{"product_id":"sec-z712-horiba-stec-sec-z700x-pressure-insensitive-gas-mfc","title":"SEC-Z712 HORIBA STEC SEC-Z700X MFC de gas insensible a la presión","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z712 | Controlador de flujo másico insensible a la presión HORIBA STEC SEC-Z700X\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e es un controlador de flujo másico de precisión de la \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eserie SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e. Utiliza tecnología de control insensible a la presión para garantizar un suministro de gas estable en los procesos de fabricación de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eA diferencia de los controladores de flujo convencionales, este modelo incorpora un sensor de presión integrado. Su función insensible a la presión compensa las fluctuaciones de presión y reduce la dependencia de componentes externos de regulación de presión.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador admite múltiples gases y rangos de medición. Su actuador piezoeléctrico proporciona un control preciso de la válvula, mientras que la comunicación RS-485 permite la integración digital con equipos compatibles.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCon un tiempo de respuesta de \u003cstrong\u003e≤1 segundo (T98)\u003c\/strong\u003e, una precisión de hasta \u003cstrong\u003e±1,0 % del valor de consigna\u003c\/strong\u003e y tecnología de sellado metálico, el SEC-Z712 es apto para aplicaciones exigentes de suministro de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Arquitectura del producto: ¿qué hace que el SEC-Z712 sea diferente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eElemento de ingeniería\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFunción y valor de aplicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eControl insensible a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMantiene la estabilidad del flujo ante fluctuaciones de presión.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSensor de presión integrado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProporciona medición de presión interna para su compensación.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eActuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControla el flujo de gas mediante la válvula interna.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCapacidad multigas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAdmite múltiples gases de proceso y rangos de medición seleccionables.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSellado metálico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProporciona una trayectoria de flujo de gas sellada con metal.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFunción de visualización múltiple\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAdmite múltiples configuraciones de visualización.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eComunicación RS-485\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePermite la comunicación digital mediante el protocolo F-Net.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eVentaja de ingeniería clave:\u003c\/strong\u003e El sensor de presión integrado permite el control del flujo insensible a la presión. Esto ayuda a reducir las desviaciones de flujo causadas por cambios en las condiciones de presión aguas arriba.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Especificaciones técnicas: referencia completa de parámetros\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eModelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie de productos\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador de flujo másico (MFC) insensible a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de flujo a escala completa\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDe 10 SCCM a 10 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eGas de referencia\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente a N₂\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCódigos de rango de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #R01–#06\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePrecisión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1,0 % del valor de consigna por encima del 25 % de la escala completa; ±0,25 % de la escala completa en el 25 % o por debajo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRepetibilidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,2 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eLinealidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTiempo de respuesta\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 segundo (T98, rango completo de flujo)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eActuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNormalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración del calentador\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calentador\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMateriales en contacto con el gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L y aleación de Co-Ni\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSuperficie interna\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado estándar electropulido\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSellado\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSellos metálicos\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eIntegridad de estanqueidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5–50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTemperatura recomendada\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15–45 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFuente de alimentación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VCC ±5 % \/ -15 VCC ±5 %\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConsumo de corriente\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e165 mA por línea de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eComunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485, protocolo F-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eValor de consigna analógico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSalida analógica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eVelocidad de comunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e9,6 \/ 38,4 \/ 115,2 kbps seleccionables\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConectores eléctricos\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub de 9 pines y RJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDimensiones\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 mm (Al × An × Pr)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConexión de proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR macho de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDistancia de la conexión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConformidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRoHS, SEMI E56-0309, SEMI F64-0701\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSensibilidad a los transitorios de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eGrupo de rango de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSensibilidad a los transitorios de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e#02–#10\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±(1,0 % del valor de consigna + 1,0 % de la escala completa como máximo)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e#R01–#1.5\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±(5,0 % del valor de consigna + 1,5 % de la escala completa como máximo)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNota de ingeniería:\u003c\/strong\u003e La presión diferencial y la presión manométrica representan diferentes referencias de medición. Confirme las condiciones de presión en el punto de instalación real.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa resistencia a la presión especificada no es un objetivo de funcionamiento normal. Mantenga la presión de suministro dentro de los límites de funcionamiento aplicables.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Precisión de medición y rendimiento de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador proporciona diferentes especificaciones de precisión en todo su rango de funcionamiento. Los ingenieros deben evaluar estos valores en relación con el valor de consigna real del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión por encima del 25 % de la escala completa:\u003c\/strong\u003e ±1,0 % del valor de consigna.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión en el 25 % o por debajo de la escala completa:\u003c\/strong\u003e ±0,25 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRepetibilidad:\u003c\/strong\u003e ±0,2 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLinealidad:\u003c\/strong\u003e ±0,5 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de control:\u003c\/strong\u003e 2–100 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTiempo de respuesta:\u003c\/strong\u003e ≤1 segundo en T98 en todo el rango de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsejo para la selección de bajo flujo:\u003c\/strong\u003e Preste especial atención al rango de escala completa cuando opere cerca del límite inferior de medición. Un valor de escala completa mayor puede reducir la resolución efectiva del control de procesos de bajo flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Compatibilidad multigas y selección de rango\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eserie HORIBA STEC SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e admite múltiples gases de proceso mediante configuraciones de gas y rango seleccionables.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCategoría de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEjemplos admitidos\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases inertes\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eN₂, Ar, He\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases reactivos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eH₂, HBr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases de proceso especiales\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSF₆, WF₆\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eEs posible que haya disponibles otras configuraciones de gas. Confirme la calibración exacta del gas y el rango de medición antes de realizar el pedido.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones importantes de selección:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eIdentifique el gas de proceso real.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme el caudal a escala completa requerido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el código de rango MR\/MG aplicable.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe los requisitos de conversión y calibración del gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme las condiciones de presión y la configuración de la válvula.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos valores de caudal equivalentes a N₂ no representan automáticamente un comportamiento de flujo real idéntico para cada gas. Utilice la configuración de gas especificada para un control preciso del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Interfaz eléctrica e integración del sistema\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador admite interfaces de control analógicas y digitales. Los ingenieros pueden seleccionar la conexión adecuada según la arquitectura del equipo host.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eInterfaz\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eValor de consigna analógico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eComunicación digital\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eProtocolo de comunicación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eF-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVelocidades de baudios seleccionables\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e9,6, 38,4, 115,2 kbps\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConectores\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub de 9 pines y RJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAlimentación positiva\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VCC ±5 %, 165 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAlimentación negativa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e-15 VCC ±5 %, 165 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eGuía de integración:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique las líneas de alimentación positiva y negativa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe los rangos de señal analógica con respecto al controlador host.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAjuste la velocidad de baudios RS-485 a la del maestro de comunicación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme el soporte del protocolo F-Net antes de la integración digital.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la asignación de pines de los conectores utilizando la documentación oficial de cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eNo asuma compatibilidad estándar con Modbus RTU. El protocolo digital especificado es HORIBA STEC F-Net.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Construcción mecánica y materiales en contacto con el gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLos materiales en contacto con el gas afectan directamente al control de la contaminación y a la compatibilidad con el proceso. El \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e utiliza componentes en contacto con el gas de acero inoxidable y aleación de Co-Ni.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCaracterística de construcción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMaterial principal en contacto con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMaterial adicional en contacto con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAleación de Co-Ni\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTratamiento de la superficie interna\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado estándar electropulido\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstructura del sello\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSellado metálico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegridad de estanqueidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR macho de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones totales\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDistancia de la conexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eLa construcción con sellado metálico es apta para aplicaciones exigentes de suministro de gas en la fabricación de semiconductores. La superficie interna electropulida proporciona un acabado controlado de contacto con el gas.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Directrices de instalación y puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eUna instalación correcta protege la precisión de medición y mantiene la estabilidad del suministro de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme el modelo:\u003c\/strong\u003e Asegúrese de que el SEC-Z712 sea adecuado para el gas y el rango de flujo requeridos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspeccione las conexiones de proceso:\u003c\/strong\u003e Compruebe la conexión VCR macho de 1\/4 de pulgada y las superficies de acoplamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la compatibilidad del gas:\u003c\/strong\u003e Confirme que el material en contacto sea adecuado para el gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInstale la alimentación:\u003c\/strong\u003e Proporcione fuentes estables de ±15 VCC dentro de la tolerancia especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConecte las señales:\u003c\/strong\u003e Verifique el cableado analógico o las conexiones de comunicación RS-485.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe la presión:\u003c\/strong\u003e Mantenga la presión diferencial y de funcionamiento requeridas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfigure los parámetros del gas:\u003c\/strong\u003e Seleccione el gas y el rango de medición correctos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRealice una prueba de fugas:\u003c\/strong\u003e Siga los procedimientos aprobados de prueba de fugas en líneas de gas para semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique el flujo:\u003c\/strong\u003e Compare el flujo indicado con una referencia calibrada adecuada.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendación de puesta en marcha:\u003c\/strong\u003e Evite cambiar las configuraciones de gas sin verificar los requisitos de calibración. Una selección incorrecta del gas puede causar desviaciones significativas en la medición.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Consideraciones de mantenimiento y resolución de problemas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCondición observada\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eComprobación técnica recomendada\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eInestabilidad del flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInspeccione las fluctuaciones de presión aguas arriba y la presión diferencial.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRespuesta lenta del flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompruebe la presión de suministro, la configuración del gas y el funcionamiento de la válvula.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIndicación incorrecta del flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerifique la selección del gas, el rango de escala completa y la calibración de referencia.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFallo de comunicación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompruebe el cableado RS-485, los ajustes de F-Net y la velocidad de baudios.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDesviación de la señal analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMida el valor de consigna y el voltaje de salida en la interfaz.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuga inesperada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInspeccione las conexiones VCR y las interfaces de sellado metálico.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeriva relacionada con la temperatura\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompruebe que la temperatura ambiente esté dentro del rango de funcionamiento recomendado.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eEl mantenimiento rutinario debe incluir una inspección externa, comprobaciones de conexión, pruebas de fugas y verificación del rendimiento.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eSiga los procedimientos de HORIBA STEC para la inspección interna y el mantenimiento de la válvula. Evite el desmontaje no autorizado de componentes de control de flujo de precisión.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Conformidad y aplicaciones industriales\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712 SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e está diseñado para aplicaciones de suministro de gas de precisión en la fabricación de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e Conforme a RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-0309:\u003c\/strong\u003e Especificación de conformidad aplicable.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI F64-0701:\u003c\/strong\u003e Especificación relacionada con los transitorios de presión.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eAplicaciones típicas:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEquipos CVD:\u003c\/strong\u003e Controla el suministro de gas de proceso durante la deposición química de vapor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSistemas de grabado:\u003c\/strong\u003e Proporciona un suministro controlado de gas para los procesos de grabado de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePaneles de gas multiherramienta:\u003c\/strong\u003e Proporciona un control insensible a la presión del flujo de gas en los equipos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eProcesos sensibles a la interferencia:\u003c\/strong\u003e Ayuda a reducir las perturbaciones de flujo causadas por las fluctuaciones de presión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDistribución de gas para semiconductores:\u003c\/strong\u003e Permite un suministro preciso de gas en sistemas de proceso integrados.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Información de embalaje y compra\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eArtículo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDetalles\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z712\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z700X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador de flujo másico insensible a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calentador\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCantidad por paquete\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 unidad\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGarantía\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e12 meses\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpciones de envío\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFedEx, DHL o UPS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDisponibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eContáctenos para consultar el stock actual y el plazo de entrega\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNota para realizar pedidos:\u003c\/strong\u003e Confirme el tipo de gas, el rango de caudal a escala completa, el código MR\/MG, la configuración de la válvula y los requisitos de los conectores antes de realizar la compra.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e12 | Preguntas frecuentes profesionales: selección, ingeniería de procesos y resolución de problemas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Por qué es importante el control insensible a la presión en los sistemas de gas para semiconductores con múltiples herramientas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas redes compartidas de distribución de gas pueden experimentar cambios de presión cuando operan otras herramientas. Estos cambios pueden afectar a los controladores de flujo másico convencionales. El control insensible a la presión ayuda a mantener un suministro estable durante tales perturbaciones. Esta característica beneficia a los procesos con requisitos estrictos de flujo de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Cómo deben elegir los ingenieros entre las configuraciones de válvula normalmente abierta y normalmente cerrada?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEvalúe el comportamiento de apagado requerido y la arquitectura de seguridad del proceso. Una configuración normalmente cerrada puede detener el flujo cuando la válvula pierde su condición de accionamiento. Una configuración normalmente abierta se comporta de manera diferente durante una interrupción de energía o de control. Confirme la posición de falla requerida con los ingenieros de proceso y de seguridad.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Puede un SEC-Z712 calibrado para nitrógeno controlar directamente WF6 o HBr?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo asuma la intercambiabilidad directa entre configuraciones de gas. Los diferentes gases tienen diferentes propiedades físicas y requisitos de calibración. Verifique la conversión de gas aprobada, la compatibilidad de los materiales en contacto con el gas y la configuración específica de MR\/MG antes de la operación.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Por qué el controlador podría mostrar un flujo inestable incluso cuando el punto de consigna analógico permanece constante?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eInvestigue la presión diferencial, la estabilidad del suministro de gas y el rendimiento del regulador aguas arriba. También inspeccione la configuración de gas seleccionada y las barras de suministro eléctrico. Un voltaje de comando estable no garantiza un flujo real estable bajo condiciones de operación inadecuadas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Qué detalles deben proporcionar los equipos de compras al reemplazar un controlador SEC-Z700X instalado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eProporcione el modelo completo, el tipo de gas, el caudal de rango completo, el código de rango y la configuración de la válvula. Confirme la conexión VCR de 1\/4 de pulgada, los conectores eléctricos y los requisitos de suministro. Estos detalles ayudan a prevenir discrepancias de calibración y retrasos en la instalación.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68047310815414,"sku":"SEC-Z712","price":152.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z712_1.jpg?v=1794461741","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/sec-z712-horiba-stec-sec-z700x-pressure-insensitive-gas-mfc","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}