E28H11TDE2B MKS Instruments محول ضغط للنقش من سلسلة 600

MKS Instruments E28H11TDE2B – مستشعر باراترون للحتّ مسخّن بدرجة حرارة 100°C

يُعد E28H11TDE2B مستشعر ضغط مطلق مسخّن بدرجة حرارة 100°C من سلسلة MKS Instruments E28H 600. ويستخدم تقنية الحجاب الحاجز السعوي لقياس الضغوط المطلقة المنخفضة بدقة تكرار عالية.

صُمم هذا المستشعر لتطبيقات الحتّ في صناعة أشباه الموصلات، ويحافظ على درجة حرارة مستشعر محكومة لدعم قياس ضغط مستقر. ويتميز حاجز الحتّ المدمج الحاصل على براءة اختراع بتصميم حوض يساعد على حماية منطقة الاستشعار في بيئات العمليات الصعبة.

توفر الوحدة مخرجًا تناظريًا بجهد 0–10 فولت تيار مستمر، ولا تحتوي على نقاط تشغيل مدمجة. ويوفر مؤشر LED لحالة السخان إشارة محلية لعمل السخان. ويدعم وصلة NW16 ISO-KF الاتصال بخطوط الفراغ المتوافقة.

01 | تفصيل التكوين

يحدد رمز الطلب عائلة المستشعر ونطاق الضغط والوصلة والاتصال الكهربائي وخيارات التكوين. يستند التفصيل التالي إلى معلومات التكوين المقدمة. تتطلب تعريفات اللاحقة المتعلقة بالمعايرة التأكيد بمقارنتها بوثائق رموز الطلب الرسمية لشركة MKS.

جزء الرمز	التكوين	التفسير المقدم
E28H	عائلة المنتج	مستشعر باراترون للحتّ E28H مسخّن بدرجة حرارة 100°C
11T	نطاق الضغط	10 تور كامل النطاق
D	الوصلة	اتصال NW16 ISO-KF
E	خيار التكوين	يربط وصف الرمز المقدم هذا الجزء بخيارات الدقة والمعايرة. يتطلب المعنى الدقيق التأكيد.
2	الموصل الكهربائي	D-sub بـ 15 دبوسًا مع أقفال اللولب
B	خيار المعايرة	يشير وصف الرمز المقدم إلى معايرة أفقية، وهو ما يتعارض مع مواصفات المنتج التي تنص على معايرة عمودية.

التحقق من التكوين: تنص المواصفة الفنية المقدمة على معايرة عمودية. ويحدد شرح اللاحقة معايرة أفقية للجزءين E وB. هذه التفاصيل غير متسقة ويجب التحقق منها بمقارنتها بسجل الطلب الكامل للمصنّع قبل الاستبدال أو التركيب.

02 | أداء القياس

المعلمة	المواصفة
نوع القياس	الضغط المطلق
نطاق كامل النطاق	10 تور
درجة حرارة المستشعر	محكومة عند 100°C
الدقة	0.25% من القراءة، بما في ذلك اللاخطية والتخلف وعدم التكرار
الدقة التحليلية	0.001% من كامل النطاق
وقت الإحماء	ساعتان
اتجاه المعايرة	عمودي، وفقًا للمواصفة الفنية المقدمة
حالة السخان	مؤشر LED
نقاط التشغيل	لا يوجد؛ مخرج تناظري فقط

03 | الواجهة الكهربائية ومخرج الإشارة

المعلمة	المواصفة
مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر، ±5%
التيار الأقصى	0.60 أمبير
المخرج التناظري	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
حمل المخرج	أكبر من 10 كيلو أوم
الموصل	D-sub بـ 15 دبوسًا مع أقفال اللولب
نوع الإشارة	مخرج جهد تناظري

يسمح المخرج بجهد 0–10 فولت تيار مستمر بالاتصال بمعدات مراقبة العمليات والتحكم المتوافقة. تأكد من نطاق إدخال الجهاز المستقبِل ومتطلبات التأريض قبل التوصيل.

04 | وصلة الفراغ وبنية المستشعر

المعلمة	المواصفة
الوصلة	NW16 ISO-KF
المواد الملامسة	إنكونيل
الحجم الداخلي	6.3 سنتيمتر مكعب
حد الضغط الزائد	45 رطلًا مربعًا على البوصة المطلقة (310 كيلو باسكال) أو 120% من كامل النطاق، أيهما أكبر
حاجز الحتّ	تصميم حوض مدمج حاصل على براءة اختراع
مرجع براءة الاختراع	براءة الاختراع الأمريكية رقم 5,822,685

صُمم حاجز الحتّ المدمج بنمط الحوض لبيئات عمليات الحتّ. ويوفر الهيكل المصنوع من الإنكونيل الملامس للوسط الواجهة المادية المحددة للتعرض للعمليات. ومع ذلك، ينبغي تقييم التوافق مع العملية وفقًا للكيمياء الفعلية للغاز وظروف التشغيل.

05 | البيانات الحرارية والميكانيكية

المعلمة	المواصفة
درجة حرارة التشغيل	15 إلى 40°C
معامل درجة حرارة الصفر	0.002% من كامل النطاق/°C
معامل درجة حرارة المدى	0.02% من القراءة/°C
القطر	3.15 بوصة (80.0 مم)
ارتفاع الجسم	3.87 بوصة (98.4 مم)
طول الساق	1.38 بوصة (35.1 مم)

06 | ملاحظات الاختيار الهندسي والتركيب

• نطاق الضغط: تأكد من أن نطاق كامل النطاق البالغ 10 تور يتوافق مع نطاق ضغط العملية. تجنب اختيار نطاق بناءً على أقصى ضغط للنظام فقط.
• اتجاه التركيب: تحقق من اتجاه المعايرة المطلوب قبل التركيب. تنص المواصفة المقدمة على معايرة عمودية.
• تشغيل السخان: اترك حوالي ساعتين للإحماء قبل الاعتماد على أداء القياس.
• التوافق الكهربائي: تحقق من مصدر ±15 فولت تيار مستمر، وسعة التيار، ومدخل 0–10 فولت تيار مستمر، وترتيب موصل الـ 15 دبوسًا.
• واجهة الفراغ: تأكد من أن النظام يستخدم اتصال NW16 ISO-KF وأن مكونات الختم متوافقة.
• التعرض للعملية: راجع كيمياء الغاز والرواسب وإجراءات التنظيف قبل استخدام المستشعر في غرفة الحتّ.

07 | التوافق مع الاستبدال

يُحدد E28H11TDE2B على أنه قابل للاستبدال بعائلات مقاييس الضغط باراترون السابقة من MKS، بما في ذلك:

• MKS 128 Series
• MKS 628A Series
• MKS 628B Series
• MKS 628D Series
• MKS E28B Series
• MKS E28D Series
• MKS E28F Series

لا ينبغي التعامل مع قابلية الاستبدال على أنها توافق تلقائي للتشغيل بمجرد التوصيل. قبل استبدال وحدة مركّبة، قارن نطاق الضغط والوصلة واتجاه التركيب وتوزيع دبابيس الموصل ومصدر الطاقة وإشارة المخرج ومتطلبات المعايرة.

08 | معلومات الامتثال والتوريد

• المصنّع: MKS Instruments
• السلسلة: E28H / 600 Series
• الطراز: E28H11TDE2B
• الامتثال: متوافق مع CE
• الحالة: جديد وأصلي في عبوة المصنع
• الضمان: ضمان المصنع: 12 شهرًا
• الشحن: FedEx وUPS وDHL متاحة

09 | رؤية هندسية عالمية لمركز قطع الغيار PLC

عند اختيار E28H11TDE2B، ينبغي للمهندسين إيلاء اهتمام خاص لتصميم المستشعر المسخّن واتجاه التركيب. يحدد درجة حرارة المستشعر المحكومة عند 100°C ونطاق القياس البالغ 10 تور والمخرج بجهد 0–10 فولت تيار مستمر متطلبات تكامله الرئيسية.

يُعد حاجز الحتّ المدمج بنمط الحوض ميزة تكوين مهمة لتطبيقات عمليات أشباه الموصلات. في مشاريع الاستبدال، تحقق من رمز الطراز الكامل والواجهة الكهربائية بدلاً من الاعتماد على اسم السلسلة وحده. ينبغي أيضًا حل التناقض في اتجاه المعايرة في وصف اللاحقة المقدم قبل الطلب.

10 | الأسئلة الشائعة

س1: ما المعلومات التي ينبغي تقديمها عند طلب عرض سعر للاستبدال؟

قدم رقم الطراز الكامل وتطبيق المعدات ونطاق الضغط ونوع الوصلة وتفاصيل الموصل وصورة للوحة الاسمية المركّبة. تساعد هذه التفاصيل في التحقق من التكوين المطلوب قبل الشحن.

س2: هل يمكن تركيب هذا المستشعر في نظام يستخدم حاليًا طراز باراترون مختلفًا؟

من المحتمل. تُحدد العائلات القديمة المدرجة على أنها قابلة للاستبدال، ولكن يجب التحقق من التوافق الميكانيكي والكهربائي والمعايرة للتركيب الفعلي. نطاق الضغط المتطابق وحده ليس كافيًا.

س3: ما الذي ينبغي التحقق منه إذا انحرف قياس الضغط بعد التركيب؟

تحقق من وقت الإحماء واتجاه التركيب واستقرار المصدر والتأريض وتلوث العملية وتكوين إدخال الجهاز المستقبِل. قارن المخرج بمرجع مناسب قبل ضبط عناصر تحكم النظام.

س4: هل مستشعر بـ 10 تور مناسب لكل عملية حتّ منخفضة الضغط؟

لا. يعتمد النطاق الصحيح على ضغط التشغيل العادي والتقلبات العملية ودقة القياس المطلوبة. راجع نطاق الضغط المتوقع ومتطلبات نظام التحكم قبل اختيار النطاق.

س5: هل يوفر E28H11TDE2B إنذارات مرحّلّة لحدود الضغط؟

لا. تحدد المواصفة المقدمة هذا الطراز على أنه مخرج تناظري فقط، دون نقاط تشغيل. إذا كان التطبيق يتطلب تبديل إنذار مستقل، استخدم وحدة تحكم خارجية متوافقة أو نظام مراقبة.

Tags