Controlador de flujo másico digital HORIBA SEC-Z514MGX Serie Z500

Descripción general del producto

El HORIBA SEC-Z514MGX es un controlador digital de caudal másico de la serie Z500. Proporciona una regulación precisa del flujo de gas para la fabricación de semiconductores y sistemas de procesos industriales.

Este modelo combina la medición térmica del caudal másico con una válvula de control integrada. Su sistema de control PID variable ofrece una respuesta a escala completa en un segundo. Los ingenieros pueden utilizarlo para mantener un suministro de gas estable durante las transiciones de proceso.

El SEC-Z514MGX admite comunicación DeviceNet y una fuente de alimentación de 24 VCC. Sus componentes en contacto con el fluido están fabricados en acero inoxidable 316L pulido. Estas características favorecen un funcionamiento fiable en entornos exigentes de suministro de gas.

HORIBA también ofrece el SEF-Z514MGX como configuración correspondiente de medidor de caudal másico. El modelo SEC regula el caudal, mientras que el modelo SEF mide el caudal sin la regulación de una válvula de control integrada.

Especificaciones técnicas

Marca	HORIBA STEC
Serie	Serie Z500 / Z500X
Modelo del controlador	SEC-Z514MGX
Modelo del medidor	SEF-Z514MGX
Tipo de producto	Controlador digital de caudal másico / Medidor de caudal másico
Comunicación	Protocolo DeviceNet
Fuente de alimentación	24 VCC, 4,0 VA
Materiales en contacto con el fluido	Acero inoxidable 316L pulido
Temperatura de funcionamiento	De 5 a 50 °C
Temperatura recomendada	De 15 a 45 °C
Conexión estándar	Equivalente VCR de 1/4 de pulgada
Orientación de montaje	Orientación libre

Rango de caudal y rendimiento de medición

El SEC-Z514MGX admite múltiples configuraciones de caudal a escala completa equivalentes al nitrógeno. La capacidad real de caudal depende del rango seleccionado y del gas de proceso.

Código de rango	Escala completa equivalente al N2
#R01	10 SCCM
#R1.5	17,5 SCCM
#01	30 SCCM
#1.5	55 SCCM
#02	100 SCCM
#2.5	175 SCCM
#03	300 SCCM
#3.5	550 SCCM
#04	1 SLM
#4.5	1,75 SLM
#05	3 SLM
#5.5	5,5 SLM
#06	10 SLM

Características de medición y control

• Rango de control: Del 2 al 100 % de la escala completa.
• Rango de medición: Del 0 al 100 % de la escala completa para el medidor SEF.
• Precisión por encima del 25 % de la escala completa: ±1,0 % del punto de consigna.
• Precisión en el 25 % o por debajo de la escala completa: ±0,25 % de la escala completa.
• Tiempo de respuesta: ≤1 segundo en todo el rango de caudal.
• Linealidad: ≤±0,5 % de la escala completa.
• Repetibilidad: ≤±0,2 % de la escala completa.
• Fuga con válvula cerrada: ≤2 % de la escala completa.

Clasificaciones de presión y ambientales

Presión diferencial de funcionamiento	50–300 kPa(d)
Presión diferencial de alto caudal	100–300 kPa(d) para #5.5 y #06
Presión diferencial del SEF	≤300 kPa(d)
Presión máxima de funcionamiento	450 kPa(g)
Resistencia a la presión	1000 kPa(g)
Integridad de la fuga de helio	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s

Nota de ingeniería: Los requisitos de presión diferencial varían según el rango de caudal. Verifique las condiciones de presión aguas arriba y aguas abajo antes de la instalación.

Características eléctricas y de comunicación

• Interfaz digital: Protocolo DeviceNet.
• Entrada de alimentación: 24 VCC.
• Consumo de energía: 4,0 VA.
• Método de control: Control PID variable.
• Configuración de la válvula: Normalmente abierta o normalmente cerrada.

La configuración suministrada determina las opciones de comunicación y alimentación disponibles. Confirme el código de modelo completo antes de integrar la unidad con un PLC o un controlador de suministro de gas.

Desglose de la configuración del modelo

El código de modelo SEC-Z514MGX identifica la familia de productos y la configuración. Las siguientes opciones deben confirmarse con la información completa de pedido del fabricante.

• SEC: Configuración de controlador de caudal másico.
• SEF: Configuración de medidor de caudal másico.
• Z514MGX: Designación del modelo dentro de la familia Z500.
• Rango de caudal: Seleccionado mediante la configuración de rango correspondiente.
• Acción de la válvula: Normalmente abierta (O) o normalmente cerrada (C).
• Conexión: Equivalente VCR estándar de 1/4 de pulgada.

Las configuraciones de conexión opcionales incluyen IGS de 1,125 pulgadas e IGS de 1,5 pulgadas. Confirme la conexión y la acción de la válvula seleccionadas antes de realizar el pedido.

Pautas de instalación

1. Verifique el modelo: Compruebe el código de modelo, el tipo de gas, el rango de caudal y la acción de la válvula.
2. Inspeccione las conexiones: Examine las conexiones y las superficies de sellado antes del montaje.
3. Confirme la compatibilidad del gas: Verifique la compatibilidad de los materiales en contacto con el gas de proceso.
4. Compruebe la presión: Mantenga la presión diferencial especificada durante el funcionamiento.
5. Conecte la alimentación: Proporcione una fuente regulada de 24 VCC dentro de los requisitos del equipo.
6. Conecte DeviceNet: Verifique el cableado de la red, la dirección del nodo y los ajustes de comunicación.
7. Compruebe las líneas de gas: Realice una prueba de fugas adecuada antes de introducir el gas de proceso.
8. Inicie el funcionamiento: Aplique el procedimiento de arranque aprobado e inspeccione la estabilidad del caudal.

Puesta en marcha y mantenimiento

Una puesta en marcha adecuada ayuda a mantener la precisión de la medición y un suministro de gas estable. Los ingenieros deben verificar las siguientes condiciones:

• Confirme la conversión correcta del gas y el rango de escala completa.
• Compruebe las lecturas de caudal cero antes de aplicar el gas de proceso.
• Verifique la conexión DeviceNet y la comunicación del controlador.
• Compare las lecturas reales de caudal con un instrumento de referencia adecuado.
• Inspeccione la estabilidad de la presión durante el funcionamiento a bajo y alto caudal.
• Compruebe la respuesta de la válvula al cambiar los puntos de consigna de caudal.
• Inspeccione las conexiones y los sellos durante el mantenimiento programado.

No ajuste los parámetros PID sin revisar los requisitos de la aplicación. Evite introducir contaminación durante el mantenimiento de las líneas de gas. Siga los procedimientos del fabricante para la calibración y el servicio interno.

Compatibilidad del sistema y aplicación

El HORIBA SEC-Z514MGX admite sistemas de control de flujo de gas que requieren comunicación DeviceNet y alimentación compatible de 24 VCC.

Las áreas de aplicación típicas incluyen:

• Fabricación de semiconductores: Suministro preciso de gas para cámaras de proceso y paneles de gas.
• Deposición de película delgada: Flujo de gas estable durante los procesos de deposición.
• Sistemas de grabado: Suministro controlado de gases de proceso compatibles.
• Sistemas de gas industrial: Regulación del caudal en equipos automatizados de distribución de gas.
• Equipos de investigación: Medición y control de gas en sistemas de proceso de laboratorio.

Antes de la integración del sistema, verifique la interfaz del PLC, la configuración de DeviceNet, la compatibilidad del gas, las dimensiones de las conexiones y los requisitos de presión. Las interfaces RS-485 y analógicas dependen de la configuración específica del producto. No asuma su disponibilidad en todas las unidades SEC-Z514MGX.

Certificaciones y cumplimiento

La información técnica suministrada identifica la comunicación DeviceNet y los requisitos de alimentación conformes a ODVA. No establece certificaciones específicas de seguridad o de áreas peligrosas.

Solicite la declaración aplicable del fabricante y la documentación del producto cuando su instalación requiera aprobación regulatoria. Verifique la configuración exacta antes de especificar los requisitos de cumplimiento.

Contenido del paquete

• 1 × Controlador digital de caudal másico HORIBA SEC-Z514MGX, según la configuración solicitada.
• Identificación del producto e información del modelo.
• Accesorios estándar, solo cuando se incluyen en el pedido confirmado.

Para la configuración SEF-Z514MGX, la unidad suministrada es un medidor de caudal másico. Confirme el contenido del paquete y los accesorios con el proveedor antes de la compra.

Preguntas frecuentes

P1: ¿Cuál es la diferencia entre SEC-Z514MGX y SEF-Z514MGX?

El SEC-Z514MGX combina la medición del caudal másico con una válvula de control integrada. El SEF-Z514MGX mide el caudal másico sin proporcionar la misma función de regulación de caudal integrada.

P2: ¿Cómo deben los ingenieros seleccionar el rango de caudal correcto?

Primero, identifique el gas de proceso y el caudal de funcionamiento requerido. Luego, seleccione un rango de escala completa equivalente al nitrógeno que se ajuste a las condiciones normales de funcionamiento. Evite elegir un rango que sitúe la mayoría de los puntos de funcionamiento cerca del límite mínimo de control.

P3: ¿Por qué el caudal real puede diferir de la clasificación equivalente al nitrógeno?

Los rangos enumerados utilizan el nitrógeno como gas de referencia. Los diferentes gases tienen diferentes propiedades físicas y requisitos de conversión. Los ingenieros deben confirmar la calibración correcta del gas antes de la puesta en marcha.

P4: ¿Qué deben comprobar los ingenieros cuando el controlador responde lentamente?

Comience comprobando la presión diferencial y la estabilidad del suministro de gas. A continuación, inspeccione la comunicación DeviceNet y el punto de consigna solicitado. Confirme la configuración de gas seleccionada y verifique que la línea de proceso no tenga restricciones. Estas comprobaciones ayudan a aislar los problemas neumáticos y relacionados con el control.

P5: ¿Puede el SEC-Z514MGX conectarse directamente a cualquier PLC?

No. El PLC debe admitir una interfaz DeviceNet compatible o utilizar una puerta de enlace de red adecuada. Los ingenieros también deben verificar la dirección de los nodos, los parámetros de comunicación, los requisitos de alimentación y el mapeo de datos de control.

P6: ¿Cómo deben elegir los compradores entre válvulas normalmente abiertas y normalmente cerradas?

Considere el comportamiento requerido de la línea de gas durante una pérdida de alimentación o una interrupción del control. Las configuraciones normalmente abiertas y normalmente cerradas proporcionan diferentes posiciones predeterminadas de la válvula. Seleccione la opción que coincida con la filosofía de seguridad del proceso y el diseño del equipo.

P7: ¿Qué información deben proporcionar los compradores al solicitar una cotización?

Proporcione el número de modelo completo, el gas de proceso, el caudal a escala completa requerido, la acción de la válvula, el tipo de conexión y la interfaz de comunicación. También especifique la presión y la temperatura de funcionamiento. Estos detalles ayudan a evitar discrepancias de configuración.

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