{"product_id":"sec-z524-horiba-stec-mass-flow-controller-sec-z500x-devicenet-series","title":"Controlador de flujo másico SEC-Z524 HORIBA STEC | Serie SEC-Z500X DeviceNet","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDescripción general del producto | Control de flujo de gas para semiconductores\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e es un controlador de flujo másico compatible con DeviceNet fabricado por \u003cstrong\u003eHORIBA STEC\u003c\/strong\u003e. Pertenece a la \u003cstrong\u003eserie SEC-Z500X\u003c\/strong\u003e y admite aplicaciones de suministro de gas de flujo medio a alto.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEste modelo ofrece un rango de flujo a escala completa de \u003cstrong\u003e22 a 50 SLM\u003c\/strong\u003e, basado en especificaciones equivalentes al nitrógeno. Su arquitectura de control de flujo másico térmico permite un suministro preciso de gas en equipos de fabricación de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl actuador piezoeléctrico integrado regula el flujo de gas mediante una válvula de control electrónico. La comunicación DeviceNet conecta el controlador a redes de automatización compatibles.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eSu configuración multigas y multirango admite diferentes requisitos de gas de proceso. La mayor \u003cstrong\u003edistancia entre racores de 124 mm\u003c\/strong\u003e también proporciona una referencia mecánica importante para la integración en paneles de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas aplicaciones típicas incluyen sistemas CVD, equipos de grabado por plasma y paneles de suministro de gas a granel para semiconductores. Los ingenieros pueden seleccionar la configuración adecuada según las propiedades del gas, la presión de funcionamiento, el rango de flujo y los requisitos de conexión.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eIdentificación del producto y especificaciones de ingeniería\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eModelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie de productos\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eVersión de comunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador de flujo másico (MFC)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eClasificación del flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMFC de flujo medio\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de flujo a escala completa\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eGas de referencia\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente al nitrógeno (N2)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración del rango\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #6.5–#08\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTecnología de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eActuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNormalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de calefacción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFuente de alimentación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConsumo de energía\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4,0 VA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConector eléctrico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMicroconector\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMateriales en contacto con el gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSuperficie interna\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado pulido estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eOpciones de sellado\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMetal o elastómero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConexión del racor\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDistancia del racor\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDimensiones totales\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 mm (Al × An × Pr)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Rendimiento de medición y control del flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador regula el suministro de gas en un rango de funcionamiento especificado del 2 al 100 % de la escala completa. Sus especificaciones de precisión utilizan diferentes condiciones de referencia por encima y por debajo del 25 % de la escala completa.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de rendimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFlujo a escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión por encima del 25 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1,0 % del punto de ajuste\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión en el 25 % o por debajo de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,25 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,2 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de respuesta\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 segundo (T98, rango completo de flujo)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación de la medición:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión:\u003c\/strong\u003e Describe la desviación de la medición del flujo bajo las condiciones de referencia especificadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRepetibilidad:\u003c\/strong\u003e Indica la consistencia en mediciones repetidas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLinealidad:\u003c\/strong\u003e Describe la desviación de la respuesta lineal especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTiempo de respuesta:\u003c\/strong\u003e T98 representa el tiempo necesario para alcanzar el 98 % de la respuesta final de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de control:\u003c\/strong\u003e Define el intervalo de funcionamiento especificado en relación con el flujo a escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos ingenieros deben utilizar la ecuación de precisión adecuada para cada región de funcionamiento. No deben considerar el porcentaje del punto de ajuste y el porcentaje de la escala completa como valores intercambiables.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Compatibilidad con múltiples gases y selección de procesos\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e admite configuraciones multigas para sistemas de suministro de gas para semiconductores. Sus aplicaciones de gas listadas incluyen:\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCategoría de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEjemplos de gases especificados\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases inertes\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eN2, Ar, He\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases reactivos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eH2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGases especiales\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSF6, HBr, WF6\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003ePueden estar disponibles otras configuraciones de gas según los requisitos de calibración y de materiales en contacto seleccionados.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones para la selección de gases:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la composición exacta del gas antes de realizar el pedido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la calibración específica del gas y el rango a escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConsidere la densidad del gas, las propiedades térmicas y las condiciones de funcionamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la compatibilidad química con el SUS316L y los sellos seleccionados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme los requisitos de limpieza del proceso para aplicaciones de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eImportante:\u003c\/strong\u003e Las clasificaciones de flujo equivalentes al nitrógeno no representan automáticamente tasas de flujo reales idénticas para otros gases. Utilice la calibración de gas y los datos de conversión correctos para los cálculos del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Comunicación DeviceNet e integración eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e admite la comunicación con redes de automatización industrial compatibles.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de comunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eProtocolo de red\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConformidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConforme a ODVA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVelocidad de transmisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e125 \/ 250 \/ 500 kbps\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector eléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMicroconector\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTensión de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConsumo de energía\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4,0 VA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eLista de verificación para la integración de red:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme que el maestro DeviceNet admita el perfil de dispositivo requerido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAjuste la velocidad de transmisión de la red para que coincida con la configuración existente del bus.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfigure la dirección de nodo y los parámetros de comunicación correctos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el cable DeviceNet y la asignación de pines del conector.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la alimentación de 24 VCC antes de la puesta en servicio de la red.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la comunicación del dispositivo y el intercambio de datos del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa conformidad con ODVA permite la integración con equipos DeviceNet compatibles. Confirme la configuración del controlador y los archivos de descripción de dispositivo disponibles antes de la puesta en servicio.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Condiciones de presión e integridad del circuito de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eUnas condiciones de presión estables son esenciales para una regulación de flujo repetible. Los ingenieros deben evaluar la presión diferencial y la presión máxima de funcionamiento por separado.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión diferencial de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e200–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión máxima de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResistencia a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegridad de estanqueidad al helio\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNotas de ingeniería de procesos:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eMantenga la presión diferencial de funcionamiento especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la estabilidad de la presión de suministro aguas arriba.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvalúe la presión aguas abajo y las condiciones de evacuación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvite fluctuaciones de presión durante la calibración del flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la limpieza de la línea de gas antes de la instalación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la estanqueidad después de realizar trabajos de conexión de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa tasa de fuga de helio especificada proporciona una referencia importante para la integridad del circuito de gas. Siga el procedimiento de prueba de fugas aprobado para la instalación completa.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Materiales en contacto con el gas, sellos y conexiones mecánicas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa construcción en contacto con el gas utiliza acero inoxidable SUS316L con una superficie interna pulida como estándar. La selección del sello depende del gas de proceso y de los requisitos de compatibilidad química.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eComponente\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConstrucción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCuerpo en contacto con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSuperficie interna\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado pulido estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpciones de sellado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMetal o elastómero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDistancia del racor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones totales\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones para la instalación mecánica:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la distancia del racor de 124 mm con respecto a la disposición del panel de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la especificación de conexión VCR de 1\/4 de pulgada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSeleccione los sellos según los requisitos de compatibilidad con el gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvite la contaminación por partículas durante los trabajos de conexión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvite tensiones mecánicas excesivas en las interfaces de los racores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSiga el procedimiento aplicable de montaje y apriete de VCR.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa distancia ampliada del racor es una dimensión de selección importante. Confirme la geometría real de la conexión de acoplamiento antes de modificar un panel de gas existente.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Temperatura y entorno de instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro ambiental\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5 °C a 50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura recomendada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15 °C a 45 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración estándar no incluye una opción de calefacción. Mantenga la temperatura ambiente recomendada cuando la estabilidad del proceso sea importante.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendaciones de instalación:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el lugar de instalación y el espacio de montaje disponible.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la compatibilidad con el gas y el rango de flujo seleccionado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione el circuito interno de gas y las superficies de conexión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInstale los racores VCR utilizando procedimientos aprobados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConecte la alimentación de 24 VCC y la interfaz DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la configuración de la red antes de habilitar el flujo del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRealice una prueba de fugas antes de introducir gases de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la respuesta del flujo bajo las condiciones de presión especificadas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Control de la válvula y configuración funcional\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador utiliza un actuador piezoeléctrico para el funcionamiento de la válvula. La configuración especificada permite disposiciones de válvula normalmente abierta o normalmente cerrada.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTecnología del actuador:\u003c\/strong\u003e Piezoeléctrica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOpciones de válvula:\u003c\/strong\u003e Normalmente abierta o normalmente cerrada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFunción de control:\u003c\/strong\u003e Regulación electrónica del flujo de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCalefacción:\u003c\/strong\u003e No incluida en la configuración estándar.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsejo de selección:\u003c\/strong\u003e Confirme la configuración de válvula requerida antes de realizar el pedido. Las disposiciones normalmente abiertas y normalmente cerradas pueden producir respuestas de proceso diferentes durante una pérdida de alimentación o el apagado del sistema.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo asuma la posición de falla de la válvula sin comprobar la configuración exacta del modelo y la documentación del fabricante.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Puesta en servicio, calibración y mantenimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eUna puesta en servicio adecuada establece una línea base confiable para el suministro de gas para semiconductores. Verifique las condiciones eléctricas, mecánicas, neumáticas y de comunicación antes de la operación de producción.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eProcedimiento de puesta en servicio:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme el modelo completo y la configuración de calibración del gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la tensión de suministro y el cableado del conector eléctrico.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la configuración del nodo DeviceNet y la velocidad de transmisión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la presión diferencial de funcionamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRealice pruebas de fuga de helio cuando sea necesario.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe el comportamiento de flujo cero antes de aplicar comandos de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompare el flujo indicado con las condiciones de referencia especificadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRegistre la presión de funcionamiento y el rendimiento del flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendaciones de mantenimiento:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eSupervise la estabilidad del flujo cero durante la operación rutinaria.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInvestigue las desviaciones inesperadas de las lecturas de flujo establecidas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione las conexiones de gas para detectar fugas después del mantenimiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la comunicación de red para detectar fallas intermitentes.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRevise la pureza del gas y las condiciones de filtración aguas arriba.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la compatibilidad de los sellos al cambiar los gases de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSiga los procedimientos de servicio de HORIBA STEC para el mantenimiento interno.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos intervalos de calibración deben seguir los requisitos de precisión del proceso y el plan de mantenimiento del equipo. No cambie los parámetros de calibración sin los datos de referencia correctos específicos del gas.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Cumplimiento y aplicaciones industriales\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLas especificaciones suministradas identifican las siguientes referencias de cumplimiento e integración:\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e Conforme a RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeviceNet:\u003c\/strong\u003e Conformidad con ODVA.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI:\u003c\/strong\u003e Cumplimiento de las normas SEMI según lo especificado.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eAplicaciones industriales típicas:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEquipos CVD:\u003c\/strong\u003e Suministro controlado de gas para procesos de deposición química de vapor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSistemas de grabado:\u003c\/strong\u003e Regulación del flujo de gas en equipos de grabado de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePaneles de gas a granel:\u003c\/strong\u003e Suministro y distribución de gas de flujo medio.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eArmarios de gas:\u003c\/strong\u003e Sistemas automatizados de suministro de gases especiales.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFabricación de semiconductores:\u003c\/strong\u003e Control de gas de proceso basado en DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eVerifique los requisitos exactos aplicables de SEMI y la documentación de cumplimiento para la instalación del equipo previsto.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Compatibilidad y verificación de compra\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eAntes de seleccionar el \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e, los ingenieros deben verificar los siguientes detalles de configuración.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eArtículo de selección\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRequisito de verificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z524\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 SLM, equivalente al N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCalibración de gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoincidir con el gas de proceso real\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCódigo de rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfirmar la configuración MR\/MG #6.5–#08\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eComunicación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProtocolo DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVelocidad de transmisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e125 \/ 250 \/ 500 kbps\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfirmar la presión diferencial de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMaterial del sello\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMetal o elastómero, según la compatibilidad con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNormalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR de 1\/4 de pulgada, distancia del racor de 124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones de reemplazo:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eNo sustituir basándose únicamente en el rango de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCoincidir con la calibración de gas y la configuración de rango reales.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerificar la compatibilidad de comunicación DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eComprobar la configuración de la válvula y los requisitos de alimentación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirmar las dimensiones de conexión mecánica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRevise los materiales en contacto con el gas y la compatibilidad de los sellos.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eDos controladores con rangos de caudal nominal idénticos pueden tener diferentes calibraciones de gas, configuraciones de válvulas e interfaces eléctricas. Verifique la configuración completa de pedido antes de realizar el reemplazo.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Información de embalaje y suministro\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eArtículo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDescripción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z524\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador de caudal másico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCantidad suministrada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 unidad\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAccesorios\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfirmar por separado con el proveedor\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eConfirme la calibración del gas, la configuración de los racores, la disposición de las válvulas y los accesorios suministrados antes de realizar un pedido.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003ePreguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Pueden los ingenieros transferir una calibración de gas existente de otro controlador de caudal másico a este controlador?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo automáticamente. La calibración del gas depende de la configuración del controlador y de las condiciones de referencia. Verifique el gas especificado, el código de rango y los datos de calibración. Nunca asuma que las lecturas de caudal serán idénticas en diferentes configuraciones de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué puede causar lecturas inestables cuando el suministro de gas se mantiene constante?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas posibles causas incluyen fluctuaciones de presión aguas arriba, contaminación del gas, variaciones de temperatura, selección incorrecta del gas y condiciones inestables aguas abajo. Compare las mediciones reales de presión con la línea base de puesta en marcha antes de cambiar los ajustes del controlador.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben evaluar los ingenieros un controlador instalado en un sistema de gas de alta pureza?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eRevise los materiales en contacto con el gas, la compatibilidad de los sellos, el acabado de las superficies internas y la integridad frente a fugas. También evalúe la pureza del gas, la limpieza de las conexiones y los riesgos de contaminación durante la instalación. Siga los procedimientos de la instalación para el manejo de gases semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué deben comprobar los técnicos cuando la comunicación DeviceNet funciona, pero los comandos de caudal producen resultados inesperados?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe el rango de gas configurado, las unidades de ingeniería, el mapeo de datos de proceso y la escala de los comandos de caudal. A continuación, verifique el suministro físico de gas y la presión diferencial. La comunicación de red por sí sola no confirma una configuración de proceso correcta.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cómo deben elegir los compradores entre configuraciones de válvulas normalmente abiertas y normalmente cerradas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEvalúe la estrategia de aislamiento de gas requerida durante una pérdida de energía, una parada y unas condiciones de emergencia. Revise el diseño de seguridad del sistema y las consecuencias de cada posición de válvula. Confirme la configuración exacta del actuador antes de realizar la compra.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027779809462,"sku":"SEC-Z524","price":201.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z524_2.jpg?v=1794281146","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/sec-z524-horiba-stec-mass-flow-controller-sec-z500x-devicenet-series","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}