SEF-Z524MGXN Medidor de flujo de gas DeviceNet HORIBA STEC Z500

Descripción general del producto

HORIBA STEC SEF-Z524MGXN es un medidor digital de caudal másico diseñado para la medición precisa del flujo de gas en equipos de semiconductores.

Pertenece a la serie HORIBA STEC SEC-Z500 / SEF-Z500. El dispositivo utiliza una interfaz de comunicación digital DeviceNet para la integración de equipos.

La configuración SEF mide el flujo de gas sin una válvula de control integrada. Proporciona la medición del flujo en tiempo real en todo su rango de escala completa configurado.

Sus componentes en contacto con el gas de acero inoxidable 316L son compatibles con sistemas de suministro de gas limpio. Las superficies internas pulidas son adecuadas para entornos exigentes de procesos de semiconductores.

Características principales del producto:

• Tipo de producto: Medidor digital de caudal másico (MFM)
• Modelo: SEF-Z524MGXN
• Serie: HORIBA STEC Z500
• Comunicación: Interfaz digital DeviceNet
• Rango de medición: 0–100 % de la escala completa configurada
• Precisión: ±1,0 % del punto de ajuste por encima del 25 % de la escala completa; ±0,25 % de la escala completa al 25 % o por debajo
• Tiempo de respuesta: ≤1 segundo
• Material en contacto con el gas: Acero inoxidable 316L pulido
• Fuente de alimentación: 24 V CC, 4,0 VA

Especificaciones técnicas

Identificación del producto

Marca	HORIBA STEC
Modelo	SEF-Z524MGXN
Serie	SEC-Z500 / SEF-Z500
Tipo de producto	Medidor digital de caudal másico (MFM)
Principio de medición	Medición térmica de caudal másico
Protocolo de comunicación	DeviceNet

Rendimiento de la medición del flujo

Rango de medición	0–100 % de la escala completa
Caudal de conversión a N₂	22 / 30 / 50 SLM, según la configuración MR/MG
Precisión	±1,0 % del punto de ajuste por encima del 25 % de la escala completa; ±0,25 % de la escala completa al 25 % o por debajo
Linealidad	≤ ±0,5 % de la escala completa
Repetibilidad	≤ ±0,2 % de la escala completa
Tiempo de respuesta	≤1 segundo en todo el rango de medición
Resolución	No especificada en la documentación disponible del modelo
Respuesta en frecuencia	No especificada por separado; el tiempo de respuesta es ≤1 segundo

Condiciones de funcionamiento y especificaciones mecánicas

Temperatura de funcionamiento	De 5 a 50 °C
Temperatura recomendada	De 15 a 45 °C
Presión diferencial de funcionamiento	≤300 kPa(d) para la configuración SEF
Presión máxima de funcionamiento	450 kPa(g)
Resistencia a la presión	1.000 kPa(g)
Integridad de estanqueidad	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
Material en contacto con el gas	Acero inoxidable 316L pulido
Conexión estándar	Equivalente a VCR de 1/4 de pulgada
Conexión opcional	IGS de 1,125 pulgadas
Orientación de montaje	Cualquier orientación

Especificaciones eléctricas y de comunicación

Interfaz digital	Protocolo DeviceNet
Fuente de alimentación	24 V CC
Consumo de energía	4,0 VA
Estándar de alimentación	Conforme a los requisitos relacionados con ODVA
Válvula de control	No aplicable; SEF es un medidor de caudal másico

Rendimiento de medición y valor de ingeniería

1. Medición precisa del flujo de gas

El SEF-Z524MGXN mide el flujo de gas en todo el rango de escala completa configurado del 0 al 100 %.

Su precisión especificada permite el monitoreo de procesos y la verificación del suministro de gas. Los ingenieros pueden utilizar la retroalimentación de flujo para evaluar la estabilidad del suministro de gas.

2. Repetibilidad de medición estable

La repetibilidad alcanza ≤ ±0,2 % de la escala completa. Esto ayuda a mantener resultados de medición consistentes durante ciclos de proceso repetidos.

La linealidad se mantiene dentro de ±0,5 % de la escala completa. Estas características permiten un monitoreo confiable del flujo en equipos de producción de semiconductores.

3. Respuesta de medición rápida

El tiempo de respuesta especificado es ≤1 segundo en todo el rango de medición. Esto permite un monitoreo oportuno de los cambios en las condiciones del flujo de gas.

La respuesta real del sistema también depende del volumen de la tubería, las propiedades del gas y la estabilidad de la presión aguas arriba.

4. Construcción de conducto de gas limpio

El acero inoxidable 316L pulido constituye el conducto de flujo en contacto con el gas. Este material permite el manejo de gas limpio y la compatibilidad con procesos químicos.

La integridad de estanqueidad especificada para helio es ≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s. Esta especificación ayuda a evaluar el rendimiento de sellado en instalaciones de suministro de gas.

Guías de instalación

• Posición de montaje: La unidad admite la instalación en cualquier orientación.
• Compatibilidad de gas: Confirme el tipo de gas configurado antes de la instalación.
• Dirección del flujo: Siga las marcas direccionales en el cuerpo del instrumento.
• Conexión a la tubería: Haga coincidir el tipo y tamaño de la conexión antes del ensamblaje.
• Sellado: Utilice componentes de sellado compatibles con el servicio de gas seleccionado.
• Presión: Mantenga la presión de funcionamiento dentro de los límites especificados.
• Temperatura: Mantenga las condiciones ambientales entre 5 y 50 °C.
• Alimentación eléctrica: Proporcione una fuente regulada adecuada de 24 V CC.
• Conexión a tierra: Siga los requisitos de conexión a tierra del equipo y de instalación de DeviceNet.
• Control de contaminación: Mantenga limpias las conexiones de gas durante la instalación.

Importante: Evite aplicar un esfuerzo mecánico excesivo a las conexiones. Confirme la integridad de estanqueidad antes de introducir gases de proceso.

Puesta en marcha, diagnóstico y mantenimiento

Puesta en marcha inicial

1. Verifique el número de modelo completo y la configuración del gas.
2. Compruebe el rango de flujo con respecto a los requisitos del proceso del equipo.
3. Confirme la fuente de 24 V CC y las conexiones eléctricas.
4. Compruebe la configuración del nodo DeviceNet y la comunicación de red.
5. Verifique la presión de suministro de gas y la presión diferencial.
6. Introduzca el gas especificado bajo condiciones de funcionamiento aprobadas.
7. Compare el flujo indicado con un instrumento de referencia adecuado.

Recomendaciones de mantenimiento

• Inspeccione las conexiones de gas en busca de fugas durante el mantenimiento programado.
• Monitoree las lecturas de flujo en busca de desviaciones inesperadas.
• Compruebe la comunicación de red cuando las lecturas no estén disponibles.
• Revise la presión de funcionamiento cuando cambie la estabilidad de la medición.
• Siga los procedimientos de HORIBA para la calibración y el servicio.

El modelo SEF no proporciona una válvula de control integrada. La regulación externa del gas debe cumplir los requisitos del proceso.

Compatibilidad y selección de modelo

1. Identificación del modelo SEF frente al SEC

Modelo	Función del producto	Aplicación principal
SEF-Z524MGXN	Medidor de caudal másico	Medición del flujo de gas
SEC-Z524MGXN	Controlador de caudal másico	Medición y control del flujo de gas

El modelo SEF mide el flujo sin una válvula de control integrada. El modelo SEC añade la regulación activa del flujo.

2. Selección del rango de escala completa

Configuración MR/MG	Caudal de conversión a N₂
#6.5	22 SLM
#07	30 SLM
#08	50 SLM

Estos valores representan los caudales de conversión a nitrógeno. Confirme la calibración real del gas y la configuración de la escala completa antes de realizar el pedido.

3. Compatibilidad de gas y conexión

• Confirme el tipo de gas y los datos de calibración correspondientes.
• Verifique el rango de flujo de escala completa requerido.
• Haga coincidir la interfaz DeviceNet con la red del equipo.
• Compruebe si la instalación requiere VCR de 1/4 de pulgada o IGS de 1,125 pulgadas.
• Confirme el conector real y la configuración del cableado.

4. Verificación de reemplazo y referencias cruzadas

Algunas referencias de equipos enumeran los números de pieza ASM 1110-705-01 y 1120-949-01.

Estas referencias requieren verificación con respecto a la configuración del equipo original. No asuma la intercambiabilidad directa basándose únicamente en el número de pieza.

Consideraciones ambientales y eléctricas

• Entorno de funcionamiento: Temperatura ambiente de 5 a 50 °C.
• Entorno recomendado: De 15 a 45 °C para un funcionamiento normal.
• Resistencia a la presión: Resistencia a la presión especificada de 1.000 kPa(g).
• Sellado de gas: Integridad de estanqueidad para helio ≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s.
• Ruido eléctrico: Siga las prácticas de enrutamiento de cables y conexión a tierra de DeviceNet.
• Inmunidad EMC: Los niveles específicos de prueba de inmunidad requieren confirmación del fabricante.
• Protección de ingreso: No especificada en la información disponible del modelo.
• Resolución: Confirme la resolución de salida digital con el fabricante.

Certificaciones y cumplimiento

• Comunicación: Protocolo DeviceNet.
• Requisitos eléctricos: 24 V CC, 4,0 VA.
• ODVA: Los requisitos de alimentación especificados hacen referencia a los estándares ODVA.

La compatibilidad con DeviceNet no confirma de forma independiente la certificación del producto. Verifique las aprobaciones y certificados regionales aplicables para la configuración exacta.

Contenido del paquete

• 1 × Medidor de caudal másico HORIBA STEC SEF-Z524MGXN, según la configuración solicitada.
• Identificación del producto e información de configuración, cuando se proporcionen.
• Accesorios o documentación adicionales, sujetos al acuerdo de pedido.

Los cables de conexión, los accesorios y los certificados de calibración requieren confirmación por separado. Póngase en contacto con nosotros para verificar el contenido real del paquete antes de realizar el pedido.

Preguntas frecuentes

P1: ¿Cuál es la principal diferencia entre SEF-Z524MGXN y SEC-Z524MGXN?

El SEF-Z524MGXN es un medidor de caudal másico. Mide el flujo de gas sin una válvula de control integrada.

El SEC-Z524MGXN es un controlador de caudal másico. Mide y regula activamente el flujo de gas.

P2: ¿Cómo identifico el rango de flujo de escala completa correcto?

Compruebe la configuración MR/MG y la información de calibración del gas. Los rangos comunes de conversión a nitrógeno incluyen 22, 30 y 50 SLM.

No seleccione un reemplazo utilizando únicamente el prefijo del modelo. Verifique la configuración completa del instrumento original.

P3: ¿Puede el SEF-Z524MGXN reemplazar directamente otro medidor de caudal másico DeviceNet?

No necesariamente. Compruebe el tipo de gas, el rango de escala completa, los accesorios, la fuente de alimentación y la configuración de comunicación.

También verifique las dimensiones de montaje del equipo y la asignación de pines del conector. Estos detalles pueden afectar la compatibilidad de reemplazo.

P4: ¿Qué deben comprobar los ingenieros cuando la lectura de flujo se vuelve inestable?

Comience comprobando la presión aguas arriba y la estabilidad del suministro de gas. Inspeccione las conexiones en busca de fugas y verifique la configuración del gas.

A continuación, compruebe la fuente de 24 V CC y la comunicación DeviceNet. Compare la lectura con un instrumento de referencia adecuado.

Una lectura fluctuante no indica automáticamente un fallo del instrumento. Investigue primero el sistema completo de suministro de gas.

P5: ¿Qué información deben proporcionar los compradores al solicitar un reemplazo?

Proporcione el número de modelo completo, el número de serie, el tipo de gas y el rango de flujo de escala completa.

También proporcione el tipo de conexión y los requisitos de DeviceNet. Una fotografía clara de la placa de identificación ayuda a confirmar la configuración correcta.

Para reemplazos de equipos, proporcione el número de pieza original y los detalles de instalación. Esto reduce los errores de pedido y los riesgos de compatibilidad.

¿Por qué elegir Ubest Automation?

Ubest Automation suministra componentes de automatización industrial para aplicaciones de semiconductores y control de procesos.

• Suministro de productos: Soporte para medidores y controladores de caudal másico HORIBA STEC.
• Verificación de configuración: Asistencia con números de modelo y especificaciones técnicas.
• Pruebas previas al envío: Comprobaciones funcionales antes del envío, sujetas a la disponibilidad del producto y los requisitos de prueba.
• Garantía: Garantía de 12 meses para los productos aplicables.
• Envío: Entrega internacional a través de DHL, FedEx y UPS.
• Soporte técnico: Asistencia con la identificación del producto y la selección de reemplazo.

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Correo electrónico: sales@ubestplc.com

Sitio web: www.ubestplc.com

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