن دقة النسبة المئوية من نقطة الضبط مباشرة بدقة النسبة المئوية من كامل المقياس.

03. توافق الغازات والبنية الملامسة للعملية

يدعم SEC-Z517 غازات عملية متعددة من خلال تكوينات الغاز والنطاق القابلة للاختيار.

توافق الغازات المحددة

• النيتروجين (N2)
• الأرغون (Ar)
• الهيدروجين (H2)
• الهيليوم (He)
• الأكسجين (O2)
• سداسي فلوريد الكبريت (SF6)
• بروميد الهيدروجين (HBr)
• سداسي فلوريد التنجستن (WF6)
• غازات أخرى مدعومة تخضع للتكوين

المواد الملامسة للغازات والختم

المادة الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ SUS316L
السطح الداخلي	تشطيب مصقول، قياسي
خيارات الختم	معدني أو مطاطي
تقنية الصمام	مشغل كهروإجهادي
تكوين الصمام	مفتوح عادةً أو مغلق عادةً
سلامة الختم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)

اعتبار هندسة العملية: يعتمد توافق الغازات على المواد الملامسة وتكوين الختم المختار. تأكد من التوافق الكيميائي قبل طلب تطبيقات الغازات المسببة للتآكل أو التفاعلية.

04. الضغط وظروف التشغيل

يتطلب توصيل الغاز المستقر ضغطًا تفاضليًا مناسبًا وتحكمًا كافيًا في الضغط العلوي.

معلمة التشغيل	القيمة المحددة
الضغط التفاضلي للتشغيل	50–300 kPa(d)
أقصى ضغط تشغيل	450 kPa(g)
مقاومة الضغط	1000 kPa(g)
درجة حرارة التشغيل	5°C إلى 50°C
درجة الحرارة الموصى بها	15°C إلى 45°C
وظيفة التسخين	غير مشمولة في التكوين القياسي

تمييز الضغط الهام:

• يمثل الضغط التفاضلي فرق الضغط عبر المتحكم.
• يحدد أقصى ضغط تشغيل حد الضغط التشغيلي المسموح به.
• تصف مقاومة الضغط تصنيفًا منفصلًا لتحمل الضغط.
• لا تستخدم قيمة مقاومة الضغط كضغط تشغيل مستمر.

05. اتصال EtherCAT والواجهة الكهربائية

يستخدم سلسلة SEC-Z500X EtherCAT الاتصال الرقمي للتكامل مع معدات أشباه الموصلات المؤتمتة.

• البروتوكول: اتصال إيثرنت الصناعي EtherCAT®.
• منافذ الشبكة: واجهات RJ-45 للداخل والخارج.
• الامتثال: متوافق مع مجموعة تكنولوجيا EtherCAT (ETG).
• مصدر الطاقة: 24 VDC.
• استهلاك الطاقة: 6.8 VA.

اعتبارات التكامل

• قم بتوصيل منفذ الدخول بجهاز شبكة EtherCAT العلوي.
• استخدم منفذ الخروج وفقًا لبنية الشبكة.
• تحقق من التعرف على جهاز EtherCAT أثناء التشغيل التجريبي.
• أكد تكوين العملية للمتحكم قبل تمكين التحكم في التدفق.
• افحص حالة الاتصال قبل تشخيص انحرافات التدفق من جانب العملية.

يستوعب الهيكل الأوسع تكوين EtherCAT الإلكتروني. تأكد من الخلوص الميكانيكي عند استبدال المعدات داخل لوحات الغاز الحالية.

06. الأبعاد الميكانيكية وواجهة التركيب

الارتفاع الإجمالي	126 مم
العرض الإجمالي	82 مم
السُمك الإجمالي	29 مم
ترتيب الأبعاد	الارتفاع × العرض × السُمك
توصيل الغاز	VCR ذكر مقاس 1/4 بوصة
مسافة التثبيت	124 مم

قائمة التحقق من التركيب

1. أكد مساحة التركيب والمسافة المركزية للتثبيت.
2. تحقق من متطلبات توصيل VCR الذكر مقاس 1/4 بوصة.
3. افحص نظافة خط الغاز قبل توصيل المتحكم.
4. أكد أن مادة الختم المختارة تتوافق مع غاز العملية.
5. تحقق من ظروف الضغط العلوي والسفلي.
6. قم بتوصيل إمداد 24 VDC وشبكة EtherCAT بشكل صحيح.
7. افحص وجود تسرب خارجي قبل إدخال غاز العملية.
8. تحقق من نوع الغاز ونطاق التدفق المكوّن.

اتبع تعليمات تركيب HORIBA STEC المعمول بها وإجراءات التعامل مع غازات أشباه الموصلات. استخدم أفرادًا مؤهلين لتوصيلات الغازات الخطرة.

07. تطبيقات عملية أشباه الموصلات

يستهدف HORIBA STEC SEC-Z517 المعدات التي تتطلب التحكم الرقمي في تدفق الغاز والاتصال السريع.

التطبيق	المتطلب الهندسي
نقش أشباه الموصلات	توصيل دقيق لغاز العملية وتعديل سريع للتدفق.
ترسيب الأغشية الرقيقة	تدفق غاز متكرر أثناء تنفيذ وصفة العملية.
معدات العمليات المتقدمة	تكامل EtherCAT مع بنيات التحكم في الوقت الفعلي.
أنظمة توصيل الغازات المتعددة	تكوينات غاز قابلة للاختيار لوصفات العملية المختلفة.
لوحات الغاز المؤتمتة	اتصال رقمي وواجهات تركيب مدمجة.

08. الامتثال ومعايير المنتج

• RoHS: متوافق مع RoHS.
• EtherCAT: متوافق مع مجموعة تكنولوجيا EtherCAT.
• معايير أشباه الموصلات: متوافق مع معايير SEMI كما هو محدد للمنتج.

أكد أرقام معايير SEMI المعمول بها ووثائق الشهادات مقابل تكوين المنتج الدقيق. لا تفترض وجود موافقات إضافية للسلامة أو للمناطق الخطرة.

09. التحقق من التكوين قبل الشراء

يتطلب طلب متحكم التدفق الصحيح أكثر من مجرد مطابقة رقم الطراز. يؤثر غاز العملية ونطاق التدفق والضغط وتكوين الاتصال على الاختيار.

• الطراز: أكد SEC-Z517.
• السلسلة: أكد إصدار SEC-Z500X EtherCAT.
• نوع الغاز: حدد غاز العملية الفعلي.
• نطاق كامل المقياس: أكد نطاق SCCM أو SLM المطلوب.
• اختيار النطاق: تحقق من تكوين MR/MG.
• نوع الصمام: أكد التشغيل المفتوح عادةً أو المغلق عادةً.
• مادة الختم: اختر معدنًا أو مطاطًا متوافقًا.
• التوصيلات: تحقق من توصيلات VCR الذكر مقاس 1/4 بوصة.
• الضغط: أكد الضغط التفاضلي وأقصى ضغط تشغيل.
• الاتصال: أكد توافق EtherCAT مع وحدة التحكم المضيفة.

نصيحة الشراء: اطلب تفاصيل التكوين الكاملة قبل الطلب. قد يكون لمتحكمين بتدفقات مماثلة تكوينات مختلفة للغاز والختم والصمام.

10. الأسئلة الشائعة

س1: كيف يؤثر اختيار الغاز على قياس تدفق SEC-Z517؟

للغازات المختلفة خصائص فيزيائية وخصائص تدفق مختلفة. يتطلب المتحكم تكوين الغاز الصحيح لتنظيم التدفق بدقة. لا تفترض أن نطاقًا مكافئًا لـ N2 يوفر أداء تدفق فعلي متطابقًا لكل غاز. أكد المعايرة والتكوين الخاص بالغاز قبل التشغيل التجريبي.

س2: ماذا يحدث إذا انخفض الضغط التفاضلي للتشغيل عن 50 kPa(d)؟

يبدأ نطاق الضغط التفاضلي التشغيلي المحدد من 50 kPa(d). يمكن أن يمنع الضغط التفاضلي غير الكافي المتحكم من تحقيق التدفق المطلوب. افحص ضغط الإمداد العلوي والضغط العكسي السفلي والقيود في خط الغاز قبل تغيير المتحكم.

س3: لماذا يجب على المهندسين التحقق من تكوين الصمام المفتوح عادةً أو المغلق عادةً؟

تؤثر الحالة الميكانيكية الافتراضية للصمام على سلوك إغلاق الغاز خلال ظروف معينة للطاقة أو التحكم. يعتمد الاختيار الصحيح على تصميم سلامة المعدات. تحقق من تكوين الصمام المحدد مقابل فلسفة إيقاف تشغيل لوحة الغاز. لا تفترض أن كلا التكوينين يوفران سلوكًا متطابقًا للفشل الآمن.

س4: هل يمكن استبدال متحكم التدفق الكتلي التماثلي الحالي مباشرةً بـ SEC-Z517؟

ليس بالضرورة. يستخدم SEC-Z517 اتصال EtherCAT وواجهات شبكة RJ-45. قد يستخدم المتحكم التماثلي توصيلات كهربائية وإشارات تحكم مختلفة. افحص وحدة التحكم المضيفة وبنية الشبكة وأبعاد التركيب وتوصيلات الغاز وتكوين العملية قبل الاستبدال.

س5: ماذا يجب على المهندسين التحقيق فيه عندما يتذبذب التدفق المعروض رغم استقرار الضغط؟

ابدأ بفحص نقاء الغاز والتنظيم العلوي والقيود السفلية. افحص التوصيلات بحثًا عن تلوث أو تسرب. ثم تحقق من تكوين الغاز ونطاق التدفق وحالة اتصال EtherCAT. قارن ظروف التشغيل الفعلية بحدود الدقة وقابلية التكرار المحددة قبل الاشتباه في فشل الصمام الداخلي.

11. إمداد المنتج والدعم الفني

هل تبحث عن متحكم التدفق الكتلي EtherCAT HORIBA STEC SEC-Z517؟

• العلامة التجارية: HORIBA STEC
• الطراز: SEC-Z517
• السلسلة: SEC-Z500X EtherCAT
• نوع المنتج: متحكم رقمي في التدفق الكتلي
• نطاق التدفق: 10 SCCM إلى 5.5 SLM
• الاتصال: EtherCAT
• الضمان: 12 شهرًا، يخضع لشروط البيع.
• الفحص: فحص المنتج قبل الشحن.
• الشحن: DHL وFedEx وUPS وغيرها من شركات الشحن المدعومة.

تواصل مع فريق المبيعات لدينا للحصول على معلومات الأسعار والتوافر والتسليم. قدم نوع الغاز ونطاق التدفق المطلوب وتكوين التوصيلات للحصول على تحقق دقيق من الطراز.

Tags