SEC-Z522 HORIBA STEC SEC-Z500X Controlador de flujo másico de alta precisión
Manufacturer: HORIBA
Product No.: SEC-Z522
Condition： En stock
Product Type: Controlador de flujo
Product Origin: USA
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Weight: 500g
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HORIBA STEC SEC-Z522 | Plataforma de control de precisión de flujo medio
El SEC-Z522 es un controlador de flujo másico (MFC) de flujo medio de la serie digital/analógica HORIBA STEC SEC-Z500X. Regula el suministro de gas de proceso mediante la medición de precisión del flujo y el control de válvulas piezoeléctricas.
Su rango de escala completa especificado abarca de 22 a 50 SLM, basado en el flujo equivalente de nitrógeno y las configuraciones MR/MG #6.5–#08 aplicables. El controlador admite operación multigas y multirango para equipos de procesos de semiconductores.
El diseño combina el control analógico del punto de consigna con la comunicación digital RS-485 F-Net. Su tiempo de respuesta alcanza T98 en un segundo en todo el rango de flujo especificado. Este rendimiento permite secuencias de proceso que requieren un suministro controlado de gas y transiciones de flujo repetibles.
La configuración estándar utiliza una construcción sin calefacción y superficies en contacto con el gas de SUS316L. Una conexión macho VCR de 1/4 de pulgada permite la integración en conjuntos de suministro de gas de alta pureza compatibles.
01 | Perfil de rendimiento y precisión del flujo
El SEC-Z522 proporciona un rango de control del 2 al 100 % de la escala completa (FS). Su especificación de precisión utiliza límites separados para las regiones de operación de mayor y menor flujo.
| Parámetro de rendimiento | Especificación |
| Fabricante | HORIBA STEC |
| Modelo | SEC-Z522 |
| Serie de productos | SEC-Z500X Digital/Analógico |
| Tipo de producto | Controlador de flujo másico (MFC) |
| Rango de flujo de escala completa | 22–50 SLM |
| Gas de referencia | Equivalente a N2 |
| Configuración aplicable | MR/MG #6.5–#08 |
| Precisión por encima del 25 % de FS | ±1.0 % del punto de consigna (S.P.) |
| Precisión en el 25 % de FS o por debajo | ±0.25 % de FS |
| Repetibilidad | ±0.2 % de FS |
| Linealidad | ±0.5 % de FS |
| Tiempo de respuesta | ≤1 segundo (T98) |
| Rango de control | 2–100 % de FS |
Interpretación de ingeniería: La precisión depende del punto de operación. Por encima del 25 % de FS, la especificación hace referencia al porcentaje del punto de consigna. En el 25 % de FS o por debajo, hace referencia a la escala completa. Los ingenieros deben utilizar la referencia correcta al calcular la desviación de flujo permitida.
02 | Compatibilidad de gases y condiciones de proceso
Este controlador admite múltiples gases de proceso y las configuraciones de rango de flujo correspondientes. La selección de gas debe coincidir con la especificación del instrumento calibrado.
Ejemplos de gases especificados:
- Nitrógeno (N2)
- Argón (Ar)
- Hidrógeno (H2)
- Helio (He)
- Hexafluoruro de azufre (SF6)
- Bromuro de hidrógeno (HBr)
- Hexafluoruro de tungsteno (WF6)
| Parámetro de proceso | Especificación |
| Presión diferencial de operación | 200–300 kPa(d) |
| Presión máxima de operación | 450 kPa(g) |
| Resistencia a la presión | 1000 kPa(g) |
| Temperatura de operación | 5–50°C |
| Temperatura recomendada | 15–45°C |
| Configuración calefactada | Versión estándar sin calefacción |
Nota sobre la selección de gas: El flujo equivalente a N2 no establece una calibración idéntica para todos los gases. Confirme el gas real, el rango de escala completa y la calibración de fábrica antes de la instalación.
03 | Tecnología de válvulas y construcción en contacto con el gas
El SEC-Z522 utiliza un actuador piezoeléctrico para el control proporcional de la válvula. La configuración de válvula disponible incluye opciones normalmente abierta y normalmente cerrada.
| Componente | Construcción o configuración |
| Actuador de válvula | Piezoeléctrico |
| Configuración de válvula | Normalmente abierta o normalmente cerrada |
| Material en contacto con el gas | Acero inoxidable SUS316L |
| Superficie interna | Superficie interna pulida, estándar |
| Opciones de sellado | Metal o elastómero |
| Configuración térmica estándar | Sin calefacción |
| Integridad de estanqueidad | ≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He) |
La trayectoria de flujo pulida de SUS316L permite cumplir los requisitos de manipulación de gas de alta pureza. La selección del sello requiere una revisión cuidadosa de la química del gas, la presión de operación y la compatibilidad con el proceso.
04 | Interfaz eléctrica y arquitectura de comunicación
El instrumento admite tanto la integración de señales analógicas como la comunicación digital. Los ingenieros pueden seleccionar la interfaz adecuada según el controlador host y la arquitectura del equipo.
| Parámetro eléctrico | Especificación |
| Punto de consigna analógico | 0.1–5 VCC |
| Salida analógica | 0–5 VCC |
| Interfaz digital | RS-485 |
| Protocolo de comunicación | F-Net |
| Velocidad de comunicación | 38,400 bps |
| Interfaces de conector | D-Sub de 9 pines y RJ-45 |
| Alimentación positiva | +15 VCC ±5%, 150 mA |
| Alimentación negativa | -15 VCC ±5%, 150 mA |
Consideraciones de integración:
- Verifique la compatibilidad de la salida analógica con la entrada del controlador host.
- Compruebe el rango del punto de consigna analógico antes de conectar la señal de control.
- Confirme la polaridad del cableado RS-485 y los ajustes de comunicación F-Net.
- Verifique la asignación de pines del conector con la documentación de cableado aplicable.
- Compruebe los rieles de alimentación positiva y negativa en condiciones de operación.
05 | Dimensiones mecánicas y conexión de proceso
El cuerpo compacto permite la instalación en equipos de distribución de gas para semiconductores. Su distancia extendida de ajuste requiere atención durante el diseño del layout del colector y la tubería.
| Parámetro mecánico | Especificación |
| Altura | 126 mm |
| Ancho | 64 mm |
| Espesor | 29 mm |
| Dimensiones totales | 126 × 64 × 29 mm (Al × An × Esp) |
| Conexión de proceso | Macho VCR de 1/4 de pulgada |
| Distancia de ajuste | 124 mm |
Compruebe el espacio de instalación disponible antes de seleccionar la posición de montaje. Confirme la alineación del ajuste y el espacio de conexión durante el diseño del panel de gas.
06 | Aplicaciones en procesos de semiconductores
El HORIBA STEC SEC-Z522 satisface los requisitos de suministro de gas de flujo medio en equipos de fabricación de semiconductores.
- Deposición química de vapor (CVD): Regula el suministro de gas de proceso según las recetas del equipo.
- Sistemas de grabado: Controla los gases de proceso compatibles durante secuencias de grabado definidas.
- Paneles de gas a granel: Permite la distribución controlada de gases de proceso seleccionados.
- Conjuntos de suministro de gas: Proporciona interfaces analógicas y digitales para la integración en equipos.
- Procesos multigas: Admite las configuraciones de gas especificadas cuando se confirman la calibración y la compatibilidad de materiales.
07 | Lista de verificación de instalación y puesta en marcha
La instalación correcta requiere comprobaciones coordinadas mecánicas, eléctricas y del sistema de gas.
- Verifique el número de modelo completo y la configuración de gas calibrado.
- Confirme el rango de flujo de escala completa requerido.
- Compruebe las condiciones de presión aguas arriba y aguas abajo.
- Inspeccione las superficies en contacto de SUS316L y la configuración de sellado especificada.
- Verifique la compatibilidad de la conexión macho VCR de 1/4 de pulgada.
- Confirme la distancia de ajuste disponible de 124 mm.
- Conecte las fuentes de alimentación de ±15 VCC requeridas.
- Compruebe el cableado de la señal analógica o los ajustes de comunicación RS-485.
- Introduzca el gas de proceso especificado bajo condiciones de operación aprobadas.
- Verifique la respuesta de flujo y el seguimiento del punto de consigna antes de la operación de producción.
Utilice procedimientos adecuados de manipulación de gas de alta pureza durante la instalación. Siga las instrucciones del fabricante del equipo para las pruebas de fugas y la purga de la línea de proceso.
08 | Consideraciones de mantenimiento y solución de problemas
El mantenimiento de rutina debe centrarse en la estabilidad del flujo, la compatibilidad de los gases, la integridad eléctrica y la limpieza de la línea de proceso.
- Desviación del flujo: Compruebe la selección real del gas, las condiciones de presión y la configuración de calibración.
- Respuesta lenta: Inspeccione la estabilidad del suministro, la presión de proceso y los ajustes de comunicación.
- Lecturas inestables: Compruebe la puesta a tierra, el cableado de la señal, las fluctuaciones del suministro de gas y el ruido eléctrico.
- Fallo de comunicación: Verifique la polaridad RS-485, la velocidad de transmisión, los ajustes de F-Net y el estado del conector.
- Preocupaciones por fugas: Inspeccione las conexiones VCR y los componentes de sellado compatibles utilizando procedimientos aprobados.
- Variación de temperatura: Mantenga el entorno recomendado de 15–45°C siempre que sea práctico.
No cambie la calibración del gas ni la configuración de la válvula sin confirmar las especificaciones aplicables del fabricante.
09 | Cumplimiento y estándares de producto
- RoHS: Cumple con RoHS.
- Estándares de la industria: Estándares SEMI.
No se proporcionaron números específicos de estándares SEMI ni referencias de certificación individuales. Confirme los documentos de cumplimiento aplicables para el equipo e instalación previstos.
10 | Preguntas frecuentes
P1: ¿Cómo afecta el rango de control del 2 al 100 % de FS a la configuración de la receta de proceso?
El rango especificado define el intervalo de control disponible en relación con el valor de escala completa configurado. Los ingenieros de recetas deben comprobar el punto de consigna de operación mínimo frente al flujo de proceso requerido. Evite asumir que todas las configuraciones de gas proporcionan límites de flujo utilizables idénticos.
P2: ¿Por qué deben los ingenieros verificar el material del sello antes de introducir HBr o WF6?
La química del gas puede afectar los materiales de sellado y la integridad de estanqueidad a largo plazo. Confirme la compatibilidad química para el sello de metal o elastómero seleccionado. También revise la exposición a la humedad y el procedimiento aprobado de manipulación de gas antes de la puesta en marcha.
P3: ¿Qué podría causar una desviación de flujo después de reemplazar un controlador existente?
Los puntos de investigación comunes incluyen una calibración de gas incorrecta, un rango de escala completa desajustado, condiciones de presión diferentes y errores de escalado de señal. Compare la configuración de reemplazo con los registros originales del instrumento antes de cambiar los parámetros de proceso.
P4: ¿Cuándo debe un ingeniero elegir RS-485 en lugar de control analógico?
RS-485 es adecuado para arquitecturas de equipos que requieren comunicación digital a través de F-Net. El control analógico es adecuado para sistemas con interfaces de punto de consigna y retroalimentación compatibles basadas en voltaje. Compruebe la arquitectura del controlador host y los requisitos de comunicación antes de seleccionar el método de conexión.
P5: ¿Qué comprobaciones prácticas ayudan a prevenir problemas de instalación en un panel de gas para semiconductores?
Revise el espacio libre del ajuste, la alineación VCR, la pureza del gas, la presión diferencial y el acceso a los conectores eléctricos. Confirme la distancia de ajuste de 124 mm durante el diseño mecánico. También verifique la calibración de gas y la configuración de válvula seleccionadas antes de introducir gases de proceso.
11 | Adquisición y soporte técnico
Global PLC Spare HUB ofrece soporte para la adquisición de piezas de repuesto de automatización industrial y equipos de procesos de semiconductores.
- Verificación de modelo: Asistencia con la identificación del número de pieza y la configuración.
- Soporte técnico: Ayuda para revisar el rango de flujo, la selección de gas y las especificaciones de la interfaz.
- Garantía: Cobertura de garantía de 12 meses.
- Envío: Opciones de envío internacional por DHL, FedEx y UPS.
- Procesamiento de pedidos: Típicamente 24–48 horas después de la confirmación del pedido.
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