SEC-Z714MGX HORIBA STEC SEC-Z700X MFC DeviceNet insensible a la presión
Manufacturer: HORIBA
Product No.: SEC-Z714MGX
Condition： En stock
Product Type: Adaptador DeviceNet
Product Origin: USA
Payment: T/T, Western Union
Weight: 500g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
Tiempo estimado de entrega: 12-26 días (Internacional), 3-6 días (Estados Unidos).
Devolución dentro de los 30 días siguientes a la compra. Los aranceles e impuestos no son reembolsables.
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Presentación del producto
El HORIBA STEC SEC-Z714MGX pertenece a la avanzada serie SEC-Z700X y presenta un diseño insensible a la presión especialmente diseñado para herramientas de semiconductores y sistemas críticos de suministro de gas. Este controlador digital de flujo másico integra un sensor de presión de alta velocidad incorporado para eliminar las perturbaciones transitorias de presión aguas arriba en paneles de gas multilínea. Fabricado con un cuerpo de acero inoxidable SUS316L electropulido y conductos en contacto con el gas con sellado metálico, el SEC-Z714MGX ofrece una integridad excepcional contra fugas y versatilidad para múltiples gases en entornos de alta pureza. Su actuador piezoeléctrico proporciona tiempos de respuesta rápidos y un control fiable, lo que convierte al SEC-Z714MGX en una opción ideal para arquitecturas complejas de automatización industrial.
Especificaciones técnicas
| Categoría de parámetro | Detalles de la especificación |
|---|---|
| Marca y modelo | Marca: HORIBA STEC Modelo: SEC-Z714MGX Serie: SEC-Z700X |
| Rango de medición | Rango de flujo a escala completa: 10 SCCM a 10 SLM (equivalente a N2, MR/MG #R01–#06) Rango de control / relación de reducción: 2–100 % de la escala completa |
| Respuesta en frecuencia | Tiempo de respuesta: ≤1 segundo (T98, rango completo de flujo) |
| Sensibilidad y precisión | Precisión: ±1,0 % de la escala de precisión (>25 % de la escala completa); ±0,25 % de la escala completa (≤25 % de la escala completa) Sensibilidad a transitorios de presión: ±(1,0 % de la escala de precisión + 1,0 % de la escala completa como máximo) para #02–#10 |
| Linealidad y resolución | Linealidad: ±0,5 % de la escala completa Repetibilidad: ±0,2 % de la escala completa |
| Rango de temperatura | Temperatura de funcionamiento: 5–50 °C (recomendada: 15–45 °C) Coeficiente de temperatura: sensor de presión incorporado ±1 % de la escala completa (0–700 kPa(A)); precisión de temperatura ±2 °C |
| Tolerancia ambiental | Presión diferencial de funcionamiento: 50–300 kPa(d) Presión máxima de funcionamiento: 450 kPa(g) Resistencia a la presión: 1000 kPa(g) Integridad contra fugas: ≤5×10-12 Pa·m3/s (He) |
| Inmunidad a interferencias | El filtrado de ruido digital y la conformidad con ODVA garantizan una robusta compatibilidad electromagnética en bastidores de herramientas con alta densidad. |
Guía de instalación
- Inspeccione el contenido del paquete: Verifique que la unidad SEC-Z714MGX, los microconectores de acoplamiento y las hojas de calibración estén intactos al desempacar.
- Verifique la limpieza: Mantenga el protocolo de sala limpia al manipular racores VCR con sellado metálico para proteger las superficies internas electropulidas.
- Fije de forma segura: Instale el SEC-Z714MGX en su panel de gas utilizando los racores VCR de 1/4" estándar con una distancia entre racores de 124 mm.
- Establezca la conexión a tierra: Conecte la conexión a tierra del chasis al bastidor de la herramienta para evitar bucles de tierra e interferencias de señal.
- Cableado de red: Conecte el microconector DeviceNet según los estándares de polaridad de ODVA y suministra 24 V CC.
- Prueba de fugas: Realice una prueba de fugas de helio en todas las conexiones de entrada y salida antes de introducir los gases de proceso.
Comisionamiento y facilidad de mantenimiento
- Calibración automática de cero: Ejecute el ajuste inicial de cero a través de la interfaz digital sin retirar el SEC-Z714MGX de la línea de gas.
- Lecturas de diagnóstico: Supervise el flujo, la temperatura y la presión aguas arriba en tiempo real directamente a través del panel multiespantalla integrado.
- Actualización de firmware: Utilice herramientas estándar de comunicación DeviceNet para actualizar los parámetros de configuración o consultar los registros de funcionamiento.
- Comprobaciones preventivas: Inspeccione periódicamente los microconectores eléctricos para garantizar un asiento seguro y una resistencia de contacto estable.
Compatibilidad e integración
| Aspecto de integración | Detalles de compatibilidad |
|---|---|
| Protocolo de comunicación | Totalmente compatible con redes DeviceNet™ mediante microconectores conformes con ODVA. |
| Compatibilidad de gases | Soporta múltiples gases, incluidos N2, Ar, H2, He, SF6, HBr y WF6, mediante factores de conversión seleccionables. |
| Dimensiones físicas | Las dimensiones compactas de 126×64×29 mm (Al×An×Pr) permiten la integración directa en cajas de gas estándar SEC-Z700X. |
Certificaciones y conformidad
- Norma SEMI: Conforme a las especificaciones SEMI F64-0701 para controladores de flujo másico.
- Norma de red: Certificación oficial de conformidad con ODVA para la interoperabilidad de DeviceNet.
- Regulación ambiental: Totalmente conforme con RoHS para la restricción de sustancias peligrosas.
Contenido del paquete
- Un controlador de flujo másico HORIBA STEC SEC-Z714MGX
- Certificado de inspección y calibración de fábrica
- Kit de pines del microconector DeviceNet
- Documentación de seguridad de inicio rápido
Preguntas frecuentes (FAQ)
P1: ¿Qué causa un tiempo de respuesta lento durante los transitorios de presión en sistemas de gas multilínea?
Los controladores de flujo másico estándar experimentan sobrepresiones de flujo cuando se abren o cierran válvulas adyacentes. El SEC-Z714MGX resuelve esto mediante un sensor de presión incorporado que compensa dinámicamente las fluctuaciones de presión.
P2: ¿Puede el SEC-Z714MGX manejar gases corrosivos como HBr o WF6?
Sí. Los materiales en contacto con el gas incluyen acero inoxidable SUS316L combinado con una aleación de Co-Ni y superficies internas electropulidas para resistir el ataque corrosivo.
P3: ¿Cómo configuro la dirección de nodo DeviceNet del SEC-Z714MGX?
Puede configurar el ID MAC y la velocidad de transmisión mediante herramientas estándar de configuración de software DeviceNet o comandos de mensajería explícita a través del bus de red.
P4: ¿Qué pasos de mantenimiento se requieren si la salida de flujo se desvía con el tiempo?
Verifique que la presión de entrada se mantenga estable dentro del rango de 50–300 kPa(d) y realice un ciclo de calibración de cero con nitrógeno seco.
Guía de selección
- Evalúe la dinámica de suministro de gas: Elija el SEC-Z714MGX cuando su proceso experimente caídas frecuentes de presión aguas abajo o interferencias cruzadas de MFCs vecinos.
- Ajuste a los requisitos de flujo: Asegúrese de que su punto de funcionamiento normal se encuentre dentro del rango de 10 SCCM a 10 SLM para mantener una precisión de reducción óptima.
- Verifique la infraestructura de red: Confirme que su arquitectura de control admita los protocolos DeviceNet antes de finalizar la selección del hardware.
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Cada pieza suministrada por Global PLC Spare Hub está cubierta por una garantía de 12 meses a partir de la fecha de la factura.
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Política de Devoluciones y Cambios
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