631F13TBFP MKS الفئة 600 محول ضغط مطلق دقيق

MKS Instruments 631F13TBFP | محول ضغط باراترون مسخّن بدرجة 200°C

يُعد MKS Instruments 631F13TBFP محول ضغط مطلق عالي الحرارة من سلسلة 631F ضمن عائلة منتجات السلسلة 600.

يقيس الضغط المطلق ضمن نطاق كامل مقداره 1000 تور. ويحافظ مستشعره على درجة حرارة تشغيل مضبوطة تبلغ 200°C. ويدعم هذا التصميم الحراري قياسًا مستقرًا للضغط في عمليات أشباه الموصلات المتطلبة.

تدمج الوحدة المدمجة والمكتفية ذاتيًا بين استشعار الضغط وتنظيم درجة الحرارة وإخراج إشارة تماثلية. وتوفر مخرجًا يتراوح من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر لأنظمة القياس والتحكم المتوافقة.

يدعم هيكله المصنوع من سبائك النيكل الأجزاء الملامسة للعمليات المتطلبة. ويوفر موصل 8 VCR الأنثى واجهة محددة لأنظمة الفراغ وغازات العمليات.

01 | تحديد المنتج وبنية القياس

الشركة المصنّعة	MKS Instruments
الطراز	631F13TBFP
سلسلة المنتج	سلسلة 631F
عائلة المنتج	السلسلة 600
نوع المنتج	محول ضغط مطلق باراترون عالي الحرارة
مبدأ القياس	مقياس مانومتر باراترون سعوي
نوع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل	1000 تور
درجة حرارة المستشعر	200°C مضبوطة
تكوين درجة الحرارة	وحدة مستشعر مسخّنة
المخرج	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
الامتثال	متوافق مع CE

02 | أداء القياس: الدقة والسرعة والوضوح

تهدف بنية القياس إلى مراقبة دقيقة للضغط المطلق تحت درجات حرارة مرتفعة للمستشعر. وتغطي مواصفات الأداء الدقة ووضوح الإشارة والاستجابة الديناميكية.

معلمة القياس	المواصفات
الضغط عند النطاق الكامل	1000 تور
الدقة	0.50% من القراءة
مكونات الدقة	تشمل اللاخطية والتخلف وعدم قابلية التكرار
الوضوح	0.01% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	50 مللي ثانية
زمن الإحماء	4 ساعات أو أقل
وضع القياس	الضغط المطلق

التفسير الهندسي

• الدقة: تتضمن مواصفة 0.50% من القراءة ثلاثة مكونات رئيسية لخطأ القياس.
• الوضوح: تقابل مواصفة 0.01% من النطاق الكامل 0.1 تور عند نطاق 1000 تور.
• الاستجابة: تدعم الاستجابة البالغة 50 مللي ثانية مراقبة التغيرات السريعة نسبيًا في الضغط.
• الإحماء: اسمح بما يصل إلى أربع ساعات للاستقرار الحراري قبل الاعتماد على أداء القياس المحدد.

يصف الوضوح أصغر زيادة قياس محددة. ولا يمثل دقة القياس المطلقة أو دقة العرض المضمونة.

03 | الهندسة الحرارية: التحكم في درجة حرارة المستشعر عند 200°C

الميزة المميزة لـ 631F13TBFP هي درجة حرارة المستشعر المضبوطة عند 200°C. يحافظ التسخين على وحدة الاستشعار عند درجة حرارة تشغيل مرتفعة بينما تظل البيئة المحيطة ضمن حدودها المحددة.

درجة حرارة المستشعر المضبوطة	200°C
درجة حرارة التشغيل المحيطة	15–50°C
معامل درجة حرارة الصفر	0.008% من النطاق الكامل/°C
معامل درجة حرارة الصفر، نطاق 1 تور	0.016% من النطاق الكامل/°C
معامل درجة حرارة المدى	0.02% من القراءة/°C
تدفق الهواء المحيط العالي	150 قدم/دقيقة عند 40–50°C
الحماية من ارتفاع درجة الحرارة	توفير حماية آمنة عند الفشل

اعتبار التركيب: تصف درجة حرارة المستشعر ودرجة حرارة التشغيل المحيطة ظروفًا مختلفة. ينطبق تصنيف 200°C على وحدة الاستشعار المضبوطة، وليس على بيئة التركيب المحيطة.

حافظ على تدفق الهواء المحدد عندما تصل درجات الحرارة المحيطة إلى 40–50°C. يمكن أن يؤثر تدفق الهواء المقيد على الإدارة الحرارية واستقرار القياس.

04 | الواجهة الكهربائية وإشارات التحكم

تستخدم البنية الكهربائية طاقة تيار مستمر ثنائية القطب ومخرج جهد أحادي الطرف. تدعم الواجهة التكامل مع معدات مراقبة الضغط المتوافقة وأنظمة التحكم التماثلية.

مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر ±5%
التيار الأقصى	1.0 أمبير
المخرج التماثلي	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
الحد الأدنى لحمل المخرج	أكبر من 10 كيلو أوم
الموصل الكهربائي	D-sub بـ 15 دبوسًا
تثبيت الموصل	أقفال اللولب
تكوين المرحل	0 مرحل
نقاط التفعيل	غير متوفر

مؤشرات الحالة

• في درجة الحرارة: يشير إلى حالة تسخين المستشعر.
• فشل السخان: يشير إلى حالة عطل متعلقة بالسخان.
• الحماية الآمنة عند الفشل: توفر حماية من ارتفاع درجة الحرارة.

لا يحتوي هذا التكوين على مخرجات تفعيل مرحل مدمجة. تحتاج التطبيقات التي تتطلب نقاط اتصال إنذار ضغط مستقلة إلى أجهزة مراقبة أو تحكم خارجية.

05 | واجهة العملية والهيكل الملامس

يحدد موصل العملية والمواد الداخلية التوافق الميكانيكي مع نظام توصيل الغاز.

موصل الضغط	8 VCR أنثى
المواد الملامسة	سبائك النيكل إنكونيل أو إنكولوِي
الحجم الداخلي	6.3 سم مكعب
حد الضغط الزائد	45 رطل/بوصة مربعة

اعتبارات اختيار المواد

• تأكد من توافق غاز العملية مع المواد الملامسة المحددة من سبائك النيكل.
• افحص متطلبات الختم والوصلة مقابل مجموعة توصيل الغاز.
• ضع الحجم الداخلي في الاعتبار عند تقييم استجابة الغرفة وتكوين خط العملية.
• حافظ على الضغط المطبق ضمن حد الضغط الزائد المحدد.

حد الضغط الزائد البالغ 45 رطل/بوصة مربعة ليس تصنيف ضغط تشغيل عادي. يجب على المهندسين تقييم ظروف الضغط قبل توصيل المحول.

06 | الأبعاد الميكانيكية ومساحة التركيب

قطر الهيكل	3.15 بوصة (80.0 مم)
ارتفاع الهيكل	4.55 بوصة (115.5 مم)
طول ساق الوصلة	1.58 بوصة (40.0 مم)
موصل العملية	8 VCR أنثى
الحجم الداخلي	6.3 سم مكعب

اترك مساحة كافية حول الهيكل المسخّن والموصل الكهربائي. يجب أن يحافظ التركيب أيضًا على تدفق الهواء التبريدي المطلوب عند درجات الحرارة المحيطة المرتفعة.

07 | إجراءات التركيب والتكليف

التحضير الميكانيكي

1. تحقق من الطراز والنطاق الكامل البالغ 1000 تور.
2. افحص مساحة التركيب وموصل 8 VCR الأنثى.
3. افحص الوصلة وأسطح الختم المتقابلة.
4. تأكد من توافق غاز العملية مع المواد الملامسة.
5. تحقق من أن ظروف الضغط المتوقعة تظل ضمن الحد المحدد.

التحضير الكهربائي

1. وفر مصدر طاقة مضبوطًا بـ ±15 فولت تيار مستمر.
2. تحقق من قطبية المصدر وتفاوت الجهد.
3. صل واجهة D-sub بـ 15 دبوسًا بإحكام.
4. صل المخرج التماثلي بمدخل مصنف من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر.
5. تأكد من أن معاوقة الإدخال المستقبل تتجاوز 10 كيلو أوم.

بدء التشغيل الحراري

1. قم بتزويد الوحدة بالطاقة واسمح للسخان بالوصول إلى درجة حرارته المضبوطة.
2. اسمح بما يصل إلى أربع ساعات للإحماء.
3. راقب مؤشري "في درجة الحرارة" و"فشل السخان".
4. تحقق من خط الأساس للضغط الصفري في ظروف مرجعية مناسبة.
5. قارن المخرج بمرجع ضغط معاير.

لا تبدأ قياس الإنتاج قبل الاستقرار الحراري. اتبع إجراءات بدء التشغيل والمعايرة المعتمدة من الشركة المصنّعة للمعدات.

08 | الصيانة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها في الموقع

انحراف القراءة الصفرية

افحص أولًا تغيرات درجة الحرارة المحيطة والاستقرار الحراري. راجع تدفق الهواء في التركيب وتحقق من المرجع الصفري. قارن القراءة بمعيار معايرة مناسب.

مؤشر فشل السخان

افحص مصدر الطاقة والتوصيلات الكهربائية. تأكد من أن الوحدة تتلقى الجهد ثنائي القطب المحدد. اتبع إجراء الخدمة الخاص بالشركة المصنّعة إذا استمر عطل السخان.

مخرج تماثلي غير مستقر

افحص معاوقة الإدخال المستقبل وتوصيلات الإشارة. افحص ترتيب التأريض ومصادر الضوضاء الكهربائية. تحقق من مقياس الإدخال التماثلي قبل تغيير إعدادات المعايرة.

انحراف ضغط غير متوقع

افحص قيود خط العملية وتسرب الوصلة وأخطاء مرجع الضغط. أكد نطاق الجهاز وظروف الضغط المطبق. استخدم جهاز مرجع معاير لعزل الانحرافات المتعلقة بالمستشعر.

09 | تطبيقات أشباه الموصلات النموذجية

• معدات CVD: تراقب الضغط المطلق في أنظمة الترسيب الكيميائي للبخار.
• أنظمة النقش: تدعم قياس الضغط في غرف العمليات ومعدات مناولة الغاز.
• أفران الانتشار: توفر تغذية راجعة للضغط لبيئات المعالجة الحرارية المضبوطة.
• ترسيب الأغشية الرقيقة: تدعم مراقبة الضغط أثناء ترسيب المواد.
• أنظمة توصيل الغاز: تقيس الضغط في مجموعات غازات عمليات أشباه الموصلات.

يناسب هيكل الاستشعار المسخّن التطبيقات التي تتطلب درجات حرارة مرتفعة للمستشعر. يجب على المهندسين التحقق من توافق العملية ودرجة حرارة التركيب وظروف الضغط لكل تطبيق.

10 | الامتثال والتوثيق

• الامتثال لـ CE: محدد على أنه متوافق مع CE.
• التوثيق الكهربائي: تحقق من متطلبات التوصيل والإمداد المعمول بها.
• التحقق الفني: أكد تكوين الطراز الدقيق مقابل توثيق الشركة المصنّعة.

11 | محتويات العبوة والتحقق من الطلب

تحقق من العناصر التالية مقابل مواصفات الشراء المؤكدة:

• 1 × محول ضغط MKS Instruments 631F13TBFP.
• تحديد المنتج ومعلومات الطراز.
• التوثيق الفني المعمول به، حسب تأكيد الطلب.

تتطلب كابلات الطاقة وكابلات الموصل وأجهزة تثبيت التركيب والوصلات الإضافية تأكيدًا منفصلًا. لا تسرد مواصفات الوحدة أي مخرجات مرحل مدمجة.

12 | الأسئلة الشائعة للمتخصصين: هندسة التطبيقات والاختيار

س1: لماذا يحتاج محول الضغط المسخّن إلى فترة بدء تشغيل أطول؟

يجب أن تصل وحدة الاستشعار الداخلية إلى حالتها الحرارية المضبوطة. يساعد الاستقرار الحراري في إنشاء خصائص قياس متسقة. اسمح بما يصل إلى أربع ساعات قبل تقييم الأداء المحدد.

س2: كيف يجب على المهندسين تقييم دقة القراءة البالغة 0.50% عند مستويات ضغط مختلفة؟

احسب الخطأ المطلق المتوقع من قراءة الضغط الفعلية. على سبيل المثال، عند 500 تور، تقابل 0.50% من القراءة 2.5 تور. يختلف هذا عن مواصفات الدقة القائمة على النطاق الكامل.

س3: ماذا يحدث إذا كانت معاوقة إدخال PLC التماثلي أقل من 10 كيلو أوم؟

قد يقع الحمل المستقبل خارج شروط المخرج المحددة. يمكن أن يؤثر هذا على دقة الإشارة والأداء الكهربائي. اختر إدخالًا تماثليًا بمعاوقة أكبر من 10 كيلو أوم.

س4: لماذا يعتبر تدفق الهواء المحيط مهمًا على الرغم من أن المستشعر يعمل عند 200°C؟

لا تزال وحدة الاستشعار المسخّنة تتطلب إدارة حرارية مناسبة. يمكن أن تؤدي درجات الحرارة المحيطة المرتفعة إلى زيادة تراكم الحرارة حول هيكل الجهاز. حافظ على تدفق هواء لا يقل عن 150 قدم/دقيقة عندما تصل درجة الحرارة المحيطة إلى 40–50°C.

س5: ماذا يجب على فرق المشتريات التحقق منه عند استبدال باراترون السلسلة 600 الحالي؟

قارن النطاق الكامل ووصلة العملية والمواد الملامسة والموصل الكهربائي ومتطلبات المخرج. افحص أيضًا درجة حرارة المستشعر المضبوطة والأبعاد المادية. إن مطابقة اسم السلسلة وحده لا يثبت قابلية الاستبدال الكاملة.

التوريد الفني | MKS Instruments 631F13TBFP

يدعم مركز PLC العالمي لقطع الغيار التوريد الصناعي للأجهزة والتحقق من الطراز لمستخدمي معدات أشباه الموصلات.

• التحقق الفني: المساعدة في تحديد الطراز والنطاق والواجهة.
• دعم التطبيقات: إرشادات حول توصيلات الضغط والتوافق الكهربائي.
• الضمان: ضمان لمدة 12 شهرًا بموجب شروط المبيعات المؤكدة.
• الشحن الدولي: خيارات FedEx وUPS وDHL.
• ترتيب الإرسال: عادةً 24–48 ساعة، حسب تأكيد المخزون ومعالجة الطلب.

اطلب عرض أسعار 631F13TBFP الخاص بك

هل تحتاج إلى MKS Instruments 631F13TBFP لتطبيق قياس ضغط مسخّن لأشباه الموصلات؟ تواصل مع فريقنا مع الكمية المطلوبة والمواصفات الفنية. يمكننا المساعدة في التحقق من الطراز ودعم عرض الأسعار.

Tags