626C21TDE MKS Instruments Baratron Manómetro de capacitancia absoluta sin calefacción

Arquitectura del manómetro capacitivo sin calefacción 626C21TDE

El 626C21TDE es un manómetro capacitivo absoluto de temperatura ambiente perteneciente a la serie Baratron 626C de MKS Instruments. Diseñado para cámaras de grabado de semiconductores, herramientas de deposición física de vapor (PVD y sistemas de vacío de alta pureza, este sensor funciona sin calefactores internos y ofrece mediciones de presión total independientes de la composición del gas. Fabricado con un conducto en contacto con el proceso de aleación de níquel de Inconel e Incoloy, el instrumento soporta subproductos agresivos del proceso en un rango de operación de 20 Torr de fondo de escala.

Árbol de configuración del código de modelo y sufijo

• Desglose de la nomenclatura 626C21TDE:
  • Familia de modelos base (626C): Manómetro capacitivo de presión absoluta de propósito general para temperatura ambiente.
  • Rango de fondo de escala (21T): Presión nominal máxima de 20 Torr (26,66 mbar / 2,67 kPa).
  • Conexión de proceso (D): Conexión de tubo recto con diámetro exterior de 1/2 pulgada (12,7 mm).
  • Interfaz eléctrica (E): Conector macho D-subminiatura de alta densidad de 15 pines que proporciona una señal de salida analógica lineal de 0 a 10 VCC.

Especificaciones técnicas y metrológicas completas

Protección de garantía y logística exprés global

• Garantía de hardware de 12 meses: Cada transductor de presión 626C21TDE está respaldado por una garantía completa de 12 meses que cubre la integridad mecánica y la precisión de calibración.
• Envío expedito a todo el mundo: Opciones de entrega rápidas y seguras a través de transportistas líderes en la industria, incluidos FedEx, UPS y DHL, empaquetado en contenedores industriales resistentes a los golpes.

Preguntas frecuentes de ingeniería y guía de selección de aplicaciones

P1: ¿Cuándo debe un ingeniero elegir la serie 626C sin calefacción en lugar de un modelo Baratron calefactado a 45°C?

R1: Seleccione el 626C21TDE sin calefacción cuando los gases del proceso no generen subproductos condensables y las temperaturas ambiente del bastidor de herramientas se mantengan estables dentro de ±2°C.

P2: ¿Cómo se integra la conexión de tubo recto de 1/2 pulgada (sufijo D) en los colectores de vacío existentes?

R2: El tubo recto de 1/2 pulgada de diámetro exterior permite a los técnicos soldar el sensor directamente en las líneas de suministro de gas de acero inoxidable o utilizar racores de compresión.

P3: ¿Por qué es fundamental el estricto cumplimiento de la tolerancia de la fuente de alimentación de ±15 VCC para la linealidad de la salida?

R3: Las fluctuaciones de voltaje que superan el margen de suministro de ±5% introducen desplazamientos de modo común en el circuito puente interno, alterando la precisión de la escala de 0 a 10 VCC.

P4: ¿Qué estabilidad de cero pueden esperar los operadores durante los ciclos rutinarios de calibración de herramientas?

R4: Con un coeficiente de temperatura de cero de 0,005% FS/°C, se produce una deriva de línea base mínima durante las transiciones térmicas estándar de 0°C a 50°C del gabinete una vez que se calienta.

P5: ¿Cómo afecta el volumen interno de 6,3 cm³ al tiempo de respuesta en los lazos de presión dinámicos?

R5: La cavidad interna ultrpequeña minimiza la retención de gas, lo que permite que el diafragma responda casi instantáneamente a los rápidos transitorios de presión en los lazos de válvulas de acción rápida.

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