مقياس تدفق الغاز الرقمي HORIBA SEF-Z514MGX مع DeviceNet

نظرة عامة على المنتج

يُعد HORIBA STEC SEF-Z514MGX مقياس تدفق كتلي رقمي من سلسلة SEC-Z500X / SEF-Z500X. ويقوم بقياس معدلات تدفق الغاز في معدات عمليات أشباه الموصلات وأنظمة توصيل الغاز الدقيقة.

يستخدم الجهاز تقنية قياس التدفق الرقمي ويدعم اتصال DeviceNet™. ويدعم تكوينه متعدد النطاقات والغازات متطلبات غازات العمليات المختلفة.

يوفر SEF-Z514MGX نطاق قياس من 0 إلى 100% من النطاق الكامل. ويصل زمن استجابته إلى ثانية واحدة عبر نطاق التدفق المحدد. ويدعم مسار الغاز المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقول تطبيقات توصيل الغاز النظيف.

يمكن للمهندسين اختيار نطاقات كاملة مختلفة من خلال تكوين MR/MG. ويتيح برنامج خاص للمستخدمين تغيير أنواع الغاز وإعدادات النطاق الكامل. وتبسّط هذه المرونة تكوين المعدات ودمج العمليات.

• الشركة المصنّعة: HORIBA STEC
• سلسلة المنتج: SEC-Z500X / SEF-Z500X
• الطراز: SEF-Z514MGX
• نوع المنتج: مقياس تدفق كتلي رقمي
• الاتصال: بروتوكول DeviceNet™
• نطاق القياس: 0–100% من النطاق الكامل
• أقصى نطاق كامل مدرج: 10 SLM
• المادة الملامسة للغاز: فولاذ مقاوم للصدأ 316L مصقول

المواصفات الفنية

المعلمة	المواصفة
الشركة المصنّعة	HORIBA STEC
الطراز	SEF-Z514MGX
السلسلة	SEC-Z500X / SEF-Z500X
نوع المنتج	مقياس تدفق كتلي رقمي
مبدأ القياس	قياس التدفق الكتلي الحراري
معدل التدفق عند النطاق الكامل	من 10 SCCM إلى 10 SLM، حسب تكوين MR/MG
نطاق القياس	0–100% من النطاق الكامل
الدقة	±1.0% من النقطة المرجعية فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% من النطاق الكامل أو أقل
زمن الاستجابة	≤ ثانية واحدة
الخطية	≤ ±0.5% من النطاق الكامل
التكرارية	≤ ±0.2% من النطاق الكامل
درجة حرارة التشغيل	من 5 إلى 50 درجة مئوية
درجة الحرارة الموصى بها	من 15 إلى 45 درجة مئوية
الضغط التفاضلي للتشغيل	≤ 300 kPa(d)
أقصى ضغط تشغيل	450 kPa(g)
مقاومة الضغط	1000 kPa(g)
سلامة الإحكام	≤ 5 × 10⁻¹² Pa·m³/s (He)
الواجهة الرقمية	بروتوكول DeviceNet™
مصدر الطاقة	24 VDC
استهلاك الطاقة	4.0 VA
المواد الملامسة للغاز	فولاذ مقاوم للصدأ 316L مصقول
التوصيل القياسي	مكافئ VCR مقاس 1/4 بوصة
التوصيلات الاختيارية	IGS مقاس 1.125 بوصة / IGS مقاس 1.5 بوصة
اتجاه التركيب	أي اتجاه

تكوين نطاق التدفق عند النطاق الكامل

يدعم SEF-Z514MGX تكوينات متعددة للنطاق الكامل المكافئ للنيتروجين. ويحدد رمز MR/MG نطاق القياس المعمول به.

رمز MR/MG	معدل تدفق N₂ عند النطاق الكامل
#R01	10 SCCM
#R1.5	17.5 SCCM
#01	30 SCCM
#1.5	55 SCCM
#02	100 SCCM
#2.5	175 SCCM
#03	300 SCCM
#3.5	550 SCCM
#04	1 SLM
#4.5	1.75 SLM
#05	3 SLM
#5.5	5.5 SLM
#06	10 SLM

ملاحظة التكوين: تمثل هذه القيم معدلات النطاق الكامل المكافئة للنيتروجين. تأكد من رمز MR/MG المثبت قبل الطلب.

أداء القياس والميزات الهندسية

• دقة القياس: تدعم الدقة المحددة مراقبة دقيقة لتدفق الغاز. وتتبع إطار دقة SEMI E56-1296.
• استجابة سريعة: يظل زمن الاستجابة ضمن ثانية واحدة عبر نطاق التدفق المحدد. ويدعم ذلك المراقبة الديناميكية للعمليات.
• استقرار القياس: تصل الخطية إلى ±0.5% من النطاق الكامل. وتصل التكرارية إلى ±0.2% من النطاق الكامل.
• تكوين متعدد الغازات: يدعم برنامج خاص تغيير نوع الغاز وإعدادات النطاق الكامل. تحقق من توافق الغاز قبل تغيير التكوين.
• سلامة الضغط: تصل مقاومة الضغط المحددة إلى 1000 kPa(g). ويظل أقصى ضغط تشغيل 450 kPa(g).
• مسار غاز نظيف: يلامس الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المصقول غاز العملية. ويناسب هذا التصميم أنظمة توصيل غازات أشباه الموصلات.
• التكامل الرقمي: يوفر DeviceNet™ اتصالًا مع شبكات التحكم الصناعية المتوافقة. ويدعم الامتثال لـ ODVA التكامل القياسي للشبكة.

دليل التركيب

يحمي التركيب الصحيح دقة القياس ويحافظ على استقرار توصيل الغاز. اتبع هذه التوصيات الهندسية أثناء دمج المعدات.

1. تحقق من الطراز: تأكد من طراز SEF-Z514MGX ونطاق تدفقه MR/MG.
2. تحقق من توافق الغاز: تأكد من نوع الغاز وتوافق المواد ونظافة العملية.
3. افحص التوصيلات: افحص وصلات VCR المكافئة مقاس 1/4 بوصة قبل التركيب.
4. جهّز خط الأنابيب: أزل الجسيمات والرطوبة والملوثات من خط الغاز.
5. ركّب المقياس: وصّل وصلات العملية باستخدام إجراءات تركيب مناسبة. ويدعم الجهاز أي اتجاه تركيب.
6. تحقق من ظروف الضغط: حافظ على الضغط التفاضلي ضمن حدود التشغيل المحددة.
7. وصّل الطاقة: وفّر مصدر طاقة متوافق 24 VDC. تحقق من التوصيلات الكهربائية قبل التشغيل.
8. وصّل DeviceNet: وصّل واجهة الاتصال وفقًا لتصميم الشبكة.
9. أجرِ اختبار التسرب: افحص جميع وصلات العملية قبل إدخال غاز التشغيل.
10. تحقق من القياس: قارن التدفق الموضح بجهاز مرجعي مناسب.

التشغيل والصيانة

يساعد التشغيل الصحيح المهندسين على إنشاء قياسات تدفق غاز مستقرة. استخدم الفحوصات التالية أثناء بدء التشغيل والصيانة الروتينية.

• التكوين الأولي: تحقق من نوع الغاز وإعداد MR/MG للنطاق الكامل.
• التحقق من الطاقة: تأكد من استقرار طاقة 24 VDC وصحة القطبية الكهربائية.
• التحقق من الشبكة: افحص إعدادات عقدة DeviceNet وحالة الاتصال.
• فحص التدفق الصفري: تحقق من قراءة التدفق الصفري في ظروف عملية مناسبة.
• المقارنة المرجعية: قارن القياسات بجهاز مرجعي تمت معايرته.
• مراقبة الضغط: افحص ظروف الضغط في المنبع والمصب.
• فحص التسرب: افحص الوصلات والتوصيلات أثناء الصيانة المجدولة.
• التحكم في التكوين: سجّل التغييرات في نوع الغاز وإعدادات النطاق الكامل.

توصية الصيانة: تجنب التعديلات الداخلية غير المصرح بها. اتبع إجراءات HORIBA STEC للمعايرة والخدمة.

ملاحظات التوافق والتطبيق

يدعم HORIBA STEC SEF-Z514MGX قياس تدفق الغاز في تطبيقات توصيل الغاز الدقيقة.

• أنظمة إمداد غازات تصنيع أشباه الموصلات
• ترسيب الأغشية الرقيقة ومراقبة غازات العملية
• أنظمة توصيل غازات معدات العمليات المفرغة
• لوحات توزيع الغاز ووحدات الإمداد
• معدات مراقبة غازات العمليات الصناعية
• أنظمة الأتمتة المتوافقة مع DeviceNet

اعتبارات التوافق الهامة:

• طابق نوع الغاز ونطاق النطاق الكامل مع متطلبات العملية.
• تأكد من واجهة DeviceNet قبل توصيل شبكة التحكم.
• تحقق من مصدر الطاقة المتاح ومواصفات الشبكة.
• تحقق من أبعاد الوصلات قبل استبدال مقياس تدفق مثبت.
• لا تفترض وجود وظائف وحدة تحكم SEC في مقياس SEF.

التمييز بين الطرازين: SEF-Z514MGX هو طراز مقياس التدفق الكتلي. SEC-Z514MGX هو طراز وحدة التحكم في التدفق الكتلي المقابل. تتضمن وحدة التحكم وظيفة التحكم في التدفق، بينما يقيس المقياس التدفق.

الشهادات والمعايير

• معيار الاتصال: بروتوكول DeviceNet™.
• مطابقة الشبكة: نموذج اتصال متوافق مع ODVA.
• إطار الدقة: SEMI E56-1296.
• الإمداد الكهربائي: مواصفات طاقة 24 VDC متوافقة مع ODVA.

تتطلب شهادات سلامة المنتج المحددة والموافقات الإقليمية التأكيد بمقارنتها مع وثائق الوحدة الموردة. يُرجى طلب الوثائق الداعمة عندما يتطلب مشروعك شهادة إضافية.

محتويات العبوة

• 1 × مقياس تدفق كتلي رقمي HORIBA STEC SEF-Z514MGX
• 1 × ملصق قياسي لتعريف المنتج
• وثائق المنتج، حسب تكوين العبوة الموردة

ملاحظة: تعتمد الوصلات والكابلات والموصلات والملحقات على تكوين الطلب المؤكد. يُرجى التحقق من قائمة التعبئة قبل الشراء.

الأسئلة الشائعة (FAQ)

س1: ما الفرق بين SEF-Z514MGX و SEC-Z514MGX؟

ج: يقيس SEF-Z514MGX التدفق الكتلي للغاز. ويوفر SEC-Z514MGX قياس التدفق الكتلي والتحكم فيه. اختر طراز SEF لتطبيقات القياس.

س2: ما نطاقات التدفق التي يدعمها SEF-Z514MGX؟

ج: تتراوح خيارات النطاق الكامل المكافئ للنيتروجين من 10 SCCM إلى 10 SLM. ويحدد رمز MR/MG النطاق المختار.

س3: هل يمكن للمهندسين تغيير نوع الغاز بعد التركيب؟

ج: نعم، يدعم برنامج خاص تغيير نوع الغاز وإعدادات النطاق الكامل. تأكد من بيانات تحويل الغاز قبل تعديل إعدادات العملية.

س4: هل يدعم SEF-Z514MGX اتصال DeviceNet؟

ج: نعم، يدعم هذا الطراز اتصال DeviceNet™. تحقق من تكوين الشبكة والمتطلبات الكهربائية قبل الدمج.

س5: ما الذي يجب على المهندسين التحقق منه قبل استبدال مقياس تدفق موجود؟

ج: قارن الطراز ونوع الغاز ونطاق النطاق الكامل والوصلات وظروف الضغط وواجهة الاتصال. قد يؤدي مطابقة الأبعاد الخارجية فقط إلى أخطاء في القياس.

س6: كيف يختار المشترون نطاق التدفق MR/MG الصحيح؟

ج: اختر نطاقًا يغطي التدفق التشغيلي العادي. تجنب اختيار نطاق كامل كبير بشكل غير ضروري. يمكن أن تقلل النسب التشغيلية المنخفضة من دقة القياس الفعالة.

س7: هل يمكن لـ SEF-Z514MGX تنظيم تدفق الغاز مباشرة؟

ج: لا، يعمل طراز SEF كمقياس تدفق كتلي. اختر SEC-Z514MGX عندما يتطلب التطبيق صمام تحكم مدمجًا.

س8: ما الذي يسبب قراءات تدفق غير مستقرة أثناء التشغيل؟

ج: يمكن أن تؤثر إعدادات الغاز غير الصحيحة والضغط غير المستقر والتلوث والتداخل الكهربائي على القياسات. تحقق من هذه الظروف قبل استبدال الجهاز.

س9: هل يمكن تشغيل المقياس في أي اتجاه تركيب؟

ج: نعم، اتجاه التركيب المحدد غير مقيد. حافظ على توصيلات غاز نظيفة واتبع متطلبات التركيب.

س10: ما المعلومات التي يجب أن يقدمها المشترون عند طلب عرض أسعار؟

ج: قدم الطراز الكامل ورمز MR/MG ونوع الغاز ونطاق التدفق المطلوب ونوع الوصلة ومتطلبات DeviceNet. تساعد هذه التفاصيل في تأكيد التكوين الصحيح.

معلومات الطلب والدعم الفني

نحن نوفر مكونات الأتمتة الصناعية لمعدات أشباه الموصلات وتطبيقات التحكم الدقيق في الغاز.

• العلامة التجارية: HORIBA STEC
• الطراز: SEF-Z514MGX
• السلسلة: SEC-Z500X / SEF-Z500X
• المنتج: مقياس تدفق كتلي رقمي
• الضمان: 12 شهرًا
• الشحن: خيارات FedEx و DHL و UPS
• حالة المنتج: جديد وأصلي، حسب تأكيد الطلب

تواصل مع فريق المبيعات لدينا للحصول على الأسعار وفترة التوريد والتحقق من التكوين والمساعدة الفنية. يُرجى تضمين رمز MR/MG المطلوب ومواصفات الغاز في استفسارك.

Tags