901P-41010-0142 MKS 901P محول ضغط ميكرو-بيراني ميكروي لغرفة تحميل القفل

Manufacturer: MKS Instruments
Product No.: 901P-41010-0142
Condition： متوفر بالمخزون
Product Type: محول ضغط الفراغ
Product Origin: USA
Payment: T/T, Western Union
Weight: 500g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months

الكمية

Selected quantity: 1

تقدير أوقات التسليم: 12-26 يومًا (دوليًا)، 3-6 أيام (الولايات المتحدة).

يجب الإرجاع خلال 30 يومًا من الشراء. الرسوم والضرائب غير قابلة للاسترداد.

دفع آمن ومضمون

901P-41010-0142 MKS 901P محول ضغط الفراغ MicroPirani™ والضغط التفاضلي Piezo لغرفة التحميل

يُعد 901P-41010-0142 محول ضغط فراغ MEMS ثنائي المستشعرات، صممته MKS Instruments للتحكم عالي الإنتاجية في غرف التحميل لأشباه الموصلات والانتقال من الضغط الجوي إلى الفراغ العالي. ومن خلال الجمع بين مستشعر التوصيل الحراري MicroPirani™ وحجاب حاجز تفاضلي Piezo بتقنية MEMS، تلغي سلسلة 901P الاعتماد على تكوين الغاز بالقرب من الضغط الجوي، وهو ما يحد من أجهزة قياس Pirani المستقلة.

يوفر هذا التصميم المتكامل قياسًا مستمرًا للضغط المطلق من 1.0 × 10^-5 إلى 1500 تور إلى جانب مراقبة حقيقية للضغط التفاضلي من -760 إلى +760 تور لعمليات تفريغ غرف التحميل وتخفيف الضغط بسرعة وأمان.

رقم القطعة وهيكل التكوين

جزء رمز القطعة	تعريف التكوين	الدور الهندسي والتطبيقي
901P	سلسلة محولات ضغط غرف التحميل MKS 901P	منصة محول تفاضلي مزدوجة MEMS MicroPirani™ + Piezo للتحكم المستمر من الفراغ إلى الضغط الجوي.
-41010	واجهة الأجهزة وتكوين الحافة	يحدد حافة الفراغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 (مثل KF16 المدمجة بحجم داخلي 2.8 سم مكعب)، والموصل الكهربائي، وملف تعريف ناقل الاتصال.
-0142	برنامج المصنع الثابت، ونوع المرحّل والمخرج	يحدد إعدادات الاتصال الرقمي المخصصة لأجهزة OEM، وتوسيع النطاق التماثلي، وتعيين مرحّل SPDT اختياري.

الدقة المترولوجية وأداء المستشعر

مستشعر MicroPirani™ المطلق (التوصيل الحراري بتقنية MEMS):
- نطاق القياس الإجمالي: 1.0 × 10^-5 إلى 1500 تور
- من 5 × 10^-4 إلى 1 × 10^-3 تور: ±10% من القراءة
- من 1 × 10^-3 إلى 100 تور: ±5% من القراءة (تكرارية ±2%)
- من 100 تور إلى الضغط الجوي: ±25% من القراءة (يتم التعويض تلقائيًا بواسطة مستشعر Piezo)
مستشعر Piezo التفاضلي (حجاب حاجز MEMS):
- النطاق التفاضلي الإجمالي: -760 إلى +760 تور (استقرار الصفر: ±0.1% من النطاق الكامل 760 تور)
- من -760 إلى -100 تور: ±1% من القراءة (تكرارية ±1% حتى +10 تور)
- من -100 إلى -10 تور: ±8% من القراءة
- من -10 إلى +10 تور: ±10% من القراءة
- من +10 إلى 100 تور: ±5% من القراءة

المواصفات الكهربائية والميكانيكية والبيئية

النظام الفرعي	المعلمة	البيانات الفنية المؤكدة
الواجهة الرقمية	البروتوكول ومعدل الباود	RS485 / RS232 (من 4800 إلى 230,400 باود)
المخرجات التماثلية	المطلق والتفاضلي	من 1 إلى 9 فولت تيار مستمر (1 فولت تيار مستمر/عقد، 16 بت، ≤100 أوم)؛ المخرج 2 اختياري: 5 فولت تيار مستمر = 0 تور (12 بت)
مرحّلات التحكم	نقاط الضبط والتصنيف	حتى 3 مرحّلات SPDT (اختياري)؛ 1 أمبير @ 30 فولت تيار متردد/مستمر مقاوم؛ استجابة ≤100 مللي ثانية
نطاقات نقاط الضبط	عتبات التشغيل	المطلق: 5.0 × 10^-4 إلى 1000 تور؛ التفاضلي: -760 إلى +100 تور
المعايرة بالغاز	الوسائط المدعومة	الهواء، الأرغون، الهيليوم، النيتروجين، H₂، بخار H₂O، CO₂، الزينون، النيون
مصدر الطاقة	جهد الإدخال والسحب	من 9 إلى 30 فولت تيار مستمر؛ <1.2 واط كحد أقصى (RS232/RS485) / <2 واط كحد أقصى (نسخة EtherCAT)
المواد الملامسة	بنية المستشعر والحافة	السيليكون، SiO₂، Si₃N₄، الذهب، إيبوكسي منخفض الانبعاث، فولاذ مقاوم للصدأ 304، Viton®
الفيزيائية والحدود	الحجم والكتلة والضغط الزائد	2.8 سم مكعب حجم داخلي (KF16)؛ وزن 170 غ؛ حد ضغط زائد مطلق 1500 تور
الحرارة والامتثال	التشغيل والتجفيف والشهادات	من 0°C إلى 40°C للتشغيل؛ 85°C كحد أقصى للتجفيف خارج التشغيل؛ متوافق مع CE

حماية الضمان والشحن السريع العالمي

ضمان الأجهزة لمدة 12 شهرًا: كل وحدة 901P-41010-0142 مدعومة بضمان كامل لمدة 12 شهرًا يحمي استجابة مستشعر MEMS، واتصالات الناقل الرقمي، واستقرار نقطة الصفر.
خدمات البريد الجوي العالمية: معبأة بحماية ESD من درجة الغرفة النظيفة ويتم شحنها إلى جميع أنحاء العالم عبر FedEx أو UPS أو DHL لدعم جداول صيانة المصانع العاجلة.

الأسئلة الشائعة حول هندسة الفراغ وإرشادات الاختيار

س: لماذا يؤدي الجمع بين مستشعر تفاضلي Piezo وMicroPirani™ إلى القضاء على تأخيرات قفل باب غرفة التحميل؟

ج: تفقد مقاييس التوصيل الحراري القياسية حساسيتها بالقرب من 760 تور وتنجرف مع التغيرات الجوية المحيطة، بينما يقيس مستشعر MEMS Piezo الضغط التفاضلي الدقيق عبر باب غرفة التحميل لتفعيل صمام الشق أو الباب فورًا وبأمان.
س: كيف أقوم بتكوين تعويض نوع الغاز عند التبديل بين غازات تطهير غرفة التحميل من النيتروجين إلى الأرغون أو الهيليوم؟

ج: أرسل أمر غاز المعايرة عبر الواجهة الرقمية RS485/RS232 لتحميل منحنيات التوصيل الحراري الداخلية للأرغون أو الهيليوم أو CO₂، مما يمنع قراءات الضغط الخاطئة أثناء إعادة الملء.
س: ما الاحتياط الذي يجب على المهندسين مراعاته أثناء دورات تجفيف الغرفة؟

ج: حافظ على درجات حرارة المحول بدقة عند 85°C (185°F) أو أقل مع فصل طاقة التيار المستمر، حيث يؤدي تجاوز هذا الحد إلى تلف إلكترونيات MEMS الداخلية وأختام Viton®.
س: متى ينبغي لي تحديد سلسلة 901P بدلًا من محول MicroPirani™ أحادي المستشعر؟

ج: اختر 901P-41010-0142 كلما تطلبت عمليتك دقة متكررة بنسبة 1% بين 100 تور والضغط الجوي أو أقفال الضغط التفاضلي ضد التقلبات الجوية المحلية.
س: كيف يمكن لفنيي الصيانة التحقق من صحة المستشعر دون إزالة مقياس القياس من أنبوب الفراغ؟

ج: استعلم عن سجلات الحالة الرقمية عبر RS485/RS232 لفحص درجة حرارة المحول الداخلية، وساعات التشغيل، وإزاحات ضبط الصفر، وتنفيذ اختبار تشخيصي عن بعد لمصباح LED والمرحّل.

ضمان شامل لمدة 12 شهرًا

كل جزء توفره Global PLC Spare Hub مشمول بـ ضمان لمدة 12 شهرًا من تاريخ الفاتورة.

التغطية: عيوب وظيفية وأعطال في الأجهزة في ظل ظروف التشغيل العادية.
التزامنا: نقدم إصلاحًا فوريًا أو استبدالًا أو استردادًا كاملاً لأي مكونات معيبة تم التحقق منها لتقليل وقت التوقف التشغيلي لديك.

سياسة الإرجاع والاستبدال

نقدم سياسة إرجاع لمدة 30 يومًا لضمان حصولك على الجزء الدقيق الذي يتطلبه نظامك.

الأهلية: تُقبل المرتجعات للعناصر غير المركبة في تغليفها الأصلي والمحكم الإغلاق من المصنع.
عملية RMA: يرجى الاتصال بفريق الدعم لدينا للحصول على رقم ترخيص إرجاع البضائع (RMA) قبل الشحن.
معالجة سريعة: تتم معالجة المبالغ المستردة أو الاستبدالات في غضون 3-5 أيام عمل بعد أن يجتاز العنصر المرتجع فحصنا الفني.

هل تحتاج إلى مساعدة فنية؟لست متأكدًا مما إذا كان هذا الجزء متوافقًا مع نظامك؟ [استشر مهندسينا] قبل الشراء لضمان التوافق بنسبة 100%.