SEC-Z512 SEC-Z500X وحدة تحكم في التدفق الكتلي لعدة غازات من HORIBA STEC

Manufacturer: HORIBA
Product No.: SEC-Z512
Condition： متوفر بالمخزون
Product Type: وحدة التحكم في التدفق
Product Origin: USA
Payment: T/T, Western Union
Weight: 500g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months

الكمية

Selected quantity: 1

تقدير أوقات التسليم: 12-26 يومًا (دوليًا)، 3-6 أيام (الولايات المتحدة).

يجب الإرجاع خلال 30 يومًا من الشراء. الرسوم والضرائب غير قابلة للاسترداد.

دفع آمن ومضمون

HORIBA STEC SEC-Z512 | وحدة تحكم رقمية متعددة الغازات في التدفق الكتلي

تُعد HORIBA STEC SEC-Z512 وحدة تحكم رقمية دقيقة في التدفق الكتلي من سلسلة SEC-Z500X. وهي تنظم إمداد غاز العملية في تصنيع أشباه الموصلات والتطبيقات الصناعية المتقدمة.

يجمع تصميمها المدمج بين قياس التدفق الكتلي الحراري والتحكم في الصمام بالاعتماد على التقنية الكهروضغطية. تدعم وحدة التحكم أنواعًا متعددة من الغازات ونطاقات تدفق كاملة النطاق قابلة للاختيار. ويمكن للمهندسين إعادة تكوين إعدادات الغاز والنطاق المتوافقة في الموقع.

توفر SEC-Z512 زمن استجابة يبلغ ≤1 ثانية (T98). ويدعم واجهتها التناظرية نقطة الضبط وإشارات القياس القائمة على الجهد الكهربائي. كما توفر واجهة RS-485 F-Net خيارًا إضافيًا للتواصل الرقمي.

بفضل الأسطح الملامسة للغاز المصنوعة من SUS316L المصقولة ووصلات VCR مقاس 1/4 بوصة، يناسب هذا الطراز تجميعات إمداد الغاز الدقيقة. وتشمل التركيبات النموذجية لوحات غاز أشباه الموصلات، ومعدات الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، وأنظمة النقش، وعمليات الترسيب.

01 | الهوية الهندسية وملف الأداء

الشركة المصنعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z512
عائلة المنتج	سلسلة SEC-Z500X
فئة المنتج	وحدة تحكم رقمية في التدفق الكتلي (MFC)
تقنية التحكم	قياس التدفق الكتلي الحراري مع التشغيل الكهروضغطي
تكوين التدفق	متعدد الغازات / متعدد النطاقات
الاتصال	جهد تناظري / RS-485 F-Net
تكوين التسخين	نسخة قياسية غير مسخنة
خيارات الصمام	مفتوح عادةً / مغلق عادةً
وصلة التركيب	وصلة VCR ذكرية مقاس 1/4 بوصة

02 | نطاق التحكم في التدفق

تدعم SEC-Z512 نطاقات كاملة النطاق مكافئة للنيتروجين من 10 SCCM إلى 5.5 SLM. ويحدد تكوين MR/MG المختار السعة المتاحة.

عنصر الأداء	المواصفات
نطاق التدفق كامل النطاق	10 SCCM–5.5 SLM
نطاق التحكم	2–100% من كامل النطاق
الدقة فوق 25% من كامل النطاق	±1.0% من نقطة الضبط
الدقة عند 25% من كامل النطاق أو أقل	±0.25% من كامل النطاق
قابلية التكرار	±0.2% من كامل النطاق
الخطية	±0.5% من كامل النطاق
زمن الاستجابة	≤1 ثانية (T98)

التفسير الهندسي: تتغير مواصفات الدقة مع نقطة التشغيل. فوق 25% من كامل النطاق، تُقاس الدقة بالنسبة إلى نقطة الضبط. وعند معدلات التدفق المنخفضة، تُقاس المواصفات بالنسبة إلى كامل النطاق.

بالنسبة لتطبيقات التدفق المنخفض، ينبغي للمهندسين تقييم الدقة المطلقة لكامل النطاق بدلاً من الاعتماد فقط على الدقة كنسبة مئوية من نقطة الضبط.

03 | توافق الغازات وإعادة التكوين

تدعم SEC-Z512 غازات عملية متعددة من خلال تكوينات متوافقة خاصة بكل غاز.

الغازات الخاملة: النيتروجين (N2)، والأرغون (Ar)، والهيليوم (He)، والهيدروجين (H2).
الغازات المؤكسدة: الأكسجين (O2) وتكوينات العملية الخالية من النيتروز كما هو محدد في إعداد الغاز المختار.
غازات النقش: سداسي فلوريد الكبريت (SF6)، ورباعي فلوريد الكربون (CF4)، وثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3).
غازات الترسيب: السيلان (SiH4)، والفوسفين (PH3)، وسداسي فلوريد التنجستن (WF6)، وبروميد الهيدروجين (HBr).
غازات عملية أخرى: أول أكسيد الكربون (CO)، والإيثيلين (C2H4)، وسداسي فلوريد الإيثان (C2F6).

لا تعني القدرة على التعامل مع غازات متعددة إمكانية تبادل الغازات دون قيود. يتطلب كل غاز معايرة وتكوينًا متوافقين. تحقق من توافق المواد الملامسة للغاز واختيار السدادة قبل تغيير غازات العملية.

04 | البنية الكهربائية وتكامل الإشارات

إشارة نقطة الضبط	0.1–5 VDC
مخرج القياس	0–5 VDC
التواصل الرقمي	بروتوكول RS-485 F-Net
سرعة الاتصال	38,400 بت في الثانية
واجهات الموصل	D-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45
الإمداد الموجب	+15 VDC ±5%، 150 mA
الإمداد السالب	-15 VDC ±5%، 150 mA

تدعم الواجهة التناظرية بنيات التحكم التقليدية القائمة على الجهد الكهربائي. وتوفر واجهة RS-485 اتصالًا رقميًا من خلال بروتوكول F-Net.

قبل توصيل وحدة التحكم، تحقق من توزيع دبابيس الموصل ومرجع الإشارة. لا تفترض التوافق القياسي مع Modbus RTU من واجهة RS-485 الكهربائية وحدها.

05 | البناء الميكانيكي وحدود العملية

أبعاد الهيكل	126 × 64 × 29 مم
ترتيب الأبعاد	الارتفاع × العرض × السماكة
الوصلة القياسية	وصلة VCR ذكرية مقاس 1/4 بوصة
المادة الملامسة للغاز	فولاذ SUS316L المقاوم للصدأ
السطح الداخلي	مصقول كهربائيًا / مصقول قياسي
خيارات السدادة	معدنية أو من الإلاستومر
المشغل	كهروضغطي
درجة حرارة التشغيل	5–50°C
درجة الحرارة الموصى بها	15–45°C
أقصى ضغط تشغيل	450 kPa(g)
فرق ضغط التشغيل	50–300 kPa(d)
مقاومة الضغط	1000 kPa(g)
سلامة تسرب الهيليوم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s

يدعم مسار تدفق SUS316L التعامل المحكوم مع الغاز في معدات أشباه الموصلات. وتدعم سلامة تسرب الهيليوم المحددة متطلبات سلامة خطوط الغاز الصارمة.

يجب أن يتوافق اختيار السدادة المعدنية أو الإلاستومرية مع غاز العملية وظروف التشغيل. تأكد من تكوين السدادة الدقيق قبل الشراء.

06 | اعتبارات التركيب والتشغيل التجريبي

التركيب الميكانيكي

تحقق من مساحة التركيب مقارنة بأبعاد 126 × 64 × 29 مم.
تأكد من وجود وصلات VCR ذكرية مقاس 1/4 بوصة عند واجهة التركيب.
افحص أسطح الإحكام بحثًا عن الخدوش والتلوث بالجسيمات.
استخدم وصلات متوافقة واتبع عزم ربط الوصلة المحدد.
حافظ على ظروف الضغط المطلوبة في المنبع والمصب.

التشغيل الكهربائي التجريبي

وفر إمدادات مستقرة بجهد 15 VDC موجب وسالب.
تحقق من قطبية الإمداد والجهد قبل تشغيل الوحدة.
طابق مخرج PLC التناظري مع نطاق نقطة الضبط 0.1–5 VDC.
قم بتوسيع إشارة القياس 0–5 VDC بشكل صحيح في نظام التحكم.
قم بتكوين اتصال RS-485 بسرعة 38,400 بت في الثانية عند استخدام F-Net.
تحقق من تعيينات دبابيس الموصل قبل توصيل الطاقة.

التحقق الأولي من العملية

تأكد من الغاز المختار والنطاق كامل النطاق.
تحقق من فرق الضغط في ظروف التشغيل الفعلية.
تحقق من مخرج التدفق الصفري قبل إدخال غاز العملية.
طبق عدة نقاط ضبط وراقب الاستجابة المقاسة.
قارن القراءات بجهاز مرجعي مناسب تمت معايرته.

07 | ملاحظات تشخيصية لمهندسي العمليات

تدفق غير مستقر عند نقاط الضبط المنخفضة

تحقق مما إذا كانت نقطة التشغيل تقترب من الحد الأدنى للتحكم. افحص تقلبات ضغط الإمداد وتغيرات الضغط في المصب. تأكد من معايرة الغاز المختار قبل ضبط نظام التحكم.

القراءة التناظرية لا تتطابق مع الجهاز المرجعي

تحقق من توسيع إدخال PLC ومرجع الإشارة. تحقق من نطاق القياس 0–5 VDC. تأكد من أن الجهاز المرجعي يستخدم نفس الغاز وظروف تدفق متوافقة.

فشل اتصال RS-485

افحص الأسلاك وتوزيع دبابيس الموصل وتكوين الشبكة. تأكد من إعداد اتصال 38,400 بت في الثانية. تحقق أيضًا من توافق بروتوكول F-Net في وحدة التحكم المضيفة.

استقرار التدفق البطيء

افحص أولًا استقرار فرق الضغط وإمداد الغاز. ثم تحقق من وجود قيود أو إعدادات غاز غير صحيحة أو ظروف غير مناسبة في خط العملية. تجنب تغيير ضبط وحدة التحكم دون إرشاد من الشركة المصنعة.

08 | المعايير والامتثال

RoHS: محدد الامتثال لـ RoHS للمنتج.
SEMI: مدرج SEMI E56-0309 في معلومات المنتج المرفقة.

تحقق من إعلان الشركة المصنعة المعمول به وتكوين المنتج الدقيق عندما تتطلب مواصفات المشروع وثائق امتثال رسمية.

09 | التحقق من العبوة والمشتريات

تأكد من العناصر التالية مقارنة بأمر الشراء قبل الشحن:

وحدة تحكم في التدفق الكتلي HORIBA STEC SEC-Z512.
نطاق التدفق كامل النطاق ومعايرة الغاز المؤكدة.
تكوين الصمام المفتوح عادةً أو المغلق عادةً المختار.
ترتيب السدادة المعدنية أو الإلاستومرية المحدد.
واجهة كهربائية وتكوين موصل مطلوب.
تحديد المنتج والوثائق الفنية المعمول بها.

تتطلب كابلات الطاقة وكابلات الاتصال والوصلات والملحقات الإضافية تأكيدًا منفصلًا. لا تفترض شمولها ما لم يحددها عرض الأسعار.

10 | الأسئلة الشائعة للمتخصصين: الاختيار والتكامل والخبرة الميدانية

س1: كيف ينبغي للمهندسين تقييم SEC-Z512 للوحة غاز متعددة الغازات؟

ابدأ بقائمة الغازات الفعلية ونطاقات التدفق المطلوبة. تحقق مما إذا كان لكل غاز تكوين معايرة معتمد. ثم راجع توافق السدادة ومتطلبات الضغط وسلوك الصمام. لا تلغي المنصة المشتركة لوحدة التحكم متطلبات التكوين الخاصة بكل غاز.

س2: ما الذي يسبب انحرافًا في التدفق بعد استبدال وحدة MFC موجودة؟

تشمل الأسباب الشائعة معايرة غاز مختلفة، وتوسيعًا تناظريًا غير صحيح، وفروقًا في الضغط. ينبغي للمهندسين مقارنة نطاق كامل النطاق وخصائص إشارة الوحدة البديلة مع التركيب الأصلي. أعد التحقق من مخرج التدفق الصفري قبل إعادة لوحة الغاز إلى الإنتاج.

س3: كيف يمكن للمهندسين تقليل عدم استقرار التدفق أثناء الانتقال بين الوصفات؟

راجع استجابة منظم الضغط وحجم خط الغاز. تحقق مما إذا كان الإمداد العلوي يمكنه الحفاظ على فرق ضغط مستقر أثناء التغيرات السريعة في الطلب. استخدم مواصفات استجابة وحدة التحكم كمرجع، وليس كضمان لزمن استقرار النظام بالكامل.

س4: ما الذي ينبغي للمشترين التحقق منه عند اختيار السدادات المعدنية أو الإلاستومرية؟

قيم التوافق الكيميائي وضغط التشغيل ودرجة الحرارة ومتطلبات التلوث. تتطلب الغازات التفاعلية اهتمامًا خاصًا بتوافق السدادة. أكد مادة السدادة المعتمدة لكل غاز عملية مستهدف قبل إنهاء الطلب.

س5: متى ينبغي للمهندس اختيار التحكم التناظري بدلاً من اتصال F-Net؟

يناسب التحكم التناظري الأنظمة ذات الإدخال/الإخراج القائم على الجهد الكهربائي الراسخ وتكامل نقطة الضبط البسيط. يناسب F-Net التركيبات التي تتطلب اتصالًا رقميًا وتبادلًا مركزيًا للمعلمات. تحقق من دعم بروتوكول وحدة التحكم المضيفة ومتطلبات الصيانة قبل اختيار الواجهة.

HORIBA STEC SEC-Z512 | دعم التوريد الفني

يساعد Global PLC Spare HUB المستخدمين الصناعيين في تحديد الطراز وتوريد الأجهزة. نحن ندعم الاستفسارات الفنية المتعلقة بوحدات التحكم في التدفق الكتلي من HORIBA ومعدات عملية أشباه الموصلات.

التحقق من الطراز: تحقق من نطاق التدفق ونوع الغاز وعمل الصمام والتكوين الكهربائي.
المساعدة الفنية: راجع متطلبات التوصيل والضغط والتكامل.
الضمان: ضمان لمدة 12 شهرًا وفقًا لشروط البيع المؤكدة.
الشحن: خيارات الشحن عبر FedEx وUPS وDHL.
الإرسال: الترتيب النموذجي خلال 24–48 ساعة، حسب المخزون وتأكيد الطلب.

اطلب عرض أسعار لـ SEC-Z512

أرسل إلينا نوع الغاز المطلوب ومعدل التدفق كامل النطاق وتفضيل السدادة ومتطلبات الواجهة. يمكن لفريقنا المساعدة في التحقق من تكوين HORIBA STEC SEC-Z512 وإعداد عرض أسعار لتطبيقك.

ضمان شامل لمدة 12 شهرًا

كل جزء توفره Global PLC Spare Hub مشمول بـ ضمان لمدة 12 شهرًا من تاريخ الفاتورة.

التغطية: عيوب وظيفية وأعطال في الأجهزة في ظل ظروف التشغيل العادية.
التزامنا: نقدم إصلاحًا فوريًا أو استبدالًا أو استردادًا كاملاً لأي مكونات معيبة تم التحقق منها لتقليل وقت التوقف التشغيلي لديك.

سياسة الإرجاع والاستبدال

نقدم سياسة إرجاع لمدة 30 يومًا لضمان حصولك على الجزء الدقيق الذي يتطلبه نظامك.

الأهلية: تُقبل المرتجعات للعناصر غير المركبة في تغليفها الأصلي والمحكم الإغلاق من المصنع.
عملية RMA: يرجى الاتصال بفريق الدعم لدينا للحصول على رقم ترخيص إرجاع البضائع (RMA) قبل الشحن.
معالجة سريعة: تتم معالجة المبالغ المستردة أو الاستبدالات في غضون 3-5 أيام عمل بعد أن يجتاز العنصر المرتجع فحصنا الفني.

هل تحتاج إلى مساعدة فنية؟لست متأكدًا مما إذا كان هذا الجزء متوافقًا مع نظامك؟ [استشر مهندسينا] قبل الشراء لضمان التوافق بنسبة 100%.