SEF-Z524MGXN مقياس تدفق الغاز DeviceNet من HORIBA STEC Z500

نظرة عامة على المنتج

HORIBA STEC SEF-Z524MGXN هو مقياس رقمي للتدفق الكتلي مصمم لقياس تدفق الغاز بدقة في معدات أشباه الموصلات.

ينتمي إلى سلسلة HORIBA STEC SEC-Z500 / SEF-Z500. يستخدم الجهاز واجهة اتصال DeviceNet رقمية لدمج المعدات.

تقوم تهيئة SEF بقياس تدفق الغاز دون صمام تحكم مدمج. ويوفر قياس التدفق في الوقت الفعلي عبر النطاق الكامل المكوّن.

تدعم مكوناته الملامسة للغاز المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L أنظمة توصيل الغاز النظيف. وتناسب أسطحه الداخلية المصقولة بيئات عمليات أشباه الموصلات المتطلبة.

أبرز مميزات المنتج:

• نوع المنتج: مقياس رقمي للتدفق الكتلي (MFM)
• الطراز: SEF-Z524MGXN
• السلسلة: HORIBA STEC Z500
• الاتصال: واجهة رقمية DeviceNet
• نطاق القياس: 0–100% من النطاق الكامل المكوّن
• الدقة: ±1.0% من النقطة القياسية فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% من النطاق الكامل أو أقل
• زمن الاستجابة: ≤1 ثانية
• المادة الملامسة للغاز: فولاذ مقاوم للصدأ 316L مصقول
• مصدر الطاقة: تيار مستمر 24 فولت، 4.0 فولت أمبير

المواصفات الفنية

تحديد المنتج

العلامة التجارية	HORIBA STEC
الطراز	SEF-Z524MGXN
السلسلة	SEC-Z500 / SEF-Z500
نوع المنتج	مقياس رقمي للتدفق الكتلي (MFM)
مبدأ القياس	قياس التدفق الكتلي الحراري
بروتوكول الاتصال	DeviceNet

أداء قياس التدفق

نطاق القياس	0–100% من النطاق الكامل
معدل تدفق تحويل N₂	22 / 30 / 50 لتر/دقيقة، حسب تهيئة MR/MG
الدقة	±1.0% من النقطة القياسية فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% من النطاق الكامل أو أقل
الخطية	≤ ±0.5% من النطاق الكامل
التكرارية	≤ ±0.2% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	≤1 ثانية عبر نطاق القياس الكامل
الدقة التحليلية	غير محددة في وثائق الطراز المتاحة
الاستجابة الترددية	غير محددة بشكل منفصل؛ زمن الاستجابة ≤1 ثانية

ظروف التشغيل والمواصفات الميكانيكية

درجة حرارة التشغيل	من 5 إلى 50 درجة مئوية
درجة الحرارة الموصى بها	من 15 إلى 45 درجة مئوية
الضغط التفاضلي للتشغيل	≤300 كيلو باسكال (d) لتهيئة SEF
أقصى ضغط تشغيل	450 كيلو باسكال (g)
مقاومة الضغط	1,000 كيلو باسكال (g)
سلامة الإحكام	≤5 × 10⁻¹² باسكال·متر³/ثانية (He)
المادة الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ 316L مصقول
الوصلة القياسية	معادل VCR مقاس 1/4 بوصة
الوصلة الاختيارية	IGS مقاس 1.125 بوصة
اتجاه التركيب	أي اتجاه

المواصفات الكهربائية والاتصال

الواجهة الرقمية	بروتوكول DeviceNet
مصدر الطاقة	تيار مستمر 24 فولت
استهلاك الطاقة	4.0 فولت أمبير
معيار الطاقة	متوافق مع المتطلبات المتعلقة بـ ODVA
صمام التحكم	غير قابل للتطبيق؛ SEF هو مقياس للتدفق الكتلي

أداء القياس والقيمة الهندسية

1. قياس دقيق لتدفق الغاز

يقيس SEF-Z524MGXN تدفق الغاز عبر 0–100% من نطاقه الكامل المكوّن.

تدعم دقته المحددة مراقبة العمليات والتحقق من توصيل الغاز. يمكن للمهندسين استخدام بيانات التدفق الراجعة لتقييم استقرار إمداد الغاز.

2. تكرارية قياس مستقرة

تصل التكرارية إلى ≤ ±0.2% من النطاق الكامل. ويساعد ذلك في الحفاظ على نتائج قياس متسقة خلال دورات العملية المتكررة.

تظل الخطية ضمن ±0.5% من النطاق الكامل. وتدعم هذه الخصائص مراقبة موثوقة للتدفق في معدات إنتاج أشباه الموصلات.

3. استجابة قياس سريعة

زمن الاستجابة المحدد هو ≤1 ثانية عبر نطاق القياس. ويدعم ذلك المراقبة في الوقت المناسب لظروف تدفق الغاز المتغيرة.

يعتمد الاستجابة الفعلية للنظام أيضًا على حجم الأنابيب وخصائص الغاز واستقرار الضغط في المنبع.

4. تصميم مسار غاز نظيف

يشكل الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقول مسار التدفق الملامس للغاز. وتدعم هذه المادة التعامل مع الغاز النظيف والتوافق مع العمليات الكيميائية.

سلامة إحكام تسرب الهيليوم المحددة هي ≤5 × 10⁻¹² باسكال·متر³/ثانية. وتساعد هذه المواصفة في تقييم أداء الإحكام في تركيبات توصيل الغاز.

إرشادات التركيب

• موضع التركيب: تدعم الوحدة التركيب في أي اتجاه.
• توافق الغاز: تأكد من نوع الغاز المكوّن قبل التركيب.
• اتجاه التدفق: اتبع علامات الاتجاه على جسم الجهاز.
• توصيل الأنابيب: طابق نوع وحجم الوصلة قبل التجميع.
• الإحكام: استخدم مكونات إحكام متوافقة مع الغاز المختار.
• الضغط: حافظ على ضغط التشغيل ضمن الحدود المحددة.
• درجة الحرارة: حافظ على الظروف المحيطة بين 5 و50 درجة مئوية.
• الإمداد الكهربائي: وفّر مصدر تيار مستمر 24 فولت منظمًا ومناسبًا.
• التأريض: اتبع متطلبات تأريض المعدات وتركيب DeviceNet.
• التحكم في التلوث: حافظ على نظافة وصلات الغاز أثناء التركيب.

هام: تجنب تسليط إجهاد ميكانيكي مفرط على الوصلات. تأكد من سلامة الإحكام قبل إدخال غازات العملية.

التشغيل التجريبي والتشخيص والصيانة

التشغيل التجريبي الأولي

1. تحقق من رقم الطراز الكامل وتهيئة الغاز.
2. افحص نطاق التدفق مقابل متطلبات عملية المعدات.
3. تأكد من إمداد تيار مستمر 24 فولت والوصلات الكهربائية.
4. افحص تهيئة عقدة DeviceNet واتصال الشبكة.
5. تحقق من ضغط إمداد الغاز والضغط التفاضلي.
6. أدخل الغاز المحدد ضمن ظروف التشغيل المعتمدة.
7. قارن التدفق الموضح بجهاز مرجعي مناسب.

توصيات الصيانة

• افحص وصلات الغاز بحثًا عن التسرب خلال الصيانة المجدولة.
• راقب قراءات التدفق بحثًا عن انحرافات غير متوقعة.
• افحص اتصال الشبكة عندما تصبح القراءات غير متاحة.
• راجع ضغط التشغيل عند تغير استقرار القياس.
• اتبع إجراءات HORIBA للمعايرة والصيانة.

لا يوفر طراز SEF صمام تحكم مدمج. يجب أن يلبي تنظيم الغاز الخارجي متطلبات العملية.

التوافق واختيار الطراز

1. تحديد طراز SEF مقابل SEC

الطراز	وظيفة المنتج	التطبيق الرئيسي
SEF-Z524MGXN	مقياس للتدفق الكتلي	قياس تدفق الغاز
SEC-Z524MGXN	وحدة تحكم في التدفق الكتلي	قياس تدفق الغاز والتحكم فيه

يقيس طراز SEF التدفق دون صمام تحكم مدمج. ويضيف طراز SEC تنظيمًا نشطًا للتدفق.

2. اختيار النطاق الكامل

تهيئة MR/MG	معدل تدفق تحويل N₂
#6.5	22 لتر/دقيقة
#07	30 لتر/دقيقة
#08	50 لتر/دقيقة

تمثل هذه القيم معدلات تدفق تحويل النيتروجين. تأكد من معايرة الغاز الفعلية وتهيئة النطاق الكامل قبل الطلب.

3. توافق الغاز والوصلات

• تأكد من نوع الغاز وبيانات المعايرة المقابلة.
• تحقق من نطاق التدفق الكامل المطلوب.
• طابق واجهة DeviceNet مع شبكة المعدات.
• افحص ما إذا كان التركيب يتطلب VCR مقاس 1/4 بوصة أو IGS مقاس 1.125 بوصة.
• تأكد من الموصل الفعلي وتهيئة الأسلاك.

4. التحقق من الاستبدال والمراجع المتقاطعة

تسرد بعض المعدات أرقام قطع ASM 1110-705-01 و1120-949-01.

تتطلب هذه المراجع التحقق منها مقابل تهيئة المعدات الأصلية. لا تفترض قابلية الاستبدال المباشر من رقم القطعة وحده.

الاعتبارات البيئية والكهربائية

• بيئة التشغيل: درجة حرارة محيطة 5–50 درجة مئوية.
• البيئة الموصى بها: 15–45 درجة مئوية للتشغيل العادي.
• مقاومة الضغط: مقاومة ضغط محددة 1,000 كيلو باسكال (g).
• إحكام الغاز: سلامة إحكام تسرب الهيليوم ≤5 × 10⁻¹² باسكال·متر³/ثانية.
• الضوضاء الكهربائية: اتبع ممارسات توجيه كابلات DeviceNet والتأريض.
• حصانة EMC: تتطلب مستويات اختبار الحصانة المحددة تأكيدًا من الشركة المصنعة.
• حماية الدخول: غير محددة في معلومات الطراز المتاحة.
• الدقة التحليلية: تأكد من دقة الإخراج الرقمي مع الشركة المصنعة.

الشهادات والامتثال

• الاتصال: بروتوكول DeviceNet.
• المتطلبات الكهربائية: تيار مستمر 24 فولت، 4.0 فولت أمبير.
• ODVA: تشير متطلبات الطاقة المحددة إلى معايير ODVA.

توافق DeviceNet لا يؤكد بشكل مستقل شهادة المنتج. تحقق من الموافقات والشهادات الإقليمية المعمول بها للتهيئة الدقيقة.

محتويات العبوة

• 1 × مقياس للتدفق الكتلي HORIBA STEC SEF-Z524MGXN، وفقًا للتهيئة المطلوبة.
• معلومات تحديد المنتج وتهيئته، عند توفيرها.
• ملحقات أو وثائق إضافية، تخضع لاتفاقية الطلب.

تتطلب كابلات التوصيل والوصلات وشهادات المعايرة تأكيدًا منفصلًا. يرجى الاتصال بنا للتحقق من محتويات العبوة الفعلية قبل الطلب.

الأسئلة الشائعة

س1: ما هو الفرق الرئيسي بين SEF-Z524MGXN وSEC-Z524MGXN؟

SEF-Z524MGXN هو مقياس للتدفق الكتلي. يقيس تدفق الغاز دون صمام تحكم مدمج.

SEC-Z524MGXN هو وحدة تحكم في التدفق الكتلي. يقيس تدفق الغاز وينظمه بنشاط.

س2: كيف أحدد نطاق التدفق الكامل الصحيح؟

افحص تهيئة MR/MG ومعلومات معايرة الغاز. تشمل نطاقات تحويل النيتروجين الشائعة 22 و30 و50 لتر/دقيقة.

لا تختر بديلًا باستخدام بادئة الطراز وحدها. تحقق من تهيئة الجهاز الأصلي الكاملة.

س3: هل يمكن لـ SEF-Z524MGXN استبدال مقياس تدفق كتلي DeviceNet آخر مباشرة؟

ليس بالضرورة. افحص نوع الغاز، والنطاق الكامل، والوصلات، ومصدر الطاقة، وتهيئة الاتصال.

تحقق أيضًا من أبعاد تركيب المعدات وتعيينات دبابيس الموصل. يمكن أن تؤثر هذه التفاصيل على توافق الاستبدال.

س4: ما الذي يجب على المهندسين فحصه عندما تصبح قراءة التدفق غير مستقرة؟

ابدأ بفحص ضغط المنبع واستقرار إمداد الغاز. افحص الوصلات بحثًا عن التسرب وتحقق من تهيئة الغاز.

بعد ذلك، افحص إمداد تيار مستمر 24 فولت واتصال DeviceNet. قارن القراءة بجهاز مرجعي مناسب.

لا تشير القراءة المتذبذبة تلقائيًا إلى فشل الجهاز. افحص نظام توصيل الغاز الكامل أولًا.

س5: ما المعلومات التي يجب أن يقدمها المشترون عند طلب بديل؟

وفّر رقم الطراز الكامل، والرقم التسلسلي، ونوع الغاز، ونطاق التدفق الكامل.

وفّر أيضًا نوع التوصيل ومتطلبات DeviceNet. تساعد صورة واضحة للوحة الاسمية في تأكيد التهيئة الصحيحة.

لاستبدال المعدات، وفّر رقم القطعة الأصلي وتفاصيل التركيب. يقلل هذا من أخطاء الطلب ومخاطر التوافق.

لماذا تختار Ubest Automation؟

توفر Ubest Automation مكونات الأتمتة الصناعية لتطبيقات أشباه الموصلات والتحكم في العمليات.

• توريد المنتجات: دعم مقاييس ووحدات التحكم في التدفق الكتلي HORIBA STEC.
• التحقق من التهيئة: المساعدة في أرقام الطراز والمواصفات الفنية.
• اختبار ما قبل الشحن: فحوصات وظيفية قبل الإرسال، تخضع لتوفر المنتج ومتطلبات الاختبار.
• الضمان: ضمان لمدة 12 شهرًا للمنتجات المعمول عليها.
• الشحن: توصيل دولي عبر DHL وFedEx وUPS.
• الدعم الفني: المساعدة في تحديد المنتج واختيار البديل.

اتصل بـ Ubest Automation للحصول على الأسعار والتوافر والتحقق الفني.

البريد الإلكتروني: sales@ubestplc.com

الموقع الإلكتروني: www.ubestplc.com

Tags