627H21TBC1B MKS Instruments 627H محول ضغط باراترون مسخّن

627H21TBC1B | قياس الضغط المطلق المسخّن

MKS Instruments 627H21TBC1B هو محوّل ضغط مطلق مسخّن من 627H (سلسلة 600).

يقيس هذا الطراز الضغط المطلق ضمن نطاق كامل مقداره 20 تور. ويعمل مستشعره عند درجة حرارة مضبوطة تبلغ 45 درجة مئوية.

يساعد التصميم المسخّن على الحفاظ على درجة حرارة مستقرة للمستشعر أثناء قياس الضغط. ويدعم التوجيه الرأسي المعايرة التركيبات التي تتطلب توجيه معايرة محددًا.

يوفر الجهاز مخرجًا تناظريًا يتراوح من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر. ويعمل بمصدر طاقة ±15 فولت تيار مستمر، ويستخدم تصميمًا من الإنكونيل في الأجزاء الملامسة للوسط.

تحديد الطراز

• الشركة المصنّعة: MKS Instruments
• الطراز: 627H21TBC1B
• عائلة المنتج: 627H (سلسلة 600)
• نوع الجهاز: محوّل ضغط مطلق باراترون مسخّن
• نطاق القياس: 0–20 تور مطلق
• درجة حرارة المستشعر: 45 درجة مئوية مضبوطة
• توجيه المعايرة: رأسي
• إشارة المخرج: 0 إلى +10 فولت تيار مستمر
• وصلة العملية: 8 VCR أنثى

01 | بنية القياس وأداؤه

يستخدم 627H21TBC1B منصة قياس باراترون مسخّنة. ويقيس الضغط المطلق بدلًا من الضغط القياسي أو التفاضلي.

معلمة القياس	المواصفات
نوع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل	20 تور
الدقة	0.12% من القراءة
التمييز	0.001% من النطاق الكامل
اللاخطية	مشمولة في الدقة المحددة
التباطؤ	مشمول في الدقة المحددة
عدم التكرارية	مشمولة في الدقة المحددة
وقت الإحماء	ساعتان
وضعية المعايرة	رأسي

دقة القياس: الدقة المحددة هي 0.12% من القراءة. وتشمل هذه المواصفات اللاخطية والتباطؤ وعدم التكرارية.

تمييز القياس: يساوي التمييز المذكور 0.001% من النطاق الكامل. وعند 20 تور، يعادل ذلك 0.0002 تور.

يصف التمييز أصغر زيادة قياس محددة. ولا يمثل دقة القياس المطلقة.

02 | التحكم الحراري واستقرار القياس

يحافظ المستشعر على درجة حرارة مضبوطة تبلغ 45 درجة مئوية. ويساعد هذا التكوين المسخّن على تقليل تباينات القياس المرتبطة بتغيرات درجة حرارة المستشعر.

المعلمة الحرارية	المواصفات
درجة حرارة المستشعر المضبوطة	45 درجة مئوية
درجة حرارة التشغيل	15 إلى 40 درجة مئوية
وقت الإحماء	ساعتان
معامل درجة حرارة الصفر	0.002% من النطاق الكامل/درجة مئوية
معامل درجة حرارة المدى	0.02% من القراءة/درجة مئوية

اعتبارات هندسية:

• اترك فترة الإحماء الكاملة البالغة ساعتين قبل إجراء القياسات الحرجة.
• حافظ على درجة الحرارة المحيطة ضمن نطاق التشغيل المحدد.
• تجنب التغيرات السريعة في درجة الحرارة حول الجهاز.
• افحص استقرار الصفر بعد الاستقرار الحراري.
• قيّم انحراف المدى عند تغير الظروف المحيطة.

تصف درجة حرارة المستشعر ودرجة حرارة التشغيل المحيطة ظروفًا مختلفة. ولا يغير الإعداد الداخلي البالغ 45 درجة مئوية الحد المحيط المحدد البالغ 15–40 درجة مئوية.

03 | الواجهة الكهربائية وتكامل الإشارة

يوفر المحوّل إشارة جهد تناظرية لأنظمة مراقبة الضغط. وتدعم واجهته الكهربائية التكامل مع معدات القياس الصناعية المتوافقة.

المعلمة الكهربائية	المواصفات
مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر
تفاوت الطاقة	±5%
التيار الأقصى	0.25 أمبير
المخرج التناظري	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
الحد الأدنى لمقاومة الحمل	>10 كيلو أوم
الموصل الكهربائي	D-Sub بـ15 دبوسًا
تثبيت الموصل	أقفال اللولب
نقاط التبديل	غير متوفر
مؤشر LED لحالة السخان	غير متوفر

تفسير الإشارة التناظرية

بافتراض مخرج خطي 0–10 فولت عبر النطاق 0–20 تور:

• يعادل 0 فولت 0 تور.
• يعادل 2.5 فولت 5 تور.
• يعادل 5 فولت 10 تور.
• يعادل 7.5 فولت 15 تور.
• يعادل 10 فولت 20 تور.

استخدم دالة نقل الجهاز الفعلية عند تكوين النظام المستقبِل. وتحقق من مقياس المخرج قبل التشغيل التجريبي.

تكامل وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة واكتساب البيانات:

• استخدم قناة إدخال جهد متوافقة.
• تأكد من أن مقاومة الإدخال تتجاوز 10 كيلو أوم.
• وفر مصدر ±15 فولت تيار مستمر ثنائي القطب المطلوب.
• تحقق من ترتيبات المشترك الأرضي وتأريض الإشارة.
• استخدم أسلاكًا محمية حيثما يتطلب التركيب ذلك.
• افحص الضوضاء الكهربائية قبل ضبط مقياس القياس.

04 | وصلة العملية والتصميم الملامس للوسط

يستخدم حاجز الضغط مواد إنكونيل ملامسة للوسط. وتتميز وصلة العملية بتركيب 8 VCR أنثى.

المعلمة الميكانيكية	المواصفات
المادة الملامسة للوسط	إنكونيل
وصلة العملية	8 VCR أنثى
الحجم الداخلي	6.3 سم مكعب
حد الضغط الزائد	45 psia (310 كيلو باسكال) أو 120% من النطاق الكامل، أيهما أكبر
القطر	3.15 بوصة (80.0 مم)
ارتفاع الجسم	3.87 بوصة (98.4 مم)
طول الساق	1.38 بوصة (35.1 مم)

مساحة التركيب: اترك مساحة كافية لجسم المستشعر والساق ووصلة العملية والموصل الكهربائي.

حماية الضغط: لا يمثل حد الضغط الزائد نطاق ضغط التشغيل العادي. تجنب تجاوزات الضغط التي تتخطى الحد المحدد.

05 | إجراءات التركيب والتشغيل التجريبي

التركيب الميكانيكي

1. تأكد من أن موضع التركيب يطابق توجيه المعايرة الرأسي.
2. افحص وصلة 8 VCR الأنثى مقابل خط العملية.
3. افحص أسطح الختم قبل توصيل خط الضغط.
4. استخدم مكونات ختم VCR متوافقة.
5. تجنب التحميل الميكانيكي المفرط على جسم الجهاز.
6. حافظ على التركيب ضمن حدود الضغط المحددة.

التركيب الكهربائي

1. تحقق من مصدر الطاقة ثنائي القطب ±15 فولت تيار مستمر.
2. افحص قطبية المصدر وتفاوت الجهد.
3. افحص موصل D-Sub بـ15 دبوسًا.
4. ثبّت الموصل باستخدام أقفال اللولب الخاصة به.
5. وصّل المخرج التناظري بمدخل جهد مناسب.
6. تحقق من ترتيبات المشترك الأرضي وتأريض الإشارة.

تسلسل التشغيل التجريبي

1. طبّق مصدر الطاقة المحدد.
2. اترك ساعتين على الأقل للإحماء.
3. تأكد من استقرار درجة الحرارة المحيطة.
4. افحص مرجع ضغط الصفر في ظروف مناسبة.
5. طبّق نقاط ضغط معروفة باستخدام مرجع معاير.
6. قارن جهد المخرج بالضغط المتوقع.
7. تأكد من أن وحدة التحكم المستقبِلة تعرض وحدات هندسية صحيحة.

06 | فحوصات التشخيص والصيانة

مرجع عملي لاستكشاف الأخطاء وإصلاحها

الحالة الملاحظة	الفحص الموصى به
لا يوجد مخرج تناظري	افحص مصدر ±15 فولت تيار مستمر، وتوصيلات الموصل، ومدخل النظام المستقبِل.
المخرج لا يصل إلى القيمة المتوقعة	تحقق من مرجع الضغط ومقياس الإشارة التناظرية.
قراءة الصفر تنحرف	افحص اكتمال الإحماء واستقرار درجة الحرارة المحيطة.
عرض ضغط غير مستقر	افحص وصلات الضغط والتأريض وتوصيلات الإشارة.
استقرار بطيء	افحص الاستقرار الحراري وظروف ضغط العملية.
انحراف معايرة غير متوقع	تحقق من توجيه التركيب ومرجع المعايرة.

توصيات الصيانة

• افحص وصلات العملية أثناء الصيانة المجدولة.
• افحص جهد المصدر قبل التحقيق في أخطاء القياس.
• حافظ على نظافة الموصل الكهربائي وتثبيته.
• سجّل نتائج التحقق من الصفر والمدى.
• استخدم معدات مرجعية مناسبة لفحوصات المعايرة.
• اتبع إجراءات MKS للخدمة للإصلاحات الداخلية.

لا يحتوي هذا الطراز على نقاط تبديل أو مؤشر LED لحالة السخان. ينبغي للمهندسين التحقق من ظروف التشغيل من خلال القياسات الخارجية وتشخيصات النظام.

07 | التطبيق وتكامل النظام

يناسب نطاق القياس المطلق البالغ 20 تور تطبيقات مراقبة الضغط المنخفض. ويدعم المخرج التناظري التكامل مع أنظمة مراقبة الضغط المتوافقة.

• معدات أشباه الموصلات: مراقبة الضغط في غرف العملية ومعدات الفراغ المتوافقة.
• أنظمة الفراغ: قياس الضغط المطلق ضمن النطاق المكوّن.
• عمليات الأغشية الرقيقة: تغذية راجعة للضغط لمعدات الترسيب المناسبة.
• أنظمة توصيل الغاز: مراقبة الضغط في خطوط الغاز منخفضة الضغط المتوافقة.
• الأجهزة الصناعية: قياس الضغط التناظري من خلال واجهات وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة واكتساب البيانات.

يعتمد ملاءمة التطبيق على توافق غاز العملية، وظروف الضغط، وتصميم التركيب، وأداء القياس المطلوب.

08 | اختيار الطراز والتحقق من الطلب

تحدد عدة تفاصيل تكوين ما إذا كان هذا الجهاز يتوافق مع تركيب موجود. تحقق من رقم الطراز الكامل قبل الشراء.

• نطاق القياس: تأكد من النطاق الكامل المطلوب البالغ 20 تور.
• نوع القياس: تحقق من قياس الضغط المطلق.
• تكوين التسخين: تأكد من درجة حرارة المستشعر البالغة 45 درجة مئوية.
• المعايرة: افحص متطلب المعايرة الرأسية.
• المخرج: تأكد من واجهة إشارة 0–10 فولت تيار مستمر.
• الطاقة: تحقق من توفر مصدر ±15 فولت تيار مستمر.
• الوصلة: تأكد من تركيب 8 VCR أنثى.
• المادة: افحص توافق الإنكونيل مع العملية.

نصيحة للطلب: لا يضمن تطابق النطاق البالغ 20 تور وحده إمكانية الاستبدال. قارن الواجهة الكهربائية، وتوجيه المعايرة، وتكوين التسخين، ووصلة العملية.

09 | الامتثال ومعلومات العبوة

الامتثال

• متوافق مع CE.

تأكد من الإعلان والوثائق المعمول بها للتكوين المورّد بدقة.

محتويات العبوة

• 1 × محوّل ضغط باراترون مسخّن MKS Instruments 627H21TBC1B.
• تعتمد الملحقات والوثائق الإضافية على تكوين الطلب المؤكد.

تتطلب كابلات الطاقة، والموصلات المتوافقة، وشهادات المعايرة، وملحقات التركيب تأكيدًا منفصلًا.

10 | الأسئلة التقنية الشائعة

س1: لماذا يتطلب التركيب توجيه معايرة رأسي؟

يحدد توجيه المعايرة الموضع المرجعي لأداء القياس المحدد. يمكن أن يؤثر التوجيه الميكانيكي على قراءات مستشعر الضغط في تصميمات معينة.

ركّب الجهاز في وضعه الرأسي المحدد. إذا كانت المعدات تتطلب توجيهًا آخر، فاستشر MKS قبل التركيب.

س2: كيف ينبغي للمهندسين التمييز بين تمييز المستشعر ودقة النظام؟

يصف التمييز أصغر زيادة قياس محددة. وتصف الدقة مدى قرب القيمة المقاسة من الضغط الفعلي.

بالنسبة لهذا الطراز، يبلغ التمييز 0.0002 تور. ودقته المحددة هي 0.12% من القراءة.

يمكن أن يقلل تمييز إدخال وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة وضوضاء الإشارة من التمييز الفعلي للقياس للنظام الكامل.

س3: ما الذي يمكن أن يسبب قراءة ضغط غير صحيحة بعد استبدال المحوّل؟

تشمل الأسباب الشائعة مقياس الإشارة غير الصحيح، وتوجيه التركيب غير المناسب، ومصادر الطاقة غير المتوافقة.

ينبغي للمهندسين أيضًا فحص وصلة 8 VCR وتكوين الجهاز المستقبِل.

قارن المخرج التناظري بمرجع ضغط معاير قبل تغيير معلمات وحدة التحكم.

س4: لماذا ينبغي للمهندسين الانتظار ساعتين قبل إجراء فحوصات المعايرة؟

يستخدم المستشعر الداخلي تسخينًا مضبوطًا عند 45 درجة مئوية. وتحتاج حالته الحرارية إلى وقت للاستقرار بعد تشغيل الطاقة.

يمكن أن يؤدي إجراء فحوصات المعايرة مبكرًا جدًا إلى إدخال انحرافات صفر أو مدى مضللة.

اترك فترة الإحماء المحددة قبل تقييم أداء القياس.

س5: ما الذي ينبغي للمشترين التحقق منه عند اختيار هذا الطراز لمعدات الفراغ؟

أولًا، تأكد من أن الضغط المطلق البالغ 20 تور يغطي نطاق تشغيل العملية الفعلي.

بعد ذلك، تحقق من المعايرة الرأسية، وتكوين التسخين البالغ 45 درجة مئوية، والمخرج 0–10 فولت تيار مستمر.

افحص مصدر ±15 فولت تيار مستمر ووصلة 8 VCR الأنثى المتاحين. وأكد أيضًا توافق الإنكونيل مع وسائط العملية.

في مشاريع الاستبدال، قدم صورة لوحة الاسم الأصلية وتفاصيل واجهة المعدات قبل الطلب.

Tags