631D11T8FH MKS Instruments Baratron Manómetro capacitivo calefactado

Descripción general del producto

El MKS Instruments 631D11T8FH es un manómetro capacitivo absoluto calefactado Baratron® tipo 631D de alta precisión, diseñado para exigentes procesos industriales y de semiconductores en vacío. Con una temperatura del sensor regulada internamente a 150 °C o 200 °C, este transductor de presión de vacío evita la condensación de los gases del proceso y minimiza la deriva del cero en entornos de deposición química de vapor a alta temperatura.

Construido con superficies en contacto con el proceso de Inconel® e Incoloy® resistentes a la corrosión, el 631D11T8FH ofrece mediciones precisas de presión absoluta con un rápido tiempo de respuesta de 50 ms. Emite una señal analógica limpia y lineal de 0 a 10 VCC a través de una interfaz D-sub de 15 pines e integra dos relés de disparo ajustables para el proceso, que permiten un control directo de enclavamientos.

Configuración y estructura del número de pieza

• Serie base (631D): Plataforma del manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron®
• Identificador del rango de escala completa (11T):
  • 11: Rango de medición absoluta de escala completa de 10 Torr (la serie admite 1, 2, 10, 30, 100 y 1000 Torr)
  • T: Medición calibrada en unidades de Torr
• Conexión y configuración térmica (8FH):
  • 8: Conexión giratoria hembra de puerto de vacío mecánico VCR® de 8
  • F: Conector de interfaz analógica y de relés D-sub de 15 pines
  • H: Configuración de sensor calefactado de alta temperatura (control térmico regulado a 200 °C/150 °C)

Matriz de especificaciones técnicas

Directrices de instalación y puesta en marcha

• Estabilización térmica: Deje pasar un período completo de calentamiento de 4 horas después de aplicar la alimentación de ±15 VCC antes de ajustar el cero del transductor 631D11T8FH.
• Gestión del flujo de aire: Mantenga un flujo de aire forzado mínimo de 150 pies/min (para calefactores de 200 °C) cuando las temperaturas ambiente del gabinete alcancen entre 45 °C y 50 °C.
• Conexiones del proceso: Instale el transductor verticalmente con el puerto orientado hacia abajo para evitar la acumulación de partículas o condensado dentro de la cavidad de 6,3 cc.
• Blindaje eléctrico: Utilice cableado de par trenzado blindado en el conector D-sub de 15 pines y conéctelo a una entrada de lectura de alta impedancia (>10 kΩ).

Compatibilidad, garantía y logística

• Compatibilidad del sistema: Se integra directamente con las lecturas de la fuente de alimentación PDR2000 de MKS Instruments, los controladores de presión tipo 651 y los bastidores de herramientas OEM; es compatible con las configuraciones de la serie 631F moderna.
• Cobertura de la garantía: Se suministra con una garantía operativa integral de 12 meses a partir de la fecha de envío.
• Envío exprés global: Envío internacional inmediato disponible a través de las redes de mensajería prioritaria de FedEx, UPS y DHL.

Contenido del paquete

• 1 x manómetro capacitivo calefactado Baratron® MKS Instruments 631D11T8FH
• 1 x tapa protectora de envío para el puerto de vacío

Preguntas frecuentes (FAQ)

P1: ¿Por qué es obligatorio un período de calentamiento de 4 horas antes de realizar un ajuste del cero en el 631D11T8FH?

R1: El calefactor interno debe llevar el diafragma de Inconel® y el conjunto del electrodo capacitivo a un equilibrio térmico exacto a 150 °C o 200 °C. Ajustar el cero prematuramente provoca una deriva de la línea de base a medida que la estructura metálica continúa expandiéndose.

P2: ¿Qué sucede si el transductor experimenta una ventilación accidental a la atmósfera por encima de su rango de escala completa de 10 Torr?

R2: El diafragma del sensor soporta una sobrepresión de hasta 45 psia (310 kPa) sin daños mecánicos permanentes. Una vez reevacuado por debajo de 10⁻⁴ Torr, verifique el desplazamiento del cero antes de reanudar los procesos.

P3: ¿Cómo deben los ingenieros configurar los dos relés de disparo internos para los enclavamientos de seguridad de la cámara de vacío?

R3: Utilice un voltímetro digital de precisión en los puntos de prueba mientras ajusta los potenciómetros de múltiples vueltas para establecer los umbrales de disparo en cualquier punto entre el 0,5 % y el 100 % de la escala completa para el control de la válvula de despresurización o del estrangulador.

P4: ¿Puede este manómetro capacitivo medir con precisión los gases corrosivos de grabado por plasma independientemente de la especie de gas?

R4: Sí, debido a que los manómetros capacitivos miden la fuerza física directa ejercida sobre un diafragma de Inconel®, las lecturas son completamente independientes de la composición del gas o de la conductividad térmica.

P5: Guía de compra: ¿Debería adquirir una unidad de sustitución directa 631D11T8FH o actualizar a la serie MKS 631F?

R5: Elija el modelo exacto 631D11T8FH para mantener las recetas validadas de las herramientas OEM, los existentes esquemas de pines D-sub de 15 pines y el espacio mecánico sin la recalificación del software o del hardware. Cambie a la serie 631F solo cuando construya nuevas plataformas de herramientas o realice renovaciones completas de la cámara.

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