{"product_id":"sec-z512kx-horiba-stec-sec-z500x-mass-flow-controller","title":"SEC-Z512KX HORIBA STEC SEC-Z500X Controlador de flujo másico","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z512KX | Controlador de flujo másico de ultra bajo flujo HORIBA STEC SEC-Z500X\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eHORIBA STEC SEC-Z512KX\u003c\/strong\u003e es un controlador de flujo másico de ultra bajo flujo de la \u003cstrong\u003eserie SEC-Z500X Digital\/Analógica\u003c\/strong\u003e. Está diseñado para aplicaciones de procesos de semiconductores que requieren un control preciso de flujos de gas muy pequeños, con rangos fijos de escala completa de 1 SCCM o 2 SCCM sobre una base equivalente a N2.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEsta configuración combina una válvula de control piezoeléctrica, señales analógicas de consigna y de salida, y comunicación RS-485 F-Net. Su cuerpo compacto y la distancia de conexión de 106 mm facilitan su integración en conjuntos de suministro de gas donde el espacio de instalación y la estabilidad a bajo flujo son importantes.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Rendimiento de control a bajo flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eA escala completa, el SEC-Z512KX ofrece una precisión especificada de ±1,0 % de la escala completa (FS) y una repetibilidad de ±0,2 % de FS. Su rango de control se extiende del 2 % al 100 % de FS, lo que permite operar en una amplia parte del rango de medición seleccionado.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de rendimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de flujo a escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 SCCM o 2 SCCM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eReferencia de flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración del rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango fijo, gas único\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1,0 % de FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,2 % de FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5 % de FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de respuesta\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 segundo (T98, rango completo de flujo)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eActuador de la válvula\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePiezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNormalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNota de ingeniería:\u003c\/strong\u003e Las opciones de 1 SCCM y 2 SCCM son configuraciones de escala completa fija, no rangos de operación seleccionables por el usuario. Confirme el rango requerido y el gas calibrado antes de realizar el pedido.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Compatibilidad de gases y condiciones de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador está calibrado para un gas especificado y un rango de flujo fijo. Por lo tanto, la selección del gas forma parte de la configuración del pedido. La referencia de flujo equivalente a N2 no debe interpretarse como una calibración universal para todos los gases de proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGas calibrado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEspecificado al realizar el pedido; calibración para un solo gas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión diferencial de operación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión máxima de operación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResistencia a la presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSuperficie interna\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePulida, estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpciones de sellado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMetal o elastómero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegridad de estanqueidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003ePara los sistemas de suministro de gas de semiconductores, verifique conjuntamente la identidad del gas, la presión diferencial, el material del sello y las condiciones de suministro aguas arriba. Estos factores determinan si el controlador se adapta a la instalación de proceso prevista.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Integración analógica y digital\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl SEC-Z512KX admite tanto el control mediante señal analógica como la comunicación digital. Los ingenieros pueden seleccionar la interfaz adecuada según la arquitectura del panel de gas y los requisitos del sistema de control.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConsigna analógica:\u003c\/strong\u003e 0,1–5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSalida analógica:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInterfaz digital:\u003c\/strong\u003e Protocolo RS-485 F-Net\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVelocidad de comunicación:\u003c\/strong\u003e 38.400 bps\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConectores:\u003c\/strong\u003e D-Sub de 9 pines y RJ-45\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eAntes de la puesta en servicio, compruebe la configuración de señales del controlador maestro, los ajustes de comunicación, la asignación de pines de los conectores y el esquema de puesta a tierra. No asuma que una conexión física RS-485 garantiza la compatibilidad con un protocolo de comunicación diferente.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Diseño mecánico y dimensiones de instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa carcasa compacta mide 126 × 64 × 29 mm (Al × An × Pr). La conexión especificada es un conector macho VCR de 1\/4 de pulgada con una distancia de conexión de 106 mm.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro mecánico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones totales\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de conexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR macho de 1\/4 de pulgada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDistancia de conexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e106 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración calefactada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de operación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5–50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura recomendada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15–45 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe el espacio disponible en el panel y la distancia entre centros de las conexiones antes de sustituir un controlador instalado. Verifique también que las conexiones VCR emparejadas y la disposición de los sellos coincidan con la línea de gas existente.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Requisitos de alimentación eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador requiere alimentación de CC bipolar. Confirme que ambos rieles de alimentación se mantengan dentro de las especificaciones bajo carga de operación.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de alimentación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAlimentación positiva\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VCC ±5 %\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente de alimentación positiva\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e150 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAlimentación negativa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e-15 VCC ±5 %\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente de alimentación negativa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e150 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eDurante las comprobaciones de arranque, verifique la polaridad de la alimentación y la estabilidad del voltaje antes de aplicar la consigna de flujo. Un cableado de alimentación incorrecto o una capacidad de suministro insuficiente pueden impedir el funcionamiento normal y dificultar el diagnóstico de fallos.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Aplicaciones en procesos de semiconductores\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl SEC-Z512KX está destinado a aplicaciones en las que los requisitos de flujo de gas se encuentran dentro de sus rangos fijos de ultra bajo flujo. Las áreas de proceso típicas incluyen:\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eProcesos de dopado:\u003c\/strong\u003e Suministro controlado de gases de proceso en aplicaciones de bajo flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eImplantación iónica:\u003c\/strong\u003e Control del suministro de gas para equipos que requieren un flujo calibrado muy pequeño.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeposición de películas finas:\u003c\/strong\u003e Gestión de gas a bajo flujo en equipos de procesos de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePaneles de distribución de gas:\u003c\/strong\u003e Integración compacta en conjuntos de suministro de gas de precisión.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Comprobaciones de selección y puesta en servicio\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eUtilice las siguientes comprobaciones al especificar o sustituir este controlador:\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme el rango de escala completa:\u003c\/strong\u003e Seleccione la versión de 1 SCCM o 2 SCCM según el requisito del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la calibración del gas:\u003c\/strong\u003e Haga coincidir el gas calibrado con el gas de proceso real especificado para la aplicación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe las condiciones de presión:\u003c\/strong\u003e Mantenga la presión diferencial de operación dentro del rango especificado de 50–300 kPa(d).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la interfaz:\u003c\/strong\u003e Confirme los niveles de señal analógica o los requisitos de comunicación RS-485 F-Net.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe el ajuste mecánico:\u003c\/strong\u003e Verifique la conexión macho VCR de 1\/4 de pulgada y la distancia de conexión de 106 mm.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la selección del sello:\u003c\/strong\u003e Haga coincidir los sellos metálicos o de elastómero con los requisitos de material del sistema de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003eEstas comprobaciones ayudan a reducir los errores de sustitución causados por diferencias en la calibración del gas, el rango, las dimensiones de conexión y las interfaces del sistema de control.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e8 | Identificación del producto y datos de pedido\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eModelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z512KX\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X Digital\/Analógica\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador de flujo másico (MFC)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 SCCM o 2 SCCM, equivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTecnología de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eActuador piezoeléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eComunicación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAnalógica y RS-485 F-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConforme a RoHS; normas SEMI\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003ePreguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Se puede recalibrar el SEC-Z512KX para un gas de proceso diferente después de la instalación?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración suministrada está especificada para calibración de un solo gas y un solo rango. No asuma que cambiar el ajuste del gas en el sistema maestro proporcionará un flujo calibrado equivalente. Confirme las opciones de recalibración compatibles con el fabricante antes de planificar una conversión de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué se debe comprobar si el flujo medido no alcanza la consigna indicada?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe primero las condiciones reales de presión de entrada y salida. Luego verifique el rango de escala completa seleccionado, la calibración del gas, el nivel de consigna analógica y el voltaje de alimentación. Una presión diferencial fuera del intervalo de operación especificado puede limitar la capacidad del controlador para alcanzar el flujo solicitado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben evaluar los ingenieros la inestabilidad del flujo a consignas muy bajas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe si el flujo solicitado se encuentra dentro del rango de control del 2–100 % de FS. Inspeccione la estabilidad de la presión aguas arriba y las condiciones de suministro de gas, y luego revise el ruido de la señal y la puesta a tierra. A caudales de ultra bajo flujo, las pequeñas perturbaciones en el suministro de gas o la señal eléctrica pueden volverse significativas en relación con la consigna.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué precauciones se recomiendan al sustituir esta unidad en un panel de gas existente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompare el gas calibrado, el rango fijo, la orientación de la conexión VCR, la distancia de conexión, el material del sello y la interfaz eléctrica con la unidad instalada. Confirme la configuración de la válvula normalmente abierta o normalmente cerrada según corresponda al diseño del equipo. La coincidencia de la designación del modelo por sí sola no debe sustituir a una comprobación completa de la configuración.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cuándo se debe reconsiderar la versión sin calefacción para una instalación de proceso?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEvalúe el gas de proceso, la temperatura ambiente, el entorno de instalación y la estabilidad térmica requerida. Este modelo está especificado como la versión estándar sin calefacción, con una temperatura de operación de 5–50 °C. Si el proceso requiere control de temperatura del cuerpo del controlador o de la trayectoria del gas, confirme con el fabricante la configuración calefactada adecuada.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68046517731510,"sku":"SEC-Z512KX","price":163.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z512KX_1_57daa8b7-acb8-4dc6-a348-730e447b9949.jpg?v=1794456002","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/sec-z512kx-horiba-stec-sec-z500x-mass-flow-controller","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}