E28H.1TBF5B مستشعر نقش باراترون من سلسلة E28H من MKS Instruments

نظرة عامة على المنتج | جهاز باراترون E28H.1TBF5B المحسّن لعمليات الحفر

يُعد MKS Instruments E28H.1TBF5B مقياس ضغط سعوي مطلق مُدفّأ بدرجة حرارة 100 درجة مئوية من سلسلة E28H، وهو جزء من سلسلة MKS 600. ويجمع بين نطاق قياس منخفض الضغط يبلغ 0.1 تور ومصدّ حفر مدمج مصمم لبيئات عمليات أشباه الموصلات المتطلبة.

يحافظ المستشعر على عنصر القياس الخاص به عند درجة حرارة مضبوطة تبلغ 100 درجة مئوية. ويدعم هذا التصميم الحراري قياسًا مستقرًا للضغط في العمليات التي يمكن أن تؤثر فيها الغازات المسببة للتآكل والنواتج الثانوية للتفاعلات على أسطح المستشعر المكشوفة. ويساعد الحوض المدمج الحاصل على براءة اختراع في الحد من الترسيب على الحجاب الحاجز الحساس.

يوفر الجهاز مخرجًا تناظريًا من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر ويستخدم موصل D-sub بـ 15 دبوسًا مع أقفال للولبيات. ولا يحتوي على مخرجات لنقاط التبديل أو مؤشر LED لحالة السخان في التكوين المحدد.

تصميم عملية الحفر | استقرار القياس والحماية

يعالج تصميم E28H تحديًا عمليًا في تطبيقات حفر أشباه الموصلات: يمكن أن تتراكم رواسب العملية داخل معدات قياس الضغط وتؤثر على الأداء على المدى الطويل.

• مصدّ حفر مدمج: يساعد هيكل الحوض الحاصل على براءة اختراع في إدارة النواتج الثانوية للعملية قبل وصولها إلى الحجاب الحاجز الحساس.
• التحكم في درجة الحرارة عند 100 درجة مئوية: يدعم المستشعر المُدفّأ ظروف قياس مضبوطة أثناء عمليات الحفر المتوافقة.
• مواد إنكونيل ملامسة للغاز: صُمم الهيكل الملامس للغاز المحدد لبيئات غازات العملية المتطلبة. تأكد من التوافق الكيميائي مع خليط الغاز الفعلي.
• قياس منخفض الضغط: يدعم النطاق الكامل للقياس البالغ 0.1 تور التطبيقات التي تتطلب مراقبة حساسة للضغط المطلق.
• المعايرة الأفقية: تمت معايرة الجهاز في وضع أفقي. يجب أن يحافظ التركيب على موضع المرجع المحدد.

المواصفات الفنية

المعلمة	المواصفة
الشركة المصنّعة	MKS Instruments
الطراز	E28H.1TBF5B
سلسلة المنتج	E28H / سلسلة 600
نوع المنتج	جهاز باراترون E28H.1TBF5B مُدفّأ لعمليات الحفر
نوع القياس	الضغط المطلق
النطاق الكامل للقياس	0.1 تور
درجة حرارة المستشعر	مضبوطة عند 100 درجة مئوية
الدقة	0.50% من القراءة، بما في ذلك اللاخطية والتخلف واللا تكرارية
التمييز	0.001% من النطاق الكامل
وقت الإحماء	4 ساعات
اتجاه المعايرة	أفقي
مصدر الطاقة	±15 فولت تيار مستمر (±5%)
التيار الأقصى	0.60 أمبير
المخرج التناظري	0 إلى +10 فولت تيار مستمر
حمل المخرج	أكبر من 10 كيلو أوم
الموصل الكهربائي	D-sub بـ 15 دبوسًا مع أقفال للولبيات
نقاط التبديل	لا يوجد؛ مخرج تناظري فقط
مؤشر LED لحالة السخان	غير مشمول
حد الضغط الزائد	45 psia (310 كيلو باسكال) أو 120% من النطاق الكامل، أيهما أكبر
الحجم الداخلي	6.3 سنتيمتر مكعب
وصلة العملية	8 VCR أنثى
المواد الملامسة للغاز	إنكونيل
درجة حرارة التشغيل	15 إلى 40 درجة مئوية
معامل درجة حرارة الصفر	0.01% من النطاق الكامل/درجة مئوية
معامل درجة حرارة المدى	0.02% من القراءة/درجة مئوية
الأبعاد	القطر: 3.15 بوصة (80.0 مم)؛ ارتفاع الجسم: 3.87 بوصة (98.4 مم)؛ الساق: 1.38 بوصة (35.1 مم)
الامتثال	متوافق مع CE

تفصيل التكوين | E28H.1TBF5B

يحدد رمز الطلب عائلة المستشعر ونطاق القياس ووصلة العملية والواجهة الكهربائية وفئة الدقة واتجاه المعايرة.

جزء الرمز	التكوين	التفسير الهندسي
E28H	عائلة طراز مستشعر الحفر	مقياس ضغط سعوي مطلق e-Baratron مُدفّأ بدرجة حرارة 100 درجة مئوية مع هيكل حماية حفر مدمج.
1T	نطاق 0.1 تور	يحدد النطاق الكامل للضغط للجهاز.
B	8 VCR أنثى	يحدد وصلة العملية 8 VCR الأنثى المتوافقة مع Swagelok.
F	D-sub بـ 15 دبوسًا	واجهة كهربائية تناظرية مع أجهزة قفل للولبيات.
5	دقة قراءة 0.50%	يحدد فئة دقة القياس المذكورة.
B	معايرة أفقية	يحدد اتجاه المعايرة المستخدم للجهاز.

ملاحظة الطلب: تحقق من اللاحقة الكاملة مقابل لوحة اسم الجهاز والوثائق المعمول بها من MKS قبل الاستبدال. إن مطابقة عائلة الطراز وحدها لا تثبت التوافق الكهربائي أو الميكانيكي أو توافق العملية.

اعتبارات التركيب والتشغيل

• اتجاه التركيب: قم بتركيب المستشعر في اتجاه معايرته الأفقي المحدد. يمكن أن يؤثر موضع التركيب غير الصحيح على أداء القياس.
• الاستقرار الحراري: اترك حوالي أربع ساعات للإحماء قبل الاعتماد على قراءات القياس. تجنب التعامل مع قيم بدء التشغيل المبكرة على أنها بيانات عملية مستقرة.
• التحقق من الطاقة: تأكد من وجود مصدر طاقة منظم ±15 فولت تيار مستمر ضمن ±5% وتأكد من أن الدائرة يمكنها دعم الحد الأقصى لمتطلب التيار البالغ 0.60 أمبير.
• تكامل الإشارة: قم بتكوين وحدة التحكم المستقبلة أو قناة الحصول على البيانات لإشارة تناظرية من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر. تحقق من أن ممانعة دخلها تتجاوز 10 كيلو أوم.
• وصلة العملية: تأكد من أن وصلة 8 VCR الأنثى تتطابق مع منفذ الغرفة والأجهزة المقترنة. اتبع إجراءات توصيل الفراغ عالية النقاء المعمول بها.
• توافق الغاز: راجع كيمياء العملية وظروف درجة الحرارة قبل تعريض أسطح الإنكونيل الملامسة للغازات المسببة للتآكل.

الصيانة والتشخيص الميداني

بالنسبة لتطبيقات الحفر منخفضة الضغط، تعتمد القراءات المستقرة على أكثر من دقة المستشعر. يمكن أن تؤثر رواسب العملية وظروف التركيب والتأريض الكهربائي والاستقرار الحراري جميعها على حلقة القياس.

• استجابة بطيئة أو انحراف الضغط: تحقق من التلوث من جانب العملية وتغير ظروف الغرفة والاستقرار الحراري غير المكتمل قبل ضبط نظام التحكم.
• إزاحة صفر غير متوقعة: تحقق من اتجاه التركيب وجهد الإمداد ومرجع الإشارة وظروف ضغط الغرفة الفعلية.
• إشارة تناظرية غير مستقرة: افحص اشتباك الموصل ودروع الكابل والتأريض وتكوين دخل وحدة التحكم.
• تلوث متكرر من جانب العملية: راجع كيمياء الحفر وفترات تنظيف الغرفة وحالة المصد المدمج. لا تفترض أن المصد يلغي جميع متطلبات الصيانة.
• التحقق من الاستبدال: قارن اللاحقة الكاملة والوصلة وواجهة المخرج واتجاه المعايرة ونطاق الضغط قبل تركيب بديل.

إرشادات التوافق والاستبدال

تحدد MKS أن E28H قابل للاستبدال بمقاييس باراترون 128 و628A/B/D وE28B/D/F الأقدم. وهذا يوفر نقطة بداية مفيدة عند تقييم استبدال المعدات القديمة.

ومع ذلك، يجب تأكيد قابلية الاستبدال للتركيب المحدد. تحقق من نطاق الضغط ووصلة العملية وتوزيع دبابيس الموصل ومتطلبات الإمداد وتدرج الإشارة التناظرية واتجاه المعايرة وتوافق مواد العملية. إن بيان الاستبدال على مستوى العائلة لا يضمن أن كل تكوين لاحقة هو بديل مباشر.

معلومات العبوة والإمداد

• المنتج: MKS Instruments E28H.1TBF5B مستشعر حفر باراترون مُدفّأ
• التكوين: 0.1 تور، 8 VCR أنثى، D-sub بـ 15 دبوسًا، دقة قراءة 0.50%، معايرة أفقية
• الضمان: 12 شهرًا
• طرق الشحن: FedEx أو UPS أو DHL
• محتويات العبوة: وحدة المستشعر والملحقات القياسية الموردة مع تكوين الطلب المؤكد. يرجى تأكيد متطلبات الملحقات قبل الطلب.

الأسئلة الشائعة

س1: ما الذي يجب على المهندسين التحقق منه قبل استبدال باراترون أقدم بهذا الطراز E28H؟

قارن النطاق الكامل للقياس ووصلة العملية وتوزيع دبابيس الموصل ومصدر الطاقة وتدرج المخرج واتجاه التركيب. وأكد أيضًا أن البديل يناسب كيمياء غاز العملية. لا تعتمد على قابلية استبدال عائلة الطراز وحدها.

س2: هل مستشعر بنطاق كامل 0.1 تور مناسب لكل غرفة حفر منخفضة الضغط؟

لا. يجب أن يغطي النطاق المحدد ضغط تشغيل الغرفة العادي والتقلبات المتوقعة. قد يؤدي النطاق المرتفع جدًا إلى التضحية بدقة الإشارة المفيدة، بينما قد يؤدي النطاق المنخفض جدًا إلى تعريض المستشعر لتقلبات ضغط غير مناسبة. راجع الضغط العادي وحدود التحكم وظروف الخلل معًا.

س3: كيف يمكن لفرق الصيانة التمييز بين مشاكل المستشعر وتغيرات عملية الغرفة؟

قارن مخرج باراترون بمرجع ضغط مستقل أو قياس غرفة تم التحقق منه. تحقق من الحلقة التناظرية والاستقرار الحراري أولًا. إذا ظلت الإشارة الكهربائية مستقرة بينما يتغير الضغط المرجعي، فافحص الغرفة وظروف العملية قبل الحكم على المستشعر بأنه تالف.

س4: ما المعدات الإضافية المطلوبة لاستخدام هذا الطراز في نظام تحكم؟

يحتاج النظام المستقبل إلى مصدر طاقة ±15 فولت تيار مستمر متوافق ومدخل تناظري من 0 إلى +10 فولت تيار مستمر بممانعة أعلى من 10 كيلو أوم. تأكد من تعيين دبابيس الموصل ومتطلبات الإشارة المشتركة من وثائق الأسلاك المعمول بها قبل التشغيل.

س5: متى يجب على المشتري اختيار مستشعر حفر بدلاً من باراترون مُدفّأ قياسي؟

فكر في تصميم مخصص للحفر عندما تخلق كيمياء العملية والنواتج الثانوية للتفاعلات خطرًا ملموسًا للترسيب حول الحجاب الحاجز الحساس. يهدف الحوض المدمج إلى المساعدة في إدارة هذا التعرض. ومع ذلك، يجب أن يأخذ الاختيار في الاعتبار توافق الغاز وممارسات تنظيف الغرفة ونطاق الضغط واستراتيجية الصيانة.

لماذا تطلب E28H.1TBF5B من Global PLC Spare HUB؟

يدعم Global PLC Spare HUB توفير أتمتة الصناعة ومعدات عمليات أشباه الموصلات. نحن نقدم التحقق من الطراز واللاحقة للمساعدة في تقليل أخطاء الطلب في مشاريع الاستبدال.

• ضمان لمدة 12 شهرًا: يتم توفير تغطية الضمان وفقًا لشروط الطلب المؤكدة.
• الشحن الدولي: تتوفر خيارات الشحن عبر FedEx وUPS وDHL.
• مراجعة فنية للطلب: تأكد من النطاق والوصلة والموصل واتجاه المعايرة قبل الشراء.
• دعم التطبيق: شارك طرازك الحالي وتفاصيل التركيب لمراجعة توافق الاستبدال.

تواصل مع فريقنا باستخدام رقم القطعة الكامل E28H.1TBF5B للحصول على الأسعار والتوافر والتأكيد الفني.

Tags