E27H.1TBD5B محول ضغط حراري لعملية الحفر – MKS E27H 0.1 تور

MKS E27H.1TBD5B | مستشعر باراترون مسخّن لعمليات الحفر

MKS Instruments E27H.1TBD5B هو محوّل ضغط مطلق مسخّن مصمم لعمليات الحفر الدقيقة في صناعة أشباه الموصلات.

ينتمي إلى E27H (سلسلة 600) ويتميز بتكوين مخصص لمستشعرات الحفر. يساعد خزان التجميع المدمج فيه على إدارة ترسب النواتج الثانوية للعملية داخل مجموعة استشعار الضغط.

يعمل المستشعر عند درجة حرارة مضبوطة تبلغ 45 درجة مئوية. يساعد هذا التصميم المسخّن على تقليل التكثف والترسب على الأسطح الداخلية الحساسة.

يوفر هذا التكوين نطاقًا كاملاً يبلغ 0.1 تور مع معايرة أفقية. ويجمع بين مخرج تناظري بجهد 0-10 فولت تيار مستمر، ومواد إنكونيل (Inconel) ملامسة للوسط، ووصلة عملية أنثى 8 VCR.

الخصائص الهندسية الرئيسية

• الشركة المصنّعة: MKS Instruments
• الطراز الكامل: E27H.1TBD5B
• عائلة المنتج: E27H، سلسلة 600
• نوع المنتج: مستشعر باراترون مسخّن لعمليات الحفر
• القياس: الضغط المطلق
• النطاق الكامل: 0.1 تور (حوالي 13.3 باسكال)
• درجة حرارة المستشعر: 45 درجة مئوية
• اتجاه المعايرة: أفقي
• حماية الحفر: حاجز حفر مدمج مع خزان تجميع
• الدقة: 0.15% من القراءة
• المخرج الكهربائي: 0-10 فولت تيار مستمر
• وصلة العملية: 8 VCR أنثى

01 | تفصيل التكوين – فك رموز الطراز الكامل

يحدد رمز الطلب الكامل نطاق قياس الجهاز، ووصلة العملية، والمعايرة، والواجهة الكهربائية، وتكوين الدقة.

جزء الطراز	التكوين	الوصف الهندسي
E27H	سلسلة المنتج	تكوين مستشعر الحفر المسخّن باراترون
.1T	نطاق الضغط	نطاق كامل يبلغ 0.1 تور
B	وصلة العملية	وصلة أنثى 8 VCR
D	خيار المعايرة	معايرة أفقية، تكوين قياسي
5	الموصل الكهربائي	D-sub بـ 15 دبوسًا مع أقفال لولبية
B	درجة الدقة	0.15% من القراءة

تفسير التكوين:

• E27H: يحدد عائلة منتجات مستشعر الحفر المسخّن.
• .1T: يحدد نطاق القياس 0.1 تور.
• B: يحدد وصلة العملية الأنثى 8 VCR.
• D: يحدد تكوين المعايرة الأفقية.
• 5: يحدد موصل D-sub بـ 15 دبوسًا ووصلات لولبية.
• B: يحدد درجة دقة القراءة 0.15%.

تحقق دائمًا من رمز الطلب الكامل ومطابقته للوحة اسم الجهاز. وأكد تفسير اللاحقة وفقًا لوثائق تكوين MKS المعمول بها قبل الطلب.

02 | مواصفات قياس الضغط

يقيس الجهاز الضغط المطلق ضمن نطاق ضغط منخفض. ويدعم هيكل قياسه مراقبة ضغط العملية في معدات حفر أشباه الموصلات.

معلمة القياس	المواصفة
نوع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل	0.1 تور
الضغط المكافئ	حوالي 13.3 باسكال
الدقة	0.15% من القراءة
الدقة التحليلية	0.001% من النطاق الكامل
عدم الخطية	مشمولة في الدقة المحددة
التباطؤ	مشمول في الدقة المحددة
عدم قابلية التكرار	مشمول في الدقة المحددة
وقت الإحماء	4 ساعات
اتجاه المعايرة	أفقي

حساب الدقة التحليلية:

0.1 تور × 0.001% = 0.000001 تور.

وهذا يعادل حوالي 0.000133 باسكال. لا تمثل الدقة التحليلية دقة القياس المطلقة.

تفسير الدقة:

تنطبق الدقة المحددة 0.15% على قراءة الضغط. وهي تشمل عدم الخطية والتباطؤ وعدم قابلية التكرار.

عند 0.05 تور، تكون قيمة الدقة المقابلة 0.15% هي 0.000075 تور. ويمثل هذا الحساب النسبة المئوية المذكورة من القراءة.

03 | مستشعر الحفر المسخّن وتقنية خزان التجميع المدمج

الميزة المميزة لهذا التكوين هي هيكل حاجز الحفر وخزان التجميع المدمج فيه.

يمكن أن تولد عمليات الحفر نواتج ثانوية للتفاعل أثناء المعالجة بالبلازما. وقد تترسب بعض النواتج الثانوية على الأسطح الداخلية مع تغير ظروف العملية.

يمكن أن تحد التراكمات من التواصل الضغطي وتؤثر على موثوقية القياس على المدى الطويل. ويعالج تكوين E27H هذا التحدي من خلال تصميم مخصص لمستشعر الحفر.

حاجز الحفر المدمج:

• يتميز بهيكل خزان تجميع مدمج.
• يستخدم تصميمًا حاصلًا على براءة اختراع، براءة الاختراع الأمريكية رقم 5,822,685.
• يساعد في إدارة تراكم النواتج الثانوية داخل مجموعة المستشعر.
• يدعم قياس الضغط في بيئات الحفر الصعبة.

مستشعر مسخّن عند 45 درجة مئوية:

• يحافظ على درجة حرارة مستشعر مضبوطة تبلغ 45 درجة مئوية.
• يساعد في تقليل تكثف النواتج الثانوية للعملية.
• يدعم ظروفًا حرارية داخلية أكثر استقرارًا.
• يقلل من خطر تأثير الترسب على أسطح الاستشعار الحساسة.

القيمة الهندسية:

يعالج خزان التجميع والتصميم المسخّن جوانب مختلفة من تلوث العملية. يدير خزان التجميع النواتج الثانوية المتراكمة، بينما يساعد التسخين في تقليل التكثف.

يعتمد العمر التشغيلي الفعلي على كيمياء العملية ومعدل الترسب وضغط التشغيل وظروف الصيانة.

04 | الأداء الحراري والحدود البيئية

تؤثر الظروف الحرارية على استقرار القياس عند الضغط المنخفض. تحدد المعلمات التالية بيئة التشغيل والحساسية الحرارية.

المعلمة الحرارية	المواصفة
درجة حرارة المستشعر	مضبوطة عند 45 درجة مئوية
درجة حرارة التشغيل المحيطة	من 15 إلى 40 درجة مئوية
وقت الإحماء	4 ساعات
معامل درجة حرارة الصفر	0.005% من النطاق الكامل/درجة مئوية
معامل درجة حرارة النطاق الكامل	0.02% من القراءة/درجة مئوية

توصيات إدارة درجة الحرارة:

• حافظ على درجة الحرارة المحيطة بين 15 و40 درجة مئوية.
• اترك أربع ساعات للاستقرار الحراري بعد بدء التشغيل.
• تجنب التغيرات المفاجئة في درجة الحرارة حول المستشعر.
• افحص استقرار الصفر بعد فترة الإحماء.
• قيم تغير النطاق الكامل عند تغير درجة الحرارة المحيطة.

تشير قيمة 45 درجة مئوية إلى درجة حرارة المستشعر المضبوطة. ولا تمثل درجة الحرارة المحيطة المسموح بها.

05 | الواجهة الكهربائية والإشارة التناظرية

يوفر الجهاز مخرجًا لجهد تناظري لأنظمة مراقبة الضغط الخارجية. ويستخدم موصل D-sub بـ 15 دبوسًا أجهزة قفل لولبية.

المعلمة الكهربائية	المواصفة
مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر
نسبة تفاوت الإمداد	±5%
التيار الأقصى	0.25 أمبير
المخرج التناظري	من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر
حمل المخرج	>10 كيلو أوم
الموصل	D-sub بـ 15 دبوسًا
قفل الموصل	أقفال لولبية
نقاط التبديل	لا يوجد
مؤشر LED لحالة السخان	غير متوفر

مرجع القياس التناظري

بافتراض مخرج تناظري خطي 0-10 فولت تيار مستمر عبر نطاق 0-0.1 تور:

جهد المخرج	الضغط المكافئ
0 فولت	0 تور
2.5 فولت	0.025 تور
5 فولت	0.05 تور
7.5 فولت	0.075 تور
10 فولت	0.1 تور

استخدم دالة النقل الخاصة بالشركة المصنّعة للقياس النهائي للنظام. وأكد سلوك الصفر والنطاق الكامل أثناء التشغيل التجريبي.

تكامل نظام التحكم المنطقي القابل للبرمجة (PLC) ونظام التحكم:

• استخدم قناة إدخال تناظرية متوافقة 0-10 فولت.
• وفر مصدر طاقة ثنائي القطب ±15 فولت تيار مستمر المطلوب.
• حافظ على معاوقة الإدخال فوق 10 كيلو أوم.
• تحقق من تعيينات دبابيس الموصل قبل التوصيل.
• ثبّت موصل D-sub باستخدام براغي القفل الخاصة به.
• افحص ترتيبات التأريض والحجب.

06 | وصلة العملية والبناء الميكانيكي

تستخدم حدود الضغط مواد إنكونيل ملامسة للوسط. ويتميز الجهاز بوصلة عملية أنثى 8 VCR.

المعلمة الميكانيكية	المواصفة
المواد الملامسة للوسط	إنكونيل
وصلة العملية	8 VCR أنثى
الحجم الداخلي	6.3 سم مكعب
قطر الجسم	3.15 بوصة (80.0 مم)
ارتفاع الجسم	3.87 بوصة (98.4 مم)
طول الساق	1.38 بوصة (35.1 مم)
معايرة التركيب	أفقي

اعتبارات التركيب:

• أكد اتجاه التركيب الأفقي.
• افحص المساحة المتاحة حول جسم المستشعر.
• طابق وصلة العملية مع مجموعة VCR الموجودة.
• افحص أسطح الختم قبل التركيب.
• تجنب التحميل الميكانيكي على وصلة الضغط.
• أكد توافق مواد العملية قبل التشغيل.

07 | سير عمل التركيب والتشغيل التجريبي

التحضير الميكانيكي

1. تحقق من الطراز الكامل ونطاق القياس.
2. أكد أن التركيب يتطلب معايرة أفقية.
3. افحص وصلة 8 VCR الأنثى.
4. افحص خط العملية بحثًا عن أي تلوث.
5. ركّب مكونات ختم VCR المناسبة.
6. ثبّت الجهاز دون إجهاد ميكانيكي مفرط.

التحضير الكهربائي

1. تحقق من مصدر الطاقة ±15 فولت تيار مستمر.
2. أكد قطبية الإمداد ونسبة تفاوت الجهد.
3. افحص موصل D-sub بـ 15 دبوسًا.
4. افحص توصيلات المخرج التناظري.
5. تحقق من معاوقة الإدخال المستقبلة.
6. ثبّت براغي قفل الموصل.

تسلسل التشغيل التجريبي

1. طبّق مصدر الطاقة المحدد.
2. اترك أربع ساعات على الأقل للاستقرار الحراري.
3. أكد بقاء درجة الحرارة المحيطة ضمن الحدود.
4. افحص مخرج الصفر في ظروف مرجعية مناسبة.
5. طبّق نقاط ضغط معروفة باستخدام معدات معايرة.
6. قارن المخرج المقاس بالقيم المتوقعة.
7. تحقق من قياس الضغط في نظام التحكم المستقبل.
8. سجّل نتائج التشغيل التجريبي للرجوع إليها مستقبلاً.

08 | الصيانة وإدارة تلوث العملية

تتطلب تطبيقات الحفر اهتمامًا إضافيًا بتراكم النواتج الثانوية للعملية. يجب أن تأخذ الصيانة الروتينية في الاعتبار أداء الضغط وظروف التلوث.

نقاط الفحص الموصى بها:

• راقب قراءات الضغط بحثًا عن أي انحراف تدريجي.
• افحص ظروف خط العملية بحثًا عن ترسب مفرط.
• افحص الوصلات الخارجية بحثًا عن أي تسرب.
• تحقق من الاستقرار الحراري بعد بدء تشغيل المعدات.
• راجع سجلات التحقق من الصفر والنطاق الكامل.
• اتبع إجراءات MKS للتنظيف الداخلي والصيانة.

تحذير الصيانة:

لا تفتح مجموعة الاستشعار أو تنظفها ميكانيكيًا دون إجراءات صيانة معتمدة. يمكن أن يؤدي التعامل غير الصحيح إلى تلف المكونات الداخلية الحساسة.

09 | التوافق واختيار البديل

تدعم عائلة E27H تطبيقات الاستبدال التي تتضمن عائلات مقاييس باراترون الأقدم، بما في ذلك تكوينات 127 و627 وE27.

لا يضمن بيان القابلية للتبديل هذا التوافق مع كل تركيب قديم.

العائلة القديمة	التحقق من الاستبدال
سلسلة 127	افحص نطاق الضغط والتركيب والواجهة الكهربائية.
سلسلة 627	تحقق من تكوين التسخين ووصلة العملية.
سلسلة E27	قارن تصميم المستشعر والمعايرة ومتطلبات الإشارة.

قبل الطلب، أكد ما يلي:

• نطاق الضغط الأصلي ونوع قياس الضغط.
• متطلب المعايرة الأفقية.
• ظروف التعرض لعملية الحفر والنواتج الثانوية.
• توافق وصلة 8 VCR الأنثى.
• توفر طاقة ±15 فولت تيار مستمر.
• توافق الإدخال التناظري 0-10 فولت تيار مستمر.
• موصل D-sub بـ 15 دبوسًا وتكوين التوصيلات.
• الدقة والمواصفات الحرارية المطلوبة.

بالنسبة للمعدات القديمة، قارن رموز الطراز الكامل بدلاً من الاعتماد على أسماء العائلات وحدها.

10 | الامتثال والتعبئة وشروط التوريد

معلومات الامتثال

• متوافق مع CE.
• الشركة المصنّعة: MKS Instruments.
• عائلة المنتج: E27H، سلسلة 600.

تعتمد الإقرارات المعمول بها والوثائق الداعمة على التكوين المورّد.

مرجع الحزمة القياسية

• 1 × مستشعر الحفر المسخّن باراترون MKS Instruments E27H.1TBD5B.
• معلومات تحديد المنتج، حيثما تتوفر.
• ملحقات ووثائق إضافية، تخضع لتأكيد الطلب.

تتطلب كابلات الطاقة والموصلات المتوافقة وشهادات المعايرة تأكيدًا منفصلاً.

شروط الضمان

• فترة الضمان: 12 شهرًا للمنتجات المعمول بها.
• التغطية: مشكلات التصنيع أو جودة المنتج المشمولة في شروط الضمان المتفق عليها.
• الدعم: تواصل مع فريق المبيعات لدينا للحصول على إجراءات الفحص والضمان.
• التحقق: تخضع أهلية الضمان لاتفاقية الطلب والتوريد المؤكدة.

الشحن الدولي

• FedEx: توصيل سريع دولي.
• UPS: خدمات الطرود والشحن السريع الدولي.
• DHL: توصيل سريع دولي.

تعتمد طرق الشحن وجداول الإرسال على حالة المخزون والوجهة.

11 | الأسئلة الشائعة

س1: لماذا تتطلب عملية الحفر تصميمًا مخصصًا لمستشعر الضغط؟

يمكن أن تولد عمليات الحفر غازات تفاعلية ونواتج ثانوية صلبة. وقد تتراكم هذه المواد داخل ممرات استشعار الضغط.

يساعد التكوين المخصص للحفر في إدارة الترسب من خلال خزان التجميع المدمج وتصميم المستشعر المسخّن. وهذا يقلل من مخاطر القياس المرتبطة بالتلوث.

س2: ما الغرض الهندسي من حوض التجميع المدمج؟

يوفر حوض التجميع المدمج منطقة مخصصة لإدارة تراكم النواتج الثانوية للعملية. ويشكل جزءًا من تصميم حاجز النقش الحاصل على براءة اختراع.

يجب على المهندسين الاستمرار في تقييم كيمياء العملية ومعدلات الترسيب. لا يلغي حوض التجميع كل حالات التلوث أو متطلبات الصيانة.

س3: هل يمكن تشغيل الجهاز مع نظام مراقبة خارجي عبر إيثرنت؟

تحدد المواصفات الكهربائية المرفقة مخرجًا تماثليًا بجهد 0-10 فولت تيار مستمر عبر موصل D-sub بـ 15 دبوسًا.

تتطلب المراقبة الخارجية عبر إيثرنت جهاز PLC متوافقًا أو جهازًا لاكتساب البيانات أو بوابة اتصال. تحقق من خيارات الاتصال الدقيقة للتكوين المطلوب قبل التكامل.

س4: ما الذي يجب على المهندسين فحصه إذا أصبح استجابة الضغط أبطأ بعد تشغيل النقش لفترة طويلة؟

افحص خط ضغط العملية بحثًا عن تراكم النواتج الثانوية والقيود المحتملة. راجع وصلة الضغط وصمامات عزل النظام.

تحقق أيضًا من الاستقرار الحراري وقارن المخرج بمرجع معاير. لا تستبدل المستشعر على الفور قبل فحص مسار الضغط بالكامل.

س5: كيف يجب على المشترين الاختيار بين E27H وجهاز باراترون قياسي مدفأ؟

ضع في اعتبارك كيمياء العملية وترسيب النواتج الثانوية المتوقع أولًا. قد تناسب النماذج القياسية المدفأة بيئات قياس الضغط الأكثر نظافة.

يوفر تكوين E27H حاجز نقش وحوض تجميع مدمجين للتطبيقات المعرضة للترسيب. يجب على المشترين أيضًا تأكيد نطاق 0.1 تور، والمعايرة الأفقية، والتكوين الكهربائي.

لمشاريع الاستبدال، قدم لوحة الاسم الأصلية وطراز المعدات. يساعد ذلك في التحقق من التكوين الصحيح قبل الشراء.

لماذا تختار Ubest Automation؟

توفر Ubest Automation أجهزة صناعية ومكونات أتمتة لصناعات أشباه الموصلات والعمليات.

• توفير المنتجات: دعم لمنتجات قياس الضغط من MKS Instruments.
• التحقق من الطراز: المساعدة في أكواد الطلب والتكوينات الفنية.
• الفحص قبل الشحن: فحص المنتجات قبل الإرسال، حسب التوفر ومتطلبات الاختبار.
• الضمان: ضمان لمدة 12 شهرًا للمنتجات المشمولة.
• التسليم العالمي: خيارات الشحن عبر FedEx وUPS وDHL.
• الدعم الفني: المساعدة في تحديد البديل والتحقق من الواجهة.

اطلب عرض أسعار لـ MKS E27H.1TBD5B.

أرسل إلينا رقم الطراز الكامل ومتطلبات المعدات. يمكن لفريقنا المساعدة في التحقق من التكوين والتسعير وترتيبات التسليم.

البريد الإلكتروني: sales@ubestplc.com

الموقع الإلكتروني: www.ubestplc.com

Tags