Medidor digital de flujo de gas HORIBA SEF-Z514MGX con DeviceNet

Descripción general del producto

El HORIBA STEC SEF-Z514MGX es un medidor digital de caudal másico de la serie SEC-Z500X / SEF-Z500X. Mide los caudales de gas en equipos de procesos de semiconductores y sistemas de suministro de gas de precisión.

El dispositivo utiliza tecnología digital de medición de caudal y admite la comunicación DeviceNet™. Su configuración multirango y multigas permite satisfacer diferentes requisitos de gases de proceso.

El SEF-Z514MGX ofrece un rango de medición del 0 al 100 % de la escala completa. Su tiempo de respuesta alcanza 1 segundo en todo el rango de caudal especificado. La trayectoria de gas de acero inoxidable 316L pulido permite aplicaciones de suministro de gas limpio.

Los ingenieros pueden seleccionar diferentes rangos de escala completa mediante la configuración MR/MG. Un software especial permite a los usuarios cambiar los tipos de gas y los ajustes de escala completa. Esta flexibilidad simplifica la configuración del equipo y la integración del proceso.

• Fabricante: HORIBA STEC
• Serie de productos: SEC-Z500X / SEF-Z500X
• Modelo: SEF-Z514MGX
• Tipo de producto: Medidor digital de caudal másico
• Comunicación: Protocolo DeviceNet™
• Rango de medición: 0–100 % de la escala completa
• Escala completa máxima indicada: 10 SLM
• Material en contacto con el gas: Acero inoxidable 316L pulido

Especificaciones técnicas

Parámetro	Especificación
Fabricante	HORIBA STEC
Modelo	SEF-Z514MGX
Serie	SEC-Z500X / SEF-Z500X
Tipo de producto	Medidor digital de caudal másico
Principio de medición	Medición térmica de caudal másico
Caudal en escala completa	De 10 SCCM a 10 SLM, según la configuración MR/MG
Rango de medición	0–100 % de la escala completa
Precisión	±1,0 % del punto medio por encima del 25 % de la escala completa; ±0,25 % de la escala completa en el 25 % o por debajo
Tiempo de respuesta	≤ 1 segundo
Linealidad	≤ ±0,5 % de la escala completa
Repetibilidad	≤ ±0,2 % de la escala completa
Temperatura de funcionamiento	De 5 a 50 °C
Temperatura recomendada	De 15 a 45 °C
Presión diferencial de funcionamiento	≤ 300 kPa(d)
Presión máxima de funcionamiento	450 kPa(g)
Resistencia a la presión	1000 kPa(g)
Integridad de estanqueidad	≤ 5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
Interfaz digital	Protocolo DeviceNet™
Fuente de alimentación	CC 24 V
Consumo de energía	4,0 VA
Materiales en contacto con el gas	Acero inoxidable 316L pulido
Conexión estándar	Equivalente a VCR de 1/4 de pulgada
Conexiones opcionales	IGS de 1,125 pulgadas / IGS de 1,5 pulgadas
Orientación de montaje	Cualquier orientación

Configuración del rango de caudal en escala completa

El SEF-Z514MGX admite varias configuraciones de escala completa equivalentes a nitrógeno. El código MR/MG determina el rango de medición aplicable.

Código MR/MG	Caudal en escala completa de N₂
#R01	10 SCCM
#R1.5	17,5 SCCM
#01	30 SCCM
#1.5	55 SCCM
#02	100 SCCM
#2.5	175 SCCM
#03	300 SCCM
#3.5	550 SCCM
#04	1 SLM
#4.5	1,75 SLM
#05	3 SLM
#5.5	5,5 SLM
#06	10 SLM

Nota de configuración: Estos valores representan caudales en escala completa equivalentes a nitrógeno. Confirme el código MR/MG instalado antes de realizar el pedido.

Rendimiento de medición y características de ingeniería

• Precisión de medición: La precisión especificada permite un monitoreo preciso del flujo de gas. Cumple con el marco de precisión SEMI E56-1296.
• Respuesta rápida: El tiempo de respuesta se mantiene en 1 segundo o menos en todo el rango de caudal especificado. Esto permite el monitoreo dinámico del proceso.
• Estabilidad de medición: La linealidad alcanza ±0,5 % de la escala completa. La repetibilidad alcanza ±0,2 % de la escala completa.
• Configuración multigas: Un software especial permite cambiar el tipo de gas y los ajustes de escala completa. Verifique la compatibilidad del gas antes de cambiar la configuración.
• Integridad de presión: La resistencia a la presión especificada alcanza 1000 kPa(g). La presión máxima de funcionamiento se mantiene en 450 kPa(g).
• Trayectoria de gas limpio: El acero inoxidable 316L pulido entra en contacto con el gas de proceso. Esta construcción es adecuada para sistemas de suministro de gas de semiconductores.
• Integración digital: DeviceNet™ proporciona comunicación con redes de control industrial compatibles. La conformidad con ODVA permite una integración estandarizada en la red.

Guía de instalación

Una instalación correcta protege la precisión de medición y mantiene la estabilidad del suministro de gas. Siga estas recomendaciones de ingeniería durante la integración del equipo.

1. Compruebe el modelo: Confirme el modelo SEF-Z514MGX y su rango de caudal MR/MG.
2. Verifique la compatibilidad del gas: Confirme el tipo de gas, la compatibilidad de los materiales y la limpieza del proceso.
3. Inspeccione las conexiones: Compruebe las conexiones equivalentes a VCR de 1/4 de pulgada antes de la instalación.
4. Prepare la tubería: Elimine partículas, humedad y contaminantes de la línea de gas.
5. Instale el medidor: Conecte los accesorios de proceso utilizando los procedimientos de instalación adecuados. La unidad admite cualquier orientación de montaje.
6. Compruebe las condiciones de presión: Mantenga la presión diferencial dentro de los límites de funcionamiento especificados.
7. Conecte la alimentación: Proporcione una fuente compatible de 24 VCC. Verifique las conexiones eléctricas antes de energizar.
8. Conecte DeviceNet: Conecte la interfaz de comunicación según el diseño de la red.
9. Realice una prueba de estanqueidad: Compruebe todas las conexiones de proceso antes de introducir el gas de funcionamiento.
10. Verifique la medición: Compare el caudal indicado con un instrumento de referencia adecuado.

Puesta en marcha y mantenimiento

Una puesta en marcha adecuada ayuda a los ingenieros a establecer mediciones estables del caudal de gas. Realice las siguientes comprobaciones durante el arranque y el mantenimiento rutinario.

• Configuración inicial: Verifique el tipo de gas y el ajuste de escala completa MR/MG.
• Verificación de la alimentación: Confirme una alimentación estable de 24 VCC y la polaridad eléctrica correcta.
• Verificación de la red: Compruebe los ajustes del nodo DeviceNet y el estado de la comunicación.
• Inspección de caudal cero: Verifique la lectura de caudal cero en condiciones de proceso adecuadas.
• Comparación de referencia: Compare las mediciones con un instrumento de referencia calibrado.
• Monitoreo de presión: Compruebe las condiciones de presión aguas arriba y aguas abajo.
• Inspección de fugas: Inspeccione los accesorios y las conexiones durante el mantenimiento programado.
• Control de configuración: Registre los cambios en el tipo de gas y los ajustes de escala completa.

Recomendación de mantenimiento: Evite ajustes internos no autorizados. Siga los procedimientos de HORIBA STEC para la calibración y el servicio.

Notas sobre compatibilidad y aplicaciones

El HORIBA STEC SEF-Z514MGX admite la medición del caudal de gas en aplicaciones de suministro de gas de precisión.

• Sistemas de suministro de gas para la fabricación de semiconductores
• Deposición de películas finas y monitoreo de gases de proceso
• Sistemas de suministro de gas para equipos de procesos al vacío
• Paneles de distribución de gas y módulos de suministro
• Equipos de monitoreo de gases de proceso industrial
• Sistemas de automatización compatibles con DeviceNet

Consideraciones importantes de compatibilidad:

• Ajuste el tipo de gas y el rango de escala completa a los requisitos del proceso.
• Confirme la interfaz DeviceNet antes de conectar la red de control.
• Compruebe la fuente de alimentación disponible y las especificaciones de la red.
• Verifique las dimensiones de los accesorios antes de reemplazar un medidor de caudal instalado.
• No asuma que el medidor SEF dispone de las funciones del controlador SEC.

Distinción de modelos: El SEF-Z514MGX es el modelo de medidor de caudal másico. El SEC-Z514MGX es el modelo correspondiente de controlador de caudal másico. El controlador incluye la funcionalidad de control de caudal, mientras que el medidor mide el caudal.

Certificaciones y estándares

• Estándar de comunicación: Protocolo DeviceNet™.
• Conformidad de red: Modelo de comunicación conforme a ODVA.
• Marco de precisión: SEMI E56-1296.
• Alimentación eléctrica: Especificación de alimentación de 24 VCC conforme a ODVA.

Los certificados específicos de seguridad del producto y las aprobaciones regionales deben confirmarse con la documentación de la unidad suministrada. Solicite los documentos de respaldo si su proyecto requiere una certificación adicional.

Contenido del paquete

• 1 × Medidor digital de caudal másico HORIBA STEC SEF-Z514MGX
• 1 × Etiqueta estándar de identificación del producto
• Documentación del producto, según la configuración del paquete suministrado

Nota: Los accesorios, cables, conectores y complementos dependen de la configuración de pedido confirmada. Verifique la lista de empaque antes de realizar la compra.

Preguntas frecuentes (FAQ)

P1: ¿Cuál es la diferencia entre el SEF-Z514MGX y el SEC-Z514MGX?

R: El SEF-Z514MGX mide el caudal másico de gas. El SEC-Z514MGX proporciona medición y control del caudal másico. Seleccione el modelo SEF para aplicaciones de medición.

P2: ¿Qué rangos de caudal admite el SEF-Z514MGX?

R: Sus opciones de escala completa equivalentes a nitrógeno van de 10 SCCM a 10 SLM. El código MR/MG identifica el rango seleccionado.

P3: ¿Pueden los ingenieros cambiar el tipo de gas después de la instalación?

R: Sí, un software especial permite cambiar el tipo de gas y los ajustes de escala completa. Confirme los datos de conversión de gas antes de modificar los ajustes del proceso.

P4: ¿El SEF-Z514MGX admite la comunicación DeviceNet?

R: Sí, este modelo admite la comunicación DeviceNet™. Compruebe la configuración de la red y los requisitos eléctricos antes de la integración.

P5: ¿Qué deben comprobar los ingenieros antes de reemplazar un medidor de caudal existente?

R: Compare el modelo, el tipo de gas, el rango de escala completa, los accesorios, las condiciones de presión y la interfaz de comunicación. Ajustar únicamente las dimensiones externas puede causar errores de medición.

P6: ¿Cómo deben los compradores seleccionar el rango de caudal MR/MG correcto?

R: Seleccione un rango que cubra el caudal de funcionamiento normal. Evite elegir un rango de escala completa innecesariamente grande. Los porcentajes de funcionamiento bajos pueden reducir la resolución efectiva de medición.

P7: ¿Puede el SEF-Z514MGX regular directamente el caudal de gas?

R: No, el modelo SEF funciona como medidor de caudal másico. Elija el SEC-Z514MGX cuando la aplicación requiera una válvula de control integrada.

P8: ¿Qué causa lecturas de caudal inestables durante la puesta en marcha?

R: Los ajustes incorrectos del gas, la presión inestable, la contaminación y las interferencias eléctricas pueden afectar las mediciones. Compruebe estas condiciones antes de reemplazar el instrumento.

P9: ¿Puede el medidor funcionar en cualquier orientación de montaje?

R: Sí, la orientación de montaje especificada no tiene restricciones. Mantenga conexiones de gas limpias y siga los requisitos de instalación.

P10: ¿Qué información deben proporcionar los compradores al solicitar una cotización?

R: Proporcione el modelo completo, el código MR/MG, el tipo de gas, el rango de caudal requerido, el tipo de accesorio y los requisitos de DeviceNet. Estos detalles ayudan a confirmar la configuración correcta.

Información de pedido y asistencia técnica

Suministramos componentes de automatización industrial para equipos de semiconductores y aplicaciones de control de gas de precisión.

• Marca: HORIBA STEC
• Modelo: SEF-Z514MGX
• Serie: SEC-Z500X / SEF-Z500X
• Producto: Medidor digital de caudal másico
• Garantía: 12 meses
• Envío: Opciones de FedEx, DHL y UPS
• Estado del producto: Nuevo y original, sujeto a confirmación del pedido

Contacte a nuestro equipo de ventas para obtener precios, plazos de entrega, verificación de configuración y asistencia técnica. Incluya su código MR/MG requerido y las especificaciones del gas en su consulta.

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