631F11T8FH MKS Baratron 631F Manómetro capacitivo térmico

631F11T8FH Manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron® 631F

El 631F11T8FH es un manómetro capacitivo Baratron® de alta temperatura, autónomo y fabricado por MKS Instruments para procesos agresivos de vacío en la fabricación de semiconductores. Al funcionar a una temperatura interna estabilizada del sensor de 150 °C, evita la condensación de subproductos del proceso durante el grabado de metales y la deposición química de vapor (CVD) de películas de nitruro.

Su paquete de electrónica integrado y compacto reduce el espacio requerido para la herramienta en al menos un 40 % y elimina los cables de interconexión que generan ruido. Fabricado con superficies en contacto con el proceso de Inconel®/Incoloy® resistentes a la corrosión, el 631F ofrece una precisión del 0,50 % de la lectura en un rango de escala completa de 10 Torr.

Decodificación del número de modelo y árbol de configuración

• Familia de productos base (631F): Manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron
  • Rango de escala completa (11): Presión absoluta de 10 Torr
  • Unidad de presión (T): Salida calibrada en Torr
  • Conexión de vacío (8): Conexión hembra VCR 8 (hembra Swagelok VCR de 1/2 pulgada con tubo largo)
  • Precisión de medición (F): 0,50 % de la lectura
  • Temperatura de control del sensor (H): Calefactado internamente a 150 °C

Matriz de especificaciones técnicas

Cobertura de la garantía y envío exprés global

• Garantía integral de 12 meses: Cada unidad 631F11T8FH cuenta con una garantía de 12 meses que cubre la estabilidad del cero del sensor, la regulación del calefactor y la integridad de la electrónica bajo las condiciones de proceso especificadas.
• Despacho de carga aérea global: Se envía a todo el mundo en embalaje ESD aislado de impactos mediante FedEx, UPS o DHL para minimizar el tiempo de inactividad de las herramientas de la planta de semiconductores.

Preguntas frecuentes sobre procesos de semiconductores y guía de selección

• P: ¿Cómo ajusto los relés de disparo de presión dual sin evacuar la cámara de proceso?

  R: El modelo Type 631F permite el ajuste independiente del potenciómetro a presión atmosférica, eliminando la necesidad de configurar bombas de vacío auxiliares durante la puesta en marcha de la herramienta.

• P: ¿Por qué es obligatorio el período de calentamiento de 4 horas antes de realizar la calibración del cero?

  R: Volver a ajustar el cero antes de alcanzar el equilibrio térmico completo a 150 °C en el diafragma de Inconel® introduce desplazamientos por expansión térmica que alteran las lecturas de baja presión.

• P: ¿Cuándo deben los ingenieros elegir un modelo calefactado a 150 °C en lugar de un manómetro capacitivo sin calefacción?

  R: Especifique calefacción a 150 °C en líneas de CVD de nitruro o de grabado de metales con halógenos donde, de lo contrario, las sales de amonio condensables o los precursores de polímeros recubren el diafragma.

• P: ¿Qué flujo de aire de refrigeración se requiere al montar este manómetro dentro de una caja de gas densa?

  R: Proporcione al menos 50 pies/min de flujo de aire ambiente forzado cuando las temperaturas del gabinete alcancen entre 45 °C y 50 °C para evitar apagados de seguridad por sobretemperatura.

• P: ¿Un evento de ventilación atmosférica de 45 psia altera permanentemente la calibración de escala de 10 Torr?

  R: No, el sensor soldado de Inconel® soporta hasta 45 psia de sobrepresión sin deformación mecánica del diafragma, preservando la repetibilidad a largo plazo a través de los ciclos de ventilación de la cámara.

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