SEC-Z712 HORIBA STEC SEC-Z700X متحكم تدفق غاز غير حساس للضغط

SEC-Z712 | وحدة تحكم في التدفق الكتلي غير الحساسة للضغط HORIBA STEC SEC-Z700X

تُعد HORIBA STEC SEC-Z712 وحدة تحكم دقيقة في التدفق الكتلي من سلسلة SEC-Z700X. وهي تستخدم تقنية التحكم غير الحساسة للضغط لضمان إمداد ثابت للغاز في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.

على عكس وحدات التحكم التقليدية في التدفق، يشتمل هذا الطراز على مستشعر ضغط مدمج. وتعوض وظيفة عدم الحساسية للضغط عن تقلبات الضغط وتقلل الاعتماد على مكونات خارجية لتنظيم الضغط.

تدعم وحدة التحكم غازات متعددة ونطاقات قياس مختلفة. ويوفر مشغلها الكهرضغطية تحكمًا دقيقًا في الصمام، بينما يتيح اتصال RS-485 التكامل الرقمي مع المعدات المتوافقة.

بفضل زمن استجابة يبلغ ≤1 ثانية (T98)، ودقة تصل إلى ±1.0% من نقطة الضبط، وتقنية الختم المعدني، تدعم SEC-Z712 تطبيقات إمداد الغاز المتطلبة.

01 | بنية المنتج – ما الذي يميز SEC-Z712؟

العنصر الهندسي	الوظيفة والقيمة التطبيقية
التحكم غير الحساس للضغط	يحافظ على استقرار التدفق تحت تقلبات الضغط.
مستشعر ضغط مدمج	يوفر قياسًا داخليًا للضغط لتعويض الضغط.
مشغل كهرضغطي	يتحكم في تدفق الغاز عبر الصمام الداخلي.
إمكانية التعامل مع غازات متعددة	يدعم غازات عمليات متعددة ونطاقات قياس قابلة للاختيار.
الختم المعدني	يوفر مسار تدفق غاز مختوم معدنيًا.
وظيفة العرض المتعدد	يدعم تكوينات عرض متعددة.
اتصال RS-485	يتيح الاتصال الرقمي عبر بروتوكول F-Net.

الميزة الهندسية الرئيسية: يدعم مستشعر الضغط المدمج التحكم في التدفق غير الحساس للضغط. ويساعد ذلك في تقليل انحرافات التدفق الناتجة عن تغير ظروف الضغط في المنبع.

02 | المواصفات الفنية – مرجع شامل للمعلمات

الشركة المصنعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z712
سلسلة المنتج	SEC-Z700X
نوع المنتج	وحدة تحكم في التدفق الكتلي (MFC) غير حساسة للضغط
نطاق التدفق الكامل	من 10 SCCM إلى 10 SLM
الغاز المرجعي	مكافئ N₂
أكواد نطاق القياس	MR/MG #R01–#06
نطاق التحكم	2–100% من النطاق الكامل
الدقة	±1.0% من نقطة الضبط فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% أو أقل
التكرارية	±0.2% من النطاق الكامل
الخطية	±0.5% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	≤1 ثانية (T98، نطاق التدفق الكامل)
نوع الصمام	مشغل كهرضغطي
تكوين الصمام	مفتوح عادةً أو مغلق عادةً
تكوين السخان	نسخة قياسية غير مسخنة
المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ SUS316L وسبائك Co-Ni
السطح الداخلي	تشطيب قياسي مصقول كهربائيًا
الختم	أختام معدنية
سلامة الختم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
درجة حرارة التشغيل	5–50°C
درجة الحرارة الموصى بها	15–45°C
مصدر الطاقة	+15 VDC ±5% / -15 VDC ±5%
استهلاك التيار	165 mA لكل سكة إمداد
الاتصال	RS-485، بروتوكول F-Net
نقطة الضبط التناظرية	0.1–5 VDC
المخرج التناظري	0–5 VDC
سرعة الاتصال	9.6 / 38.4 / 115.2 kbps قابلة للاختيار
الموصلات الكهربائية	D-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45
الأبعاد	126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × السماكة)
وصلة العملية	VCR ذكر مقاس 1/4 بوصة
مسافة التثبيت	124 مم
الامتثال	RoHS، SEMI E56-0309، SEMI F64-0701

الميزة الهندسية الرئيسية: يدعم مستشعر الضغط المدمج التحكم في التدفق غير الحساس للضغط. ويساعد ذلك في تقليل انحرافات التدفق الناتجة عن تغير ظروف الضغط في المنبع.

02 | المواصفات الفنية – مرجع شامل للمعلمات

الشركة المصنعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z712
سلسلة المنتج	SEC-Z700X
نوع المنتج	وحدة تحكم في التدفق الكتلي (MFC) غير حساسة للضغط
نطاق التدفق الكامل	من 10 SCCM إلى 10 SLM
الغاز المرجعي	مكافئ N₂
أكواد نطاق القياس	MR/MG #R01–#06
نطاق التحكم	2–100% من النطاق الكامل
الدقة	±1.0% من نقطة الضبط فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% أو أقل
التكرارية	±0.2% من النطاق الكامل
الخطية	±0.5% من النطاق الكامل
زمن الاستجابة	≤1 ثانية (T98، نطاق التدفق الكامل)
نوع الصمام	مشغل كهرضغطي
تكوين الصمام	مفتوح عادةً أو مغلق عادةً
تكوين السخان	نسخة قياسية غير مسخنة
المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ SUS316L وسبائك Co-Ni
السطح الداخلي	تشطيب قياسي مصقول كهربائيًا
الختم	أختام معدنية
سلامة الختم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
درجة حرارة التشغيل	5–50°C
درجة الحرارة الموصى بها	15–45°C
مصدر الطاقة	+15 VDC ±5% / -15 VDC ±5%
استهلاك التيار	165 mA لكل سكة إمداد
الاتصال	RS-485، بروتوكول F-Net
نقطة الضبط التناظرية	0.1–5 VDC
المخرج التناظري	0–5 VDC
سرعة الاتصال	9.6 / 38.4 / 115.2 kbps قابلة للاختيار
الموصلات الكهربائية	D-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45
الأبعاد	126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × السماكة)
وصلة العملية	VCR ذكر مقاس 1/4 بوصة
مسافة التثبيت	124 مم
الامتثال	RoHS، SEMI E56-0309، SEMI F64-0701

الضغط التشغيلي وخصائص التشغيل

تستخدم SEC-Z712 مستشعر ضغط مدمجًا لدعم تنظيم التدفق غير الحساس للضغط. ويعالج هذا التصميم عدم استقرار العملية الناتج عن تقلبات الضغط في المنبع.

متطلبات الضغط التشغيلي

معلمة الضغط	المواصفة
الضغط التفاضلي التشغيلي	50–300 kPa(d)
تكوين النطاق الخاص	100–300 kPa(d) لـ #5.5 و #06
أقصى ضغط تشغيلي	450 kPa(g)
مقاومة الضغط	1000 kPa(g)
نطاق مستشعر الضغط المدمج	0–700 kPa(A)

الحساسية للتقلبات الضغطية

مجموعة نطاق القياس	الحساسية للتقلبات الضغطية
#02–#10	±(1.0% S.P. + 1.0% FS كحد أقصى)
#R01–#1.5	±(5.0% S.P. + 1.5% FS كحد أقصى)

ملاحظة هندسية: يمثل الضغط التفاضلي والضغط المقاس من الصفر مراجع قياس مختلفة. تأكد من ظروف الضغط عند نقطة التركيب الفعلية.

مقاومة الضغط المحددة ليست هدفًا تشغيليًا عاديًا. حافظ على ضغط الإمداد ضمن حدود التشغيل المعمول بها.

04 | دقة القياس وأداء التحكم

توفر وحدة التحكم مواصفات دقة مختلفة عبر نطاق تشغيلها. ينبغي للمهندسين تقييم هذه القيم مقابل نقطة الضبط الفعلية للعملية.

• الدقة فوق 25% من النطاق الكامل: ±1.0% من نقطة الضبط.
• الدقة عند 25% أو أقل من النطاق الكامل: ±0.25% من النطاق الكامل.
• التكرارية: ±0.2% من النطاق الكامل.
• الخطية: ±0.5% من النطاق الكامل.
• نطاق التحكم: 2–100% من النطاق الكامل.
• زمن الاستجابة: ≤1 ثانية عند T98 عبر نطاق التدفق الكامل.

نصيحة لاختيار التدفق المنخفض: انتبه جيدًا إلى النطاق الكامل عند التشغيل بالقرب من الحد الأدنى للقياس. يمكن أن يقلل النطاق الكامل الأكبر من الدقة الفعلية للتحكم في عمليات التدفق المنخفض.

05 | التوافق مع غازات متعددة واختيار النطاق

تدعم سلسلة HORIBA STEC SEC-Z700X غازات عمليات متعددة من خلال تكوينات الغاز والنطاق القابلة للاختيار.

فئة الغاز	أمثلة مدعومة
الغازات الخاملة	N₂، Ar، He
الغازات التفاعلية	H₂، HBr
غازات عمليات خاصة	SF₆، WF₆

قد تتوفر تكوينات غاز إضافية. تأكد من معايرة الغاز ونطاق القياس الدقيقين قبل الطلب.

اعتبارات الاختيار الهامة:

• حدد غاز العملية الفعلي.
• تأكد من معدل التدفق الكامل المطلوب.
• تحقق من كود النطاق MR/MG المعمول به.
• افحص متطلبات تحويل الغاز والمعايرة.
• تأكد من ظروف الضغط وتكوين الصمام.

لا تمثل تقييمات التدفق المكافئة لـ N₂ تلقائيًا سلوك تدفق فعلي متطابقًا لكل غاز. استخدم تكوين الغاز المحدد للتحكم الدقيق في العملية.

06 | الواجهة الكهربائية وتكامل النظام

تدعم وحدة التحكم واجهات تحكم تناظرية ورقمية. يمكن للمهندسين اختيار الاتصال المناسب وفقًا لبنية المعدات المضيفة.

الواجهة	المواصفات الكهربائية
نقطة الضبط التناظرية	0.1–5 VDC
المخرج التناظري	0–5 VDC
الاتصال الرقمي	RS-485
بروتوكول الاتصال	F-Net
معدلات الباود القابلة للاختيار	9.6، 38.4، 115.2 kbps
الموصلات	D-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45
الإمداد الموجب	+15 VDC ±5%، 165 mA
الإمداد السالب	-15 VDC ±5%، 165 mA

إرشادات التكامل:

• تحقق من مساري الإمداد الموجب والسالب.
• افحص نطاقات الإشارات التناظرية مقابل وحدة التحكم المضيفة.
• طابق معدل باود RS-485 مع جهاز الاتصال الرئيسي.
• تأكد من دعم بروتوكول F-Net قبل التكامل الرقمي.
• تحقق من تعيينات دبابيس الموصل باستخدام وثائق التوصيل الرسمية.

لا تفترض التوافق القياسي مع Modbus RTU. البروتوكول الرقمي المحدد هو HORIBA STEC F-Net.

07 | البنية الميكانيكية والمواد الملامسة للغاز

تؤثر المواد الملامسة للغاز مباشرة على التحكم في التلوث والتوافق مع العملية. تستخدم SEC-Z712 مكونات ملامسة من الفولاذ المقاوم للصدأ وسبائك Co-Ni.

ميزة البنية	المواصفة
المادة الرئيسية الملامسة	فولاذ مقاوم للصدأ SUS316L
مادة ملامسة إضافية	سبائك Co-Ni
معالجة السطح الداخلي	تشطيب قياسي مصقول كهربائيًا
بنية الختم	ختم معدني
سلامة الختم	≤5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
وصلة العملية	VCR ذكر مقاس 1/4 بوصة
الأبعاد الإجمالية	126 × 64 × 29 مم
مسافة التثبيت	124 مم

تدعم البنية المختومة معدنيًا تطبيقات إمداد غاز أشباه الموصلات المتطلبة. ويوفر السطح الداخلي المصقول كهربائيًا تشطيبًا محكومًا للسطح الملامس للغاز.

08 | إرشادات التركيب والتشغيل التجريبي

يحمي التركيب الصحيح دقة القياس ويحافظ على استقرار إمداد الغاز.

1. تأكيد الطراز: طابق SEC-Z712 مع الغاز ونطاق التدفق المطلوبين.
2. فحص وصلات العملية: افحص وصلة VCR الذكر مقاس 1/4 بوصة وأسطح التزاوج.
3. التحقق من توافق الغاز: تأكد من ملاءمة المواد الملامسة لغاز العملية.
4. توصيل الطاقة: وفر إمدادات ±15 VDC مستقرة ضمن التفاوت المحدد.
5. توصيل الإشارات: تحقق من توصيلات الأسلاك التناظرية أو اتصال RS-485.
6. فحص الضغط: حافظ على الضغط التفاضلي والتشغيلي المطلوبين.
7. تكوين معلمات الغاز: اختر الغاز ونطاق القياس الصحيحين.
8. إجراء اختبار التسرب: اتبع إجراءات اختبار تسرب خطوط غاز أشباه الموصلات المعتمدة.
9. التحقق من التدفق: قارن التدفق الموضح بمرجع معاير مناسب.

توصية التشغيل التجريبي: تجنب تغيير تكوينات الغاز دون التحقق من متطلبات المعايرة. يمكن أن يتسبب الاختيار غير الصحيح للغاز في انحرافات كبيرة في القياس.

09 | اعتبارات الصيانة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها

الحالة الملاحظة	الفحص الهندسي الموصى به
عدم استقرار التدفق	افحص تقلبات الضغط في المنبع والضغط التفاضلي.
استجابة تدفق بطيئة	افحص ضغط الإمداد وتكوين الغاز وتشغيل الصمام.
مؤشر تدفق غير صحيح	تحقق من اختيار الغاز والنطاق الكامل والمعايرة المرجعية.
فشل الاتصال	افحص أسلاك RS-485 وإعدادات F-Net ومعدل الباود.
انحراف الإشارة التناظرية	قس نقطة الضبط وجهد الإخراج عند الواجهة.
تسرب غير متوقع	افحص وصلات VCR وأسطح الختم المعدني.
انحراف متعلق بدرجة الحرارة	افحص درجة حرارة المحيط مقابل نطاق التشغيل الموصى به.

يجب أن يشمل الصيانة الروتينية الفحص الخارجي وفحص التوصيلات واختبار التسرب والتحقق من الأداء.

اتبع إجراءات HORIBA STEC للفحص الداخلي وصيانة الصمام. تجنب التفكيك غير المصرح به لمكونات التحكم الدقيق في التدفق.

10 | الامتثال والتطبيقات الصناعية

تم تصميم SEC-Z712 SEC-Z700X لتطبيقات إمداد الغاز الدقيقة في تصنيع أشباه الموصلات.

• RoHS: متوافق مع RoHS.
• SEMI E56-0309: مواصفة امتثال قابلة للتطبيق.
• SEMI F64-0701: مواصفة متعلقة بالتقلبات الضغطية.

التطبيقات النموذجية:

• معدات CVD: تتحكم في إمداد غاز العملية أثناء الترسيب الكيميائي للبخار.
• أنظمة الحفر: تدعم إمداد غاز محكوم لعمليات حفر أشباه الموصلات.
• لوحات غاز متعددة الأدوات: توفر تحكمًا في تدفق الغاز غير الحساس للضغط عبر المعدات.
• العمليات الحساسة للتداخل: تساعد في تقليل اضطرابات التدفق الناتجة عن تقلبات الضغط.
• توزيع غاز أشباه الموصلات: تدعم إمداد غاز دقيق في أنظمة العمليات المتكاملة.

11 | معلومات التعبئة والتغليف والشراء

العنصر	التفاصيل
الشركة المصنعة	HORIBA STEC
الطراز	SEC-Z712
السلسلة	SEC-Z700X
نوع المنتج	وحدة تحكم في التدفق الكتلي غير حساسة للضغط
التكوين	نسخة قياسية غير مسخنة
كمية العبوة	وحدة واحدة
الضمان	12 شهرًا
خيارات الشحن	FedEx أو DHL أو UPS
التوفر	اتصل بنا لمعرفة المخزون الحالي ومدة التوريد

ملاحظة الطلب: تأكد من نوع الغاز ونطاق التدفق الكامل وكود MR/MG وتكوين الصمام ومتطلبات الموصل قبل الشراء.

12 | الأسئلة الشائعة المهنية – الاختيار وهندسة العمليات واستكشاف الأخطاء وإصلاحها

س1: لماذا يُعد التحكم غير المتأثر بالضغط مهمًا في أنظمة الغاز الخاصة بأشباه الموصلات متعددة الأدوات؟

قد تتعرض شبكات توزيع الغاز المشتركة إلى تغيرات في الضغط عند تشغيل أدوات أخرى. ويمكن أن تؤثر هذه التغيرات على وحدات التحكم التقليدية في التدفق الكتلي. ويساعد التحكم غير المتأثر بالضغط في الحفاظ على تدفق مستقر أثناء حدوث مثل هذه الاضطرابات. وتفيد هذه الميزة العمليات ذات المتطلبات الصارمة لتدفق الغاز.

س2: كيف ينبغي للمهندسين الاختيار بين تكوينات الصمام المفتوح في الوضع الطبيعي والمغلق في الوضع الطبيعي؟

قم بتقييم سلوك الإيقاف المطلوب وهيكل سلامة العملية. يمكن للتكوين المغلق في الوضع الطبيعي إيقاف التدفق عند فقدان الصمام حالة التشغيل الخاصة به. ويتصرف التكوين المفتوح في الوضع الطبيعي بشكل مختلف أثناء انقطاع الطاقة أو التحكم. أكّد وضع الفشل المطلوب مع مهندسي العملية والسلامة.

س3: هل يمكن لوحدة SEC-Z712 المعايرة للنيتروجين التحكم مباشرة في WF6 أو HBr؟

لا تفترض إمكانية الاستبدال المباشر بين تكوينات الغاز. فالغازات المختلفة لها خصائص فيزيائية ومتطلبات معايرة مختلفة. تحقق من تحويل الغاز المعتمد، وتوافق المواد الملامسة للغاز، وتكوين MR/MG المحدد قبل التشغيل.

س4: لماذا قد تعرض وحدة التحكم تدفقًا غير مستقر حتى عندما تظل نقطة الضبط التناظرية ثابتة؟

افحص الضغط التفاضلي، واستقرار إمداد الغاز، وأداء منظم الضغط العلوي. افحص أيضًا تكوين الغاز المحدد وقضبان الإمداد الكهربائي. لا يضمن جهد التحكم المستقر تدفقًا فعليًا مستقرًا في ظل ظروف التشغيل غير المناسبة.

س5: ما التفاصيل التي ينبغي لفرق المشتريات تقديمها عند استبدال وحدة تحكم SEC-Z700X مثبتة؟

قدم الطراز الكامل، ونوع الغاز، ومعدل التدفق عند النطاق الكامل، ورمز النطاق، وتكوين الصمام. أكّد توصيل VCR مقاس 1/4 بوصة، والموصلات الكهربائية، ومتطلبات الإمداد. تساعد هذه التفاصيل في منع عدم تطابق المعايرة وتأخيرات التركيب.

Tags