{"product_id":"sec-z517-horiba-stec-sec-z500x-ethercat-mass-flow-controller","title":"SEC-Z517 HORIBA STEC SEC-Z500X Controlador de flujo másico EtherCAT","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eControlador de flujo másico EtherCAT HORIBA STEC SEC-Z517 | SEC-Z500X\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e de \u003cstrong\u003eHORIBA STEC\u003c\/strong\u003e es un controlador digital de flujo másico perteneciente a la \u003cstrong\u003eserie SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/strong\u003e. Regula el flujo de gas de proceso mediante comunicación digital de alta velocidad y un control de precisión de la válvula piezoeléctrica.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEste modelo está destinado a equipos de fabricación de semiconductores que requieren un suministro rápido de gas y una regulación de flujo repetible. Su interfaz EtherCAT permite la integración con arquitecturas de control de equipos en tiempo real.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl controlador cubre rangos de flujo de escala completa de \u003cstrong\u003e10 SCCM a 5,5 SLM\u003c\/strong\u003e. Su configuración multigas y multirango permite adaptarse a diferentes requisitos de gas de proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eCon un tiempo de respuesta de \u003cstrong\u003eT98 ≤1 segundo\u003c\/strong\u003e, el SEC-Z517 permite ajustes rápidos de flujo. Su especificación de precisión a bajo flujo también permite aplicaciones que requieren un suministro preciso de gas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01. Identidad y configuración del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eModelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eVersión de comunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEtherCAT\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador digital de flujo másico (MFC)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eElemento de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVálvula con actuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMultigas \/ multirango\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de calefacción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAlimentación eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 VCC, 6,8 VA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02. Rendimiento de medición y control de flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa precisión del flujo y la velocidad de respuesta afectan directamente al suministro de gas de proceso. Las siguientes especificaciones definen el rendimiento de control del SEC-Z517.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de flujo de escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 SCCM a 5,5 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGas de referencia\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR \/ MG seleccionable\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2% a 100% de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRelación de reducción\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50:1\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión por encima del 25% de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1,0% del valor de consigna\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión en el 25% o por debajo de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,25% de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,2% de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5% de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de respuesta\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 segundo, T98\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación técnica\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión a bajo flujo:\u003c\/strong\u003e La especificación de ±0,25% de la escala completa se aplica a valores de consigna del 25% de la escala completa o inferiores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de funcionamiento normal:\u003c\/strong\u003e Por encima del 25% de la escala completa, la precisión cambia a ±1,0% del valor de consigna.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRepetibilidad:\u003c\/strong\u003e El ±0,2% de la escala completa permite una regulación de flujo constante en ciclos de funcionamiento repetidos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLinealidad:\u003c\/strong\u003e El ±0,5% de la escala completa describe la desviación de la relación de flujo lineal especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRespuesta:\u003c\/strong\u003e T98 ≤1 segundo indica el rendimiento de respuesta especificado en todo el rango.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsejo de selección:\u003c\/strong\u003e Evalúe la precisión utilizando el valor de consigna de funcionamiento real. No compare directamente la precisión como porcentaje del valor de consigna con la precisión como porcentaje de la escala completa.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03. Compatibilidad con gases y construcción en contacto con el proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e admite múltiples gases de proceso mediante configuraciones de gas y rango seleccionables.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCompatibilidad con gases especificados\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eNitrógeno (N2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eArgón (Ar)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eHidrógeno (H2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eHelio (He)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eOxígeno (O2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eHexafluoruro de azufre (SF6)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eBromuro de hidrógeno (HBr)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eHexafluoruro de tungsteno (WF6)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eOtros gases compatibles sujetos a configuración\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eMateriales en contacto y sellos\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMaterial en contacto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSuperficie interna\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado pulido, estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eOpciones de sellos\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMetal o elastómero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTecnología de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVálvula con actuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNormalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eIntegridad de estanqueidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideración de ingeniería de procesos:\u003c\/strong\u003e La compatibilidad con los gases depende de los materiales en contacto y la configuración de los sellos seleccionados. Confirme la compatibilidad química antes de realizar pedidos para aplicaciones con gases corrosivos o reactivos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04. Presión y condiciones de funcionamiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eUn suministro de gas estable requiere una presión diferencial adecuada y un control suficiente de la presión aguas arriba.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de funcionamiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eValor especificado\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión diferencial de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión máxima de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResistencia a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5°C a 50°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura recomendada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15°C a 45°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFunción de calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo incluida en la configuración estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eDistinción importante de presión:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eLa presión diferencial representa la diferencia de presión a través del controlador.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa presión máxima de funcionamiento especifica el límite de presión de funcionamiento permitido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa resistencia a la presión describe una clasificación de resistencia a la presión independiente.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eNo utilice el valor de resistencia a la presión como presión de funcionamiento continua.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05. Comunicación EtherCAT e interfaz eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa \u003cstrong\u003eserie SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/strong\u003e utiliza comunicación digital para la integración con equipos automatizados de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eProtocolo:\u003c\/strong\u003e Comunicación Ethernet industrial EtherCAT®.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePuertos de red:\u003c\/strong\u003e Interfaces RJ-45 IN y OUT.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConformidad:\u003c\/strong\u003e Conforme al Grupo de Tecnología EtherCAT (ETG).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFuente de alimentación:\u003c\/strong\u003e CC 24 V.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConsumo de energía:\u003c\/strong\u003e 6,8 VA.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones de integración\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConecte el puerto IN al dispositivo de red EtherCAT aguas arriba.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eUtilice el puerto OUT según la topología de la red.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el reconocimiento del dispositivo EtherCAT durante la puesta en marcha.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la configuración de proceso del controlador antes de habilitar el control de flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe el estado de comunicación antes de diagnosticar desviaciones de flujo en el lado del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eEl cuerpo más ancho permite la configuración electrónica EtherCAT. Confirme el espacio mecánico al reemplazar equipos dentro de paneles de gas existentes.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06. Dimensiones mecánicas e interfaz de instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAltura total\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAncho total\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e82 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspesor total\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e29 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eOrden dimensional\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eA × An × Esp\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConexión de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR macho de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDistancia entre conexiones\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eLista de verificación de instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme el espacio de montaje y la distancia entre centros de las conexiones.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique los requisitos de conexión VCR macho de 1\/4 de pulgada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la limpieza de la línea de gas antes de conectar el controlador.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme que el material de sello seleccionado coincida con el gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique las condiciones de presión aguas arriba y aguas abajo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConecte correctamente la alimentación de 24 VCC y la red EtherCAT.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe si hay fugas externas antes de introducir gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el tipo de gas y el rango de flujo configurados.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cp\u003eSiga las instrucciones de instalación aplicables de HORIBA STEC y los procedimientos de manipulación de gases para semiconductores. Utilice personal cualificado para las conexiones de gases peligrosos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07. Aplicaciones en procesos de semiconductores\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e está destinado a equipos que requieren control digital de flujo de gas y comunicación rápida.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAplicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRequisito de ingeniería\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGrabado de semiconductores\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSuministro preciso de gas de proceso y ajuste rápido de flujo.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeposición de película fina\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFlujo de gas repetible durante la ejecución de la receta del proceso.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquipos de procesos avanzados\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegración EtherCAT con arquitecturas de control en tiempo real.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSistemas de suministro multigas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguraciones de gas seleccionables para diferentes recetas de proceso.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePaneles de gas automatizados\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eComunicación digital e interfaces de instalación compactas.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08. Conformidad y estándares del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e Conforme a RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEtherCAT:\u003c\/strong\u003e Conformidad con el Grupo de Tecnología EtherCAT.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstándares de semiconductores:\u003c\/strong\u003e Conformidad con los estándares SEMI especificados para el producto.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eConfirme los números de estándares SEMI aplicables y los documentos de certificación según la configuración exacta del producto. No asuma aprobaciones adicionales de seguridad o para áreas peligrosas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09. Verificación de la configuración antes de la compra\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003ePedir el controlador de flujo correcto requiere más que hacer coincidir el número de modelo. El gas de proceso, el rango de flujo, la presión y la configuración de comunicación afectan la selección.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eModelo:\u003c\/strong\u003e Confirme SEC-Z517.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSerie:\u003c\/strong\u003e Confirme la versión EtherCAT SEC-Z500X.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de gas:\u003c\/strong\u003e Especifique el gas de proceso real.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de escala completa:\u003c\/strong\u003e Confirme el rango SCCM o SLM requerido.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSelección de rango:\u003c\/strong\u003e Verifique la configuración MR\/MG.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de válvula:\u003c\/strong\u003e Confirme el funcionamiento normalmente abierto o normalmente cerrado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMaterial de sello:\u003c\/strong\u003e Seleccione metal o elastómero compatible.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexiones:\u003c\/strong\u003e Verifique las conexiones VCR macho de 1\/4 de pulgada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión:\u003c\/strong\u003e Confirme la presión diferencial y la máxima de funcionamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eComunicación:\u003c\/strong\u003e Confirme la compatibilidad EtherCAT con el controlador host.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsejo de compra:\u003c\/strong\u003e Solicite los detalles completos de la configuración antes de realizar el pedido. Dos controladores con rangos de flujo similares pueden tener diferentes configuraciones de gas, sellos y válvulas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10. Preguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Cómo afecta la selección de gas a la medición de flujo del SEC-Z517?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLos diferentes gases tienen diferentes propiedades físicas y características de flujo. El controlador requiere la configuración de gas correcta para una regulación de flujo precisa. No asuma que un rango equivalente a N2 proporciona un rendimiento de flujo real idéntico para cada gas. Confirme la calibración y configuración específica del gas antes de la puesta en marcha.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué sucede si la presión diferencial de funcionamiento cae por debajo de 50 kPa(d)?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl rango especificado de presión diferencial de funcionamiento comienza en 50 kPa(d). Una presión diferencial insuficiente puede impedir que el controlador alcance el flujo solicitado. Compruebe la presión de suministro aguas arriba, la contrapresión aguas abajo y las restricciones en la línea de gas antes de cambiar el controlador.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Por qué los ingenieros deben comprobar la configuración de la válvula normalmente abierta o normalmente cerrada?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl estado mecánico predeterminado de la válvula afecta al comportamiento de cierre de gas durante ciertas condiciones de alimentación o control. La selección correcta depende del diseño de seguridad del equipo. Verifique la configuración de válvula especificada con la filosofía de parada del panel de gas. No asuma que ambas configuraciones proporcionan un comportamiento de seguridad idéntico.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Puede el SEC-Z517 reemplazar directamente un controlador de flujo másico analógico existente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eNo necesariamente. El SEC-Z517 utiliza comunicación EtherCAT e interfaces de red RJ-45. Un controlador analógico puede utilizar diferentes conexiones eléctricas y señales de control. Compruebe el controlador host, la topología de red, las dimensiones de montaje, las conexiones de gas y la configuración de proceso antes del reemplazo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Qué deben investigar los ingenieros cuando el flujo mostrado fluctúa a pesar de una presión estable?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eComience comprobando la pureza del gas, la regulación aguas arriba y las restricciones aguas abajo. Inspeccione las conexiones en busca de contaminación o fugas. Luego verifique la configuración de gas, el rango de flujo y el estado de comunicación EtherCAT. Compare las condiciones de funcionamiento reales con los límites especificados de precisión y repetibilidad antes de sospechar una falla interna de la válvula.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11. Suministro de producto y soporte técnico\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e¿Busca el controlador de flujo másico EtherCAT \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e?\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMarca:\u003c\/strong\u003e HORIBA STEC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eModelo:\u003c\/strong\u003e SEC-Z517\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSerie:\u003c\/strong\u003e SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de producto:\u003c\/strong\u003e Controlador digital de flujo másico\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de flujo:\u003c\/strong\u003e 10 SCCM a 5,5 SLM\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eComunicación:\u003c\/strong\u003e EtherCAT\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGarantía:\u003c\/strong\u003e 12 meses, sujeta a los términos de venta.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspección:\u003c\/strong\u003e Inspección del producto antes del envío.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEnvío:\u003c\/strong\u003e DHL, FedEx, UPS y otros transportistas compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eContacte a nuestro equipo de ventas para obtener información sobre precios, disponibilidad y entrega. Proporcione su tipo de gas, el rango de flujo requerido y la configuración de conexión para una verificación precisa del modelo.\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027788361910,"sku":"SEC-Z517","price":125.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z517_1_9bd1206f-2993-4ecd-98e9-b9152ee53668.jpg?v=1794281282","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/sec-z517-horiba-stec-sec-z500x-ethercat-mass-flow-controller","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}