E29H.1TBFL1B MKS E29H مقياس باراترون للحفر

MKS E29H.1TBFL1B | محول ضغط باراترون بحساس حفر مسخّن

تفرض بيئات عمليات الحفر متطلبات صارمة على قياس ضغط الفراغ. يمكن أن تتراكم النواتج الثانوية للعملية على أسطح الاستشعار المكشوفة وتؤثر على استقرار الصفر على المدى الطويل.

يعالج MKS Instruments E29H.1TBFL1B هذا التحدي بتصميم متخصص لحساس الحفر المسخّن. ينتمي إلى سلسلة MKS E29H (سلسلة 600) ويوفر قياسًا للضغط المطلق عبر نطاق كامل مقداره 0.1 تور.

يحافظ الجهاز على درجة حرارة المستشعر عند 100 درجة مئوية. ويساعد هيكل الصرف المدمج الحاصل على براءة اختراع في حماية غشاء الاستشعار من ترسب النواتج الثانوية للعملية. يدعم هذا التصميم تطبيقات الحفر المتطلبة في صناعة أشباه الموصلات.

يوفر محول الضغط مخرجًا تناظريًا 0-10 فولت تيار مستمر عبر موصل D-sub بـ9 دبابيس. ويدعم موصل العملية الأنثوي 8 VCR الخاص به توصيلات الفراغ عالية النقاء المتوافقة.

يوفر E29H.1TBFL1B أيضًا توافقًا كاملًا مع مقاييس الضغط MKS 629 وE29 Baratron الأقدم، وفقًا لمواصفات المنتج المرفقة.

01 | هوية المنتج وتحديد موقعه الهندسي

التعريف	المواصفة
الشركة المصنّعة	MKS Instruments
الموديل الكامل	E29H.1TBFL1B
عائلة المنتج	سلسلة E29H
المنصة	سلسلة 600
نوع المنتج	محول ضغط باراترون بحساس حفر مسخّن
مبدأ القياس	مقياس ضغط سعوي
مرجع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل	0.1 تور
درجة حرارة المستشعر المتحكّم فيها	100 درجة مئوية
اتجاه المعايرة	عمودي
توصيل العملية	8 VCR أنثوي
التوصيل الكهربائي	D-sub بـ9 دبابيس مع أقفال اللولب
حماية الحفر	صرف مدمج حاصل على براءة اختراع

02 | تقنية حساس الحفر وميزاته الهيكلية

الميزة المميزة لـسلسلة E29H هي تصميمها المتخصص لحساس الحفر. يعالج الصرف المدمج مخاطر التلوث في بيئات العمليات التفاعلية.

ميزة التصميم	الوظيفة الهندسية
مجموعة استشعار مسخّنة	تحافظ على درجة حرارة مستشعر متحكّم فيها تبلغ 100 درجة مئوية.
هيكل حساس الحفر	يعالج تراكم النواتج الثانوية للعملية حول غشاء الاستشعار.
صرف مدمج	يساعد في منع وصول ترسبات العملية إلى غشاء العزل.
مواد إنكونيل الملامسة	يوفر هيكل المواد الملامسة للعملية المحدد.
القياس السعوي	يقيس الضغط المطلق من خلال إزاحة الغشاء.

تصميم حاصل على براءة اختراع: يشتمل الصرف المدمج على تقنية حاصلة على براءة اختراع بموجب براءة الاختراع الأمريكية رقم 5,822,685.

في تطبيقات الحفر، يمكن أن تغير بقايا العملية المترسبة سلوك الغشاء وتساهم في انحراف القياس. يساعد تصميم الصرف في الحد من هذا التعرض ويدعم مراقبة ضغط أكثر اتساقًا.

03 | تفصيل التكوين – هيكل رمز الطلب

يحدد رقم الطلب الكامل عائلة الجهاز ونطاق الضغط والوحدة وتكوين الأجهزة المختارة. تفصل الشجرة التالية المواصفات المؤكدة عن تفسيرات الرموز التي تتطلب وثائق الشركة المصنّعة الأصلية.

قطاع الرمز	فئة التكوين	التعريف
E29H	عائلة المنتج	عائلة MKS Baratron بحساس الحفر المسخّن
.1	رمز النطاق الكامل	تكوين نطاق 0.1 تور
T	وحدة الضغط	تور
B	رمز التكوين الحراري	يتطلب التأكيد مقابل جدول رموز الطلب الأصلي؛ تنص المواصفات المرفقة على 100 درجة مئوية
F	رمز توصيل العملية	تنص المواصفات المرفقة على 8 VCR أنثوي
L1B	التكوين الكهربائي وتكوين المصنع	تنص المواصفات المرفقة على D-sub بـ9 دبابيس ومعايرة عمودية

رقم الطلب الكامل:

• E29H – عائلة منتجات حساس الحفر المسخّن
• .1T – نطاق ضغط 0.1 تور
• B – رمز تكوين يتطلب التحقق من الشركة المصنّعة
• F – تكوين توصيل مرتبط بالمواصفة المرفقة 8 VCR أنثوي
• L1B – معرف إضافي للتكوين الكهربائي وتكوين المصنع

ملاحظة الطلب: لا تستنتج درجة حرارة السخان أو عدد دبابيس الموصل أو اتجاه المعايرة من أحرف اللاحقة الفردية وحدها. أكّد هذه التفاصيل مقابل وثائق طلب الشركة المصنّعة الكاملة.

04 | أداء القياس والدقة

يدعم تكوين الاستشعار منخفض النطاق مراقبة دقيقة للضغط المطلق. تتضمن دقته المحددة اللاخطية والتخلف واللا تكرارية.

معلم القياس	المواصفة
نوع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل	0.1 تور
الدقة	0.50% من القراءة
مكونات الدقة	اللاخطية والتخلف واللا تكرارية
الوضوح	0.001% من النطاق الكامل
الوضوح المكافئ	0.000001 تور
درجة حرارة المستشعر	100 درجة مئوية متحكّم فيها
وقت الإحماء	4 ساعات
اتجاه المعايرة	عمودي

تفسير القياس: تصف مواصفة 0.50% من القراءة الدقة. تصف قيمة 0.001% من النطاق الكامل الوضوح. لا يمثل الوضوح دقة قياس مضمونة.

05 | الخصائص الحرارية وظروف التشغيل

يحافظ التجميع المسخّن على درجة حرارة مستشعر متحكّم فيها تبلغ 100 درجة مئوية. يدعم هذا الترتيب الحراري استقرار القياس في بيئات عمليات أشباه الموصلات.

المعلم الحراري	القيمة
درجة حرارة المستشعر المتحكّم فيها	100 درجة مئوية
درجة حرارة التشغيل المحيطة	15 إلى 40 درجة مئوية
وقت الإحماء	4 ساعات
معامل درجة حرارة الصفر	0.01% من النطاق الكامل/درجة مئوية
معامل درجة حرارة النطاق	0.02% من القراءة/درجة مئوية

اعتبار هندسي: تختلف درجة حرارة المستشعر الداخلية عن درجة الحرارة المحيطة المحيطة. حافظ على النطاق المحيط المحدد أثناء التشغيل.

06 | الواجهة الكهربائية وخصائص الإشارة

يستخدم الجهاز مخرجًا تناظريًا قائمًا على الجهد. يدعم التكامل مع وحدات الإدخال التناظرية المتوافقة لوحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة وأنظمة الحصول على البيانات الصناعية.

المعلم الكهربائي	المواصفة
مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر، ±5%
التيار الأقصى	0.50 أمبير
المخرج التناظري	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
حمل المخرج	أكبر من 10 كيلو أوم
الموصل الكهربائي	D-sub بـ9 دبابيس
احتفاظ الموصل	أقفال اللولب
مخرجات نقطة التبديل	غير متوفر
مؤشر LED لحالة السخان	غير متوفر

توصيات التكامل:

• وفر مصدر طاقة منظم ±15 فولت تيار مستمر.
• تحقق من التيار المتاح قبل التركيب.
• استخدم إدخالًا تناظريًا متوافقًا مع إشارات 0-10 فولت تيار مستمر.
• حافظ على معاوقة إدخال أعلى من 10 كيلو أوم.
• افحص تعيين دبابيس D-sub بـ9 دبابيس قبل التوصيل.
• طبق ممارسات حجب الإشارة والتأريض المناسبة.
• لا تتوقع مخرجات مرحّل أو مؤشرًا محليًا لحالة السخان.

07 | واجهة العملية والبناء الميكانيكي

يدعم التوصيل الأنثوي 8 VCR توصيل أنابيب غاز العملية عالي النقاء. يشكل الإنكونيل هيكل المواد الملامسة المحدد.

المعلم الميكانيكي	المواصفة
مقبس العملية	8 VCR أنثوي
المواد الملامسة	إنكونيل
الحجم الداخلي	6.3 سنتيمتر مكعب
حد الضغط الزائد	45 رطل/بوصة مربعة (310 كيلو باسكال)
قطر الجسم	3.15 بوصة (80.0 مم)
ارتفاع الجسم	3.87 بوصة (98.4 مم)
طول الساق	1.38 بوصة (35.1 مم)
الامتثال	متوافق مع CE

التركيب الميكانيكي: تحقق من توافق المقبس وأسطح الختم وخلوص التركيب. استخدم مكونات توصيل VCR مناسبة لنظام العملية.

08 | إجراءات التركيب والتشغيل

يساعد التركيب الصحيح في الحفاظ على حالة القياس المعايرة. يدعم التسلسل التالي تشغيل المعدات بشكل منهجي.

1. تحقق من الموديل: أكّد رقم الطلب الكامل E29H.1TBFL1B.
2. افحص النطاق: تحقق من متطلب النطاق الكامل 0.1 تور.
3. أكّد الاتجاه: ثبّته وفقًا لمواصفة المعايرة العمودية.
4. افحص المقبس: افحص التوصيل الأنثوي 8 VCR والمكونات المقابلة.
5. جهّز خط العملية: أزل التلوث من أسطح التوصيل.
6. أكمل التركيب الميكانيكي: اتبع إجراء تركيب VCR المناسب.
7. وصّل الطاقة: طبّق إمداد ±15 فولت تيار مستمر المحدد.
8. وصّل الإشارة: تحقق من أسلاك D-sub بـ9 دبابيس وتكوين الإدخال التناظري.
9. اترك وقتًا للاستقرار الحراري: أكمل فترة الإحماء البالغة أربع ساعات.
10. تحقق من القياس: قارن المخرج بمرجع معاير مناسب.

09 | الصيانة وموثوقية العملية

يمكن أن تؤثر نواتج عملية الحفر على أداء استشعار الفراغ. يجب أن تركز الصيانة على نظافة العملية والاستقرار الحراري وسلامة الإشارة.

تركيز الصيانة	الإجراء الهندسي
بقايا الحفر	افحص نظام العملية بحثًا عن ترسب غير طبيعي أو تلوث.
توصيل الفراغ	افحص أسطح ختم VCR وسلامة التوصيل.
استقرار الصفر	تحقق من ضغط المرجع وظروف المعايرة.
الاستقرار الحراري	اترك فترة الإحماء المحددة البالغة أربع ساعات.
السلامة الكهربائية	افحص جهد الإمداد والتأريض والأسلاك التناظرية.
التحقق من القياس	قارن القراءات بجهاز مرجع مستقل.

توصية الخدمة: تجنب تفكيك مجموعة الاستشعار دون تصريح. اتبع إجراءات MKS عند تنظيف الجهاز أو فحصه أو إعادة معايرته.

10 | توافق النظام وتطبيقات الاستبدال

يستهدف E29H.1TBFL1B تطبيقات فراغ أشباه الموصلات التي تتطلب مراقبة الضغط المنخفض تحت ظروف عملية الحفر.

• معدات الحفر بالبلازما لأشباه الموصلات
• أنظمة عملية الحفر الأيوني التفاعلي
• مراقبة ضغط غرفة الفراغ
• معدات غازات عملية أشباه الموصلات
• تجميعات الفراغ عالية النقاء
• أنظمة أجهزة MKS Baratron المتوافقة

التوافق مع الأنظمة القديمة: تحدد المواصفات المرفقة توافقًا كاملًا مع مقاييس الضغط MKS 629 وE29 الأقدم. تحقق من التكوين الكهربائي والميكانيكي الكامل قبل الاستبدال.

قائمة التحقق للاستبدال:

• أكّد نطاق الضغط الكامل 0.1 تور.
• تحقق من متطلب قياس الضغط المطلق.
• افحص مواصفة درجة حرارة المستشعر 100 درجة مئوية.
• أكّد توصيل العملية الأنثوي 8 VCR.
• طابق الواجهة الكهربائية D-sub بـ9 دبابيس.
• تحقق من متطلب الطاقة ±15 فولت تيار مستمر.
• حافظ على اتجاه المعايرة العمودي.

11 | الشهادات والامتثال

• الامتثال لـ CE: الموديل المحدد متوافق مع CE.
• قياس الضغط: قياس سعوي مطلق.
• بناء العملية: مواد إنكونيل ملامسة.
• توصيل العملية: 8 VCR أنثوي.
• تصميم الحفر الحاصل على براءة اختراع: براءة الاختراع الأمريكية رقم 5,822,685.

اطلب إقرار الشركة المصنّعة المناسب والوثائق الفنية الداعمة عندما يتطلب مشروعك تحققًا رسميًا من الامتثال.

12 | خمسة أسئلة شائعة هندسية احترافية

س1: لماذا يحتاج محول ضغط مخصص للحفر إلى صرف مدمج؟

ج: يمكن أن تولد عمليات الحفر نواتج ثانوية تنتقل عبر نظام الفراغ. يساعد الصرف المدمج في الحد من تراكمها على غشاء العزل. هذا يقلل من أحد المصادر المحتملة لانحراف القياس ومشاكل الصيانة.

س2: ما الذي يجب على المهندسين مراعاته عند استبدال جهاز MKS 629 أو E29 أقدم؟

ج: افحص ترتيب التركيب، وأبعاد المقبس، وتوزيع الدبابيس الكهربائية، ونطاق الضغط، ومتطلبات الإشارة التناظرية. التوافق القديم المذكور لا يلغي الحاجة إلى التحقق من تكوين النظام المثبت.

س3: كيف يجب على فرق الصيانة التحقيق في انحراف الصفر التدريجي في غرفة الحفر؟

ج: أولًا، افحص تلوث العملية وسلامة توصيل الفراغ. ثم تحقق من فترة الإحماء وقارن القراءة بمرجع مستقل. تجنب افتراض أن كل انزياح في الصفر يشير إلى فشل إلكتروني.

س4: هل E29H مناسب للتطبيقات التي تتطلب مؤشرًا محليًا جاهزًا للسخان؟

ج: هذا التكوين لا يتضمن مؤشر LED لحالة السخان. إذا كان المشغلون يحتاجون إلى مؤشر محلي للسخان، فاختر موديلًا بوظيفة مؤشر مؤكدة أو وفر حل مراقبة خارجي مناسبًا.

س5: كيف يجب على فرق المشتريات الاختيار بين E29H وBaratron مسخّن قياسي؟

ج: فكر في كيمياء العملية وخطر الترسيب أولًا. يوفر هيكل استشعار مخصص للحفر ميزة تصميمية حيث تهدد النواتج الثانوية للعملية نظافة الغشاء. قارن أيضًا النطاق، ودرجة حرارة المستشعر، والمقابس، والدقة، والتكوين الكهربائي.

13 | الشروط التجارية ومعلومات الطلب

نحن ندعم صيانة معدات أشباه الموصلات، واستبدال أجهزة الفراغ، ومشتريات الأتمتة الصناعية.

المعلومات التجارية	التفاصيل
الشركة المصنّعة	MKS Instruments
الطراز	E29H.1TBFL1B
السلسلة	E29H / 600
نوع المنتج	مستشعر باراترون مسخّن للحفر
نطاق القياس	0.1 تور
درجة حرارة المستشعر	100 درجة مئوية
وصلة العملية	8 VCR أنثى
الضمان	12 شهرًا
طرق الشحن	FedEx / UPS / DHL

ضمان لمدة 12 شهرًا: نقدم ضمانًا لمدة 12 شهرًا ضد عيوب المنتج المشمولة، وفقًا لشروط البيع وشروط الضمان المتفق عليها.

التسليم الدولي: ندعم خيارات الشحن عبر FedEx وUPS وDHL. تعتمد ترتيبات التسليم على الوجهة وتأكيد الطلب.

طلب عرض أسعار: تواصل مع فريق المبيعات لدينا للحصول على الأسعار وتوافر المنتج ومدة التوريد والدعم الفني. يرجى تقديم رقم الطراز الكامل ومتطلبات العملية للمساعدة في التحقق من التكوين الصحيح.

Tags