SEC-Z512KX HORIBA STEC SEC-Z500X Controlador de flujo másico

SEC-Z512KX | Controlador de flujo másico de ultra bajo flujo HORIBA STEC SEC-Z500X

El HORIBA STEC SEC-Z512KX es un controlador de flujo másico de ultra bajo flujo de la serie SEC-Z500X Digital/Analógica. Está diseñado para aplicaciones de procesos de semiconductores que requieren un control preciso de flujos de gas muy pequeños, con rangos fijos de escala completa de 1 SCCM o 2 SCCM sobre una base equivalente a N2.

Esta configuración combina una válvula de control piezoeléctrica, señales analógicas de consigna y de salida, y comunicación RS-485 F-Net. Su cuerpo compacto y la distancia de conexión de 106 mm facilitan su integración en conjuntos de suministro de gas donde el espacio de instalación y la estabilidad a bajo flujo son importantes.

01 | Rendimiento de control a bajo flujo

A escala completa, el SEC-Z512KX ofrece una precisión especificada de ±1,0 % de la escala completa (FS) y una repetibilidad de ±0,2 % de FS. Su rango de control se extiende del 2 % al 100 % de FS, lo que permite operar en una amplia parte del rango de medición seleccionado.

Nota de ingeniería: Las opciones de 1 SCCM y 2 SCCM son configuraciones de escala completa fija, no rangos de operación seleccionables por el usuario. Confirme el rango requerido y el gas calibrado antes de realizar el pedido.

02 | Compatibilidad de gases y condiciones de presión

El controlador está calibrado para un gas especificado y un rango de flujo fijo. Por lo tanto, la selección del gas forma parte de la configuración del pedido. La referencia de flujo equivalente a N2 no debe interpretarse como una calibración universal para todos los gases de proceso.

Para los sistemas de suministro de gas de semiconductores, verifique conjuntamente la identidad del gas, la presión diferencial, el material del sello y las condiciones de suministro aguas arriba. Estos factores determinan si el controlador se adapta a la instalación de proceso prevista.

03 | Integración analógica y digital

El SEC-Z512KX admite tanto el control mediante señal analógica como la comunicación digital. Los ingenieros pueden seleccionar la interfaz adecuada según la arquitectura del panel de gas y los requisitos del sistema de control.

• Consigna analógica: 0,1–5 VCC
• Salida analógica: 0–5 VCC
• Interfaz digital: Protocolo RS-485 F-Net
• Velocidad de comunicación: 38.400 bps
• Conectores: D-Sub de 9 pines y RJ-45

Antes de la puesta en servicio, compruebe la configuración de señales del controlador maestro, los ajustes de comunicación, la asignación de pines de los conectores y el esquema de puesta a tierra. No asuma que una conexión física RS-485 garantiza la compatibilidad con un protocolo de comunicación diferente.

04 | Diseño mecánico y dimensiones de instalación

La carcasa compacta mide 126 × 64 × 29 mm (Al × An × Pr). La conexión especificada es un conector macho VCR de 1/4 de pulgada con una distancia de conexión de 106 mm.

Compruebe el espacio disponible en el panel y la distancia entre centros de las conexiones antes de sustituir un controlador instalado. Verifique también que las conexiones VCR emparejadas y la disposición de los sellos coincidan con la línea de gas existente.

05 | Requisitos de alimentación eléctrica

El controlador requiere alimentación de CC bipolar. Confirme que ambos rieles de alimentación se mantengan dentro de las especificaciones bajo carga de operación.

Durante las comprobaciones de arranque, verifique la polaridad de la alimentación y la estabilidad del voltaje antes de aplicar la consigna de flujo. Un cableado de alimentación incorrecto o una capacidad de suministro insuficiente pueden impedir el funcionamiento normal y dificultar el diagnóstico de fallos.

06 | Aplicaciones en procesos de semiconductores

El SEC-Z512KX está destinado a aplicaciones en las que los requisitos de flujo de gas se encuentran dentro de sus rangos fijos de ultra bajo flujo. Las áreas de proceso típicas incluyen:

• Procesos de dopado: Suministro controlado de gases de proceso en aplicaciones de bajo flujo.
• Implantación iónica: Control del suministro de gas para equipos que requieren un flujo calibrado muy pequeño.
• Deposición de películas finas: Gestión de gas a bajo flujo en equipos de procesos de semiconductores.
• Paneles de distribución de gas: Integración compacta en conjuntos de suministro de gas de precisión.

07 | Comprobaciones de selección y puesta en servicio

Utilice las siguientes comprobaciones al especificar o sustituir este controlador:

1. Confirme el rango de escala completa: Seleccione la versión de 1 SCCM o 2 SCCM según el requisito del proceso.
2. Confirme la calibración del gas: Haga coincidir el gas calibrado con el gas de proceso real especificado para la aplicación.
3. Compruebe las condiciones de presión: Mantenga la presión diferencial de operación dentro del rango especificado de 50–300 kPa(d).
4. Verifique la interfaz: Confirme los niveles de señal analógica o los requisitos de comunicación RS-485 F-Net.
5. Compruebe el ajuste mecánico: Verifique la conexión macho VCR de 1/4 de pulgada y la distancia de conexión de 106 mm.
6. Confirme la selección del sello: Haga coincidir los sellos metálicos o de elastómero con los requisitos de material del sistema de gas.

Estas comprobaciones ayudan a reducir los errores de sustitución causados por diferencias en la calibración del gas, el rango, las dimensiones de conexión y las interfaces del sistema de control.

8 | Identificación del producto y datos de pedido

Preguntas frecuentes

P1: ¿Se puede recalibrar el SEC-Z512KX para un gas de proceso diferente después de la instalación?

La configuración suministrada está especificada para calibración de un solo gas y un solo rango. No asuma que cambiar el ajuste del gas en el sistema maestro proporcionará un flujo calibrado equivalente. Confirme las opciones de recalibración compatibles con el fabricante antes de planificar una conversión de gas.

P2: ¿Qué se debe comprobar si el flujo medido no alcanza la consigna indicada?

Compruebe primero las condiciones reales de presión de entrada y salida. Luego verifique el rango de escala completa seleccionado, la calibración del gas, el nivel de consigna analógica y el voltaje de alimentación. Una presión diferencial fuera del intervalo de operación especificado puede limitar la capacidad del controlador para alcanzar el flujo solicitado.

P3: ¿Cómo deben evaluar los ingenieros la inestabilidad del flujo a consignas muy bajas?

Compruebe si el flujo solicitado se encuentra dentro del rango de control del 2–100 % de FS. Inspeccione la estabilidad de la presión aguas arriba y las condiciones de suministro de gas, y luego revise el ruido de la señal y la puesta a tierra. A caudales de ultra bajo flujo, las pequeñas perturbaciones en el suministro de gas o la señal eléctrica pueden volverse significativas en relación con la consigna.

P4: ¿Qué precauciones se recomiendan al sustituir esta unidad en un panel de gas existente?

Compare el gas calibrado, el rango fijo, la orientación de la conexión VCR, la distancia de conexión, el material del sello y la interfaz eléctrica con la unidad instalada. Confirme la configuración de la válvula normalmente abierta o normalmente cerrada según corresponda al diseño del equipo. La coincidencia de la designación del modelo por sí sola no debe sustituir a una comprobación completa de la configuración.

P5: ¿Cuándo se debe reconsiderar la versión sin calefacción para una instalación de proceso?

Evalúe el gas de proceso, la temperatura ambiente, el entorno de instalación y la estabilidad térmica requerida. Este modelo está especificado como la versión estándar sin calefacción, con una temperatura de operación de 5–50 °C. Si el proceso requiere control de temperatura del cuerpo del controlador o de la trayectoria del gas, confirme con el fabricante la configuración calefactada adecuada.

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