{"product_id":"sec-z532mgx-horiba-stec-sec-z500x-100-slm-digital-mass-flow-controller","title":"SEC-Z532MGX HORIBA STEC SEC-Z500X 100 SLM Controlador de flujo másico digital","description":"\u003ch3\u003e\u003cb\u003eSEC-Z532MGX | Controlador digital de flujo másico de alto caudal de 100 SLM\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b1;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z532MGX\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e es un controlador de flujo másico de alto caudal de la \u003cb\u003eserie SEC-Z500X Digital\/Analógica\u003c\/b\u003e. Regula el suministro de gas en la fabricación de semiconductores y en sistemas industriales de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEste modelo ofrece una capacidad de flujo a escala completa de \u003cb\u003e100 SLM\u003c\/b\u003e basada en una calibración equivalente a N₂. Su configuración multigas y multirango admite gases como nitrógeno, argón, hidrógeno y helio.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador combina un sistema de medición de flujo de precisión con una válvula de control piezoeléctrica. Admite control analógico del punto de consigna y comunicación digital mediante el protocolo RS-485 F-Net. Sus conexiones macho VCR de 1\/2 pulgada permiten su integración en sistemas de suministro de gas de alta pureza.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e01 | Arquitectura del flujo del proceso\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl SEC-Z532MGX gestiona el suministro de gas mediante tres etapas funcionales.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eEtapa funcional\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eDescripción de ingeniería\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eEntrada de gas\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRecibe el gas del proceso a través de la conexión VCR de 1\/2 pulgada.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eMedición del flujo\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMide el flujo de gas según los parámetros de gas y rango configurados.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eProcesamiento de control\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompara el flujo medido con el punto de consigna indicado.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRegulación de la válvula\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUtiliza un actuador piezoeléctrico para regular el flujo de gas.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRetroalimentación de la señal\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProporciona salida analógica y comunicación digital RS-485.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eEsta arquitectura permite un suministro de gas repetible y la integración con equipos de proceso automatizados.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e02 | Capacidad de flujo y rendimiento de medición\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa capacidad de flujo y la precisión de medición determinan si el controlador es adecuado para aplicaciones de proceso de alto caudal.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro de rendimiento\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eFlujo a escala completa\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e100 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eGas de referencia\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente a N₂\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCódigo de gas\/rango\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #09\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRango de control\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRelación de reducción\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50:1\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePrecisión por encima del 35 % de la escala completa\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1,0 % del punto de consigna\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePrecisión en el 35 % o por debajo de la escala completa\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,35 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eRepetibilidad\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,2 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eLinealidad\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eTiempo de respuesta\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 segundo, T98\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eCondición de prueba de respuesta\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango completo de flujo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eInterpretación de la medición:\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eS.P. significa precisión basada en el punto de consigna.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eFS significa escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa especificación de precisión cambia en el umbral del 35 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eT98 representa el tiempo necesario para alcanzar el 98 % de la respuesta final.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEl rango de control del 2–100 % de la escala completa proporciona un rango de funcionamiento nominal de 50:1.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos ingenieros deben evaluar la especificación de precisión al flujo de funcionamiento previsto. No aplique el valor de precisión de alto caudal a todos los puntos del rango de medición.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e03 | Compatibilidad de gases y configuración de calibración\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl SEC-Z532MGX admite el funcionamiento con varios gases y diferentes configuraciones de rango de flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eCategoría de gas\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEjemplos\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eConsideración de ingeniería\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eGases inertes\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eN₂, Ar\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerifique la calibración del gas seleccionado.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eGases ligeros\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eH₂, He\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfirme los parámetros de conversión específicos del gas.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eOtros gases de proceso\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSujeto a la configuración admitida\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompruebe la compatibilidad de gases del fabricante.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eNota importante de selección:\u003c\/b\u003e La clasificación de 100 SLM utiliza una calibración equivalente a N₂. Esto no significa que todos los gases admitidos suministren exactamente 100 SLM en condiciones de funcionamiento idénticas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eConfirme el código de gas, las condiciones de calibración y los factores de conversión aplicables antes de cambiar el gas del proceso. No asuma que una calibración permite cambiar de gas sin restricciones.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e04 | Rango de presión y condiciones del proceso\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLas condiciones de presión influyen directamente en la estabilidad del suministro de gas y en la integración del sistema.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePresión diferencial de funcionamiento\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e100–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePresión máxima de funcionamiento\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eResistencia a la presión\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eTemperatura recomendada\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15–45 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5–50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eConfiguración calefactada\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo, versión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eTerminología de presión:\u003c\/b\u003e La presión diferencial describe la diferencia de presión a través del controlador. La presión manométrica se refiere a la presión atmosférica. La resistencia a la presión es una clasificación independiente del equipo, no un objetivo de funcionamiento normal.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e05 | Materiales en contacto con el fluido y conexión mecánica\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa construcción en contacto con el gas admite aplicaciones de gas de proceso de alta pureza.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eMaterial en contacto con el fluido:\u003c\/b\u003e Acero inoxidable SUS316L.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eSuperficie interna:\u003c\/b\u003e Superficie interior pulida de serie.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eOpciones de sellado:\u003c\/b\u003e Metal o elastómero, según la configuración.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eTipo de conexión:\u003c\/b\u003e Conexión macho VCR de 1\/2 pulgada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eDistancia de la conexión:\u003c\/b\u003e 132 mm.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eDimensiones generales:\u003c\/b\u003e 139 × 70 × 38 mm (Al × An × Pr).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eIntegridad de estanqueidad:\u003c\/b\u003e ≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He).\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eConfirme el material del sello y la compatibilidad con el gas antes de la instalación. La configuración de sellado seleccionada debe coincidir con el gas del proceso y los requisitos de limpieza del sistema.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e06 | Interfaz eléctrica y señales de control\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador admite interfaces de comando analógicas y digitales.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro de interfaz\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePunto de consigna analógico\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eSalida analógica\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eComunicación digital\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485 F-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eVelocidad de comunicación\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e38.400 bps\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eInterfaz del conector\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub de 9 pines y RJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eAlimentación positiva\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VCC ±5 %, 150 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eAlimentación negativa\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e-15 VCC ±5 %, 150 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eGuía de integración:\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eUtilice el punto de consigna analógico para sistemas de control compatibles basados en voltaje.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLea la retroalimentación analógica mediante una entrada compatible de 0–5 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfigure la comunicación RS-485 para los dispositivos maestros F-Net compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la asignación de los pines del conector antes del cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eProporcione fuentes de alimentación bipolares estables dentro de la tolerancia especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e07 | Tecnología de la válvula y control dinámico\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl SEC-Z532MGX utiliza un \u003cb\u003eactuador piezoeléctrico\u003c\/b\u003e para regular el flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eTipo de actuador:\u003c\/b\u003e Piezoeléctrico.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eConfiguración de la válvula:\u003c\/b\u003e Normalmente abierta o normalmente cerrada, según la configuración.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eFunción de control:\u003c\/b\u003e Regula el flujo de gas según el punto de consigna indicado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eRendimiento de respuesta:\u003c\/b\u003e T98 ≤1 segundo en todo el rango de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración de la válvula afecta al comportamiento del proceso durante la pérdida de alimentación y el apagado del equipo. Verifique la opción instalada, normalmente abierta o normalmente cerrada, antes de definir los enclavamientos de seguridad.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e08 | Procedimiento de instalación y puesta en marcha\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLos sistemas de gas de alta pureza requieren una instalación controlada y una gestión de la contaminación.\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eConfirme el tipo de gas:\u003c\/b\u003e Haga coincidir el gas del proceso con la configuración de calibración especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eCompruebe el rango de flujo:\u003c\/b\u003e Verifique que la clasificación de 100 SLM equivalente a N₂ cumpla los requisitos del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eInspeccione las conexiones:\u003c\/b\u003e Compruebe la conexión macho VCR de 1\/2 pulgada y los componentes acoplados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eVerifique los sellos:\u003c\/b\u003e Confirme la compatibilidad del sellado metálico o elastómero.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eCompruebe la presión:\u003c\/b\u003e Mantenga las condiciones de funcionamiento dentro del rango de presión especificado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eConecte la alimentación:\u003c\/b\u003e Aplique las fuentes de alimentación de CC positiva y negativa especificadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eConecte las señales de control:\u003c\/b\u003e Seleccione la interfaz analógica o RS-485 adecuada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eConfigure la comunicación:\u003c\/b\u003e Establezca los parámetros de comunicación F-Net cuando corresponda.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eVerifique el cero y el flujo:\u003c\/b\u003e Compruebe la salida en las condiciones de prueba especificadas por el fabricante.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eRealice una prueba funcional:\u003c\/b\u003e Compare el flujo indicado y el medido en todo el rango de funcionamiento previsto.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003eUtilice componentes limpios y compatibles durante la instalación. Siga los procedimientos del fabricante del equipo para la purga de gas, las pruebas de fugas y el arranque del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e09 | Mantenimiento y verificación del rendimiento\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione las conexiones VCR para detectar contaminación y daños mecánicos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe si hay fugas de gas mediante un método aprobado de detección de fugas de helio.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la estabilidad de la fuente de alimentación y el cableado de las señales.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompare la retroalimentación analógica con el punto de consigna indicado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la comunicación RS-485 y los ajustes de la red.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRevise los parámetros de calibración de gas después de cambios en el gas del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInvestigue los tiempos de respuesta anormales o las lecturas de flujo inestables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la configuración de la válvula durante la sustitución del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003ePara aplicaciones de semiconductores, los procedimientos de mantenimiento deben preservar la limpieza de la trayectoria del gas. Evite introducir partículas o materiales de sellado incompatibles en la línea de proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e10 | Aplicaciones de procesos de semiconductores\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eAplicación\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eFunción del proceso\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eSistemas CVD\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControla el suministro de gas del proceso a los equipos de deposición.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eEquipos de grabado\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRegula el suministro de gas para las operaciones de procesos de plasma.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePurga de la cámara\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControla el suministro de gas inerte durante la preparación de la cámara.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003ePaneles de gas a granel\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProporciona control de gas de alto caudal en los sistemas de distribución.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cb\u003eUnidades de suministro de gas\u003c\/b\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAdmite la regulación y el monitoreo automatizados del flujo.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e11 | Requisitos de cumplimiento y calidad\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eRoHS:\u003c\/b\u003e Cumple con los requisitos RoHS indicados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eSEMI:\u003c\/b\u003e Diseñado con referencia a las normas aplicables para equipos de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eCompatibilidad de gases:\u003c\/b\u003e Confirme el gas aprobado y la configuración de los materiales en contacto con el fluido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cb\u003eIntegridad de estanqueidad:\u003c\/b\u003e Verifique el requisito especificado de tasa de fuga de helio.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eConfirme los números de las normas SEMI aplicables y los documentos de cumplimiento específicos del producto cuando la certificación del proyecto los requiera.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e12 | Preguntas frecuentes\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eP1: ¿Por qué difiere el flujo indicado después de cambiar de nitrógeno a argón?\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLos diferentes gases tienen distintas propiedades físicas y factores de calibración. El controlador debe utilizar la configuración correcta específica del gas. Compruebe el código de gas y las condiciones de referencia antes de ajustar el punto de consigna del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eP2: ¿Qué deben investigar los ingenieros si el controlador responde lentamente durante una transición de alto caudal?\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe la presión diferencial real, la estabilidad del suministro aguas arriba, las restricciones aguas abajo y los parámetros de gas configurados. También inspeccione la señal de comando y la tasa de actualización de la comunicación. No atribuya cada respuesta lenta a la válvula piezoeléctrica.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eP3: ¿Cómo deben influir las opciones de válvula normalmente abierta y normalmente cerrada en la selección del equipo?\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEvalúe el comportamiento del flujo de gas requerido durante la pérdida de alimentación o control. El estado preferido de la válvula depende del análisis de riesgos del proceso y de la estrategia de apagado. Confirme la configuración real del actuador antes de conectar el controlador.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eP4: ¿Qué causa lecturas de flujo inestables cuando la presión del proceso parece normal?\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eInvestigue las fluctuaciones de presión en ambos lados del controlador, la pureza del suministro de gas, las restricciones de instalación y el ruido eléctrico. Compruebe si la calibración de gas seleccionada coincide con el gas real del proceso. Una presión diferencial estable es importante para un control de flujo repetible.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cb\u003eP5: ¿Qué información deben proporcionar los ingenieros de semiconductores al pedir un repuesto?\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eProporcione el número de modelo completo, la especie de gas, el flujo a escala completa, el código de gas, el material del sello, la conexión VCR y los requisitos de comunicación. También confirme la fuente de alimentación y la configuración del estado de falla de la válvula. Estos detalles ayudan a evitar discrepancias de calibración e instalación.\u003cb\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68046536736950,"sku":"SEC-Z532MGX","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z532MGX_1.jpg?v=1794456159","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/sec-z532mgx-horiba-stec-sec-z500x-100-slm-digital-mass-flow-controller","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}