{"product_id":"fc-d980-aera-fc-d980-series-multi-gas-mass-flow-controller","title":"Controlador de flujo másico de múltiples gases FC-D980 AERA serie FC-D980","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eControlador digital de flujo másico AERA FC-D980\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eAERA FC-D980\u003c\/strong\u003e es un controlador digital de flujo másico diseñado para suministrar gas con precisión en equipos de procesos de semiconductores. Combina una \u003cstrong\u003eválvula de control piezoeléctrica\u003c\/strong\u003e, una estructura de sellado totalmente metálica y una calibración multipresión programable. Su arquitectura digital permite un control de flujo repetible para varios tipos de gas y rangos de medición.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLa serie FC-D980 abarca rangos de flujo de \u003cstrong\u003e3 sccm a 5 slm\u003c\/strong\u003e a escala completa, expresados como flujo equivalente de nitrógeno. Ofrece control y monitoreo analógicos, además de comunicación RS-485. Esta configuración es adecuada para sistemas de procesos que requieren una regulación precisa del gas, un funcionamiento estable a bajo flujo y superficies de contacto con el gas limpias.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Rendimiento del control de flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl FC-D980 mantiene la precisión especificada en todo su rango de funcionamiento. Su perfil de rendimiento permite tanto el funcionamiento a flujos más altos como el uso de consignas más bajas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de flujo a escala completa:\u003c\/strong\u003e 3 sccm a 5 slm, multirango, equivalente a N2\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión del 25 % al 100 % de la escala completa:\u003c\/strong\u003e ±1 % de la consigna\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión del 2 % al 25 % de la escala completa:\u003c\/strong\u003e ±0,25 % de la escala completa\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRepetibilidad:\u003c\/strong\u003e ±0,2 % de la escala completa\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de control:\u003c\/strong\u003e 2 % al 100 % de la escala completa\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTiempo de respuesta:\u003c\/strong\u003e Menos de 1 segundo para alcanzar ±2 % de la consigna\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTiempo de estabilización del flujo real:\u003c\/strong\u003e 0,5 segundos entre consignas\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilidad del cero:\u003c\/strong\u003e Menos del 0,5 % del flujo a escala completa durante un año\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLas referencias de precisión varían según el rango de funcionamiento. Por lo tanto, los ingenieros deben evaluar la consigna de flujo requerida en relación con el rango de escala completa seleccionado. Un rango adecuado ayuda a mantener la resolución de control necesaria sin sobredimensionar innecesariamente el controlador.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Calibración programable de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl FC-D980 admite el funcionamiento con varios gases mediante una calibración programable en campo. Puede almacenar hasta \u003cstrong\u003eocho configuraciones de gas\u003c\/strong\u003e, con hasta \u003cstrong\u003e11 puntos de calibración por gas\u003c\/strong\u003e.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eAdmite varios tipos de gas mediante la calibración programable de gas\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAlmacena hasta ocho configuraciones de gas\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eOfrece hasta 11 puntos de calibración para cada gas almacenado\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAdmite varios rangos de escala completa dentro de la serie de productos\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eUtiliza el flujo equivalente de nitrógeno como referencia indicada para el rango de flujo\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eAl configurar una receta de gas, confirme que el gas y los datos de calibración seleccionados coincidan con los requisitos reales del proceso. No asuma que cambiar únicamente la selección de gas valida todas las condiciones del proceso. Verifique la calibración aplicable, las condiciones de presión y el rango de escala completa antes de la puesta en marcha.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Trayectoria de gas limpia y construcción con sellado metálico\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa selección de materiales en contacto con el gas es importante en los equipos de semiconductores. El FC-D980 utiliza \u003cstrong\u003eacero inoxidable VAR tipo 316L de doble capa\u003c\/strong\u003e en su construcción en contacto con el gas. Las superficies en contacto con el gas se someten a electropulido y ultralimpiado para lograr un acabado superficial indicado de \u003cstrong\u003e1 Ra (0,025 μm)\u003c\/strong\u003e.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMaterial en contacto con el gas:\u003c\/strong\u003e Acero inoxidable VAR tipo 316L de doble capa\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTratamiento superficial:\u003c\/strong\u003e Electropulido y ultralimpiado\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcabado superficial:\u003c\/strong\u003e 1 Ra (0,025 μm)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConstrucción del sellado:\u003c\/strong\u003e Sellados totalmente metálicos\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIntegridad frente a fugas:\u003c\/strong\u003e Máximo de 1 × 10\u003csup\u003e-10\u003c\/sup\u003e atm-cc\/seg He\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eEl diseño de sellado totalmente metálico evita el uso de sellos elastoméricos en la estructura de sellado en contacto con el gas especificada. Este diseño es relevante al evaluar la compatibilidad con el gas, el control de la contaminación y la integridad frente a fugas en sistemas de procesos limpios.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Válvula piezoeléctrica y límites de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eUna válvula piezoeléctrica regula el flujo de gas en respuesta a la señal de demanda del controlador. El FC-D980 está disponible con una \u003cstrong\u003econfiguración de válvula normalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/strong\u003e. Confirme el comportamiento requerido de la válvula al seleccionar la unidad para un diseño específico de proceso o equipo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de válvula:\u003c\/strong\u003e Piezoeléctrica\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcción de válvula disponible:\u003c\/strong\u003e Normalmente abierta o normalmente cerrada\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión diferencial de funcionamiento:\u003c\/strong\u003e 7 a 40 psiD (49 a 275 kPaD)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión máxima de funcionamiento:\u003c\/strong\u003e 70 psig (490 kPaG)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión de prueba:\u003c\/strong\u003e 140 psig (981 kPaG)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfiguración calefactada:\u003c\/strong\u003e Versión estándar sin calefacción\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLa presión diferencial de funcionamiento y la presión máxima de entrada describen condiciones diferentes. Compare ambos valores con el suministro real de gas y la presión del proceso aguas abajo. La clasificación de presión de prueba no es un objetivo de funcionamiento normal.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Interfaz eléctrica e integración del control\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl FC-D980 combina señales analógicas con comunicación digital para la integración de equipos. Su interfaz eléctrica admite señales analógicas de consigna y de salida de flujo, junto con una conexión RS-485.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEntrada analógica:\u003c\/strong\u003e 0 a 5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSalida analógica:\u003c\/strong\u003e 0 a 5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eComunicación digital:\u003c\/strong\u003e RS-485\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompatibilidad con RS-232:\u003c\/strong\u003e Disponible mediante un convertidor\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConector:\u003c\/strong\u003e Conector Honda de 20 pines\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAlimentación positiva:\u003c\/strong\u003e +15 VCC ±2 %, mínimo 120 mA\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAlimentación negativa:\u003c\/strong\u003e -15 VCC ±2 %, mínimo 50 mA\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConsumo máximo de energía:\u003c\/strong\u003e 1,3 W\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eAntes de conectar el controlador, verifique la asignación de pines del lado del equipo y la capacidad de la fuente de alimentación. Confirme la escala de las señales analógicas y los ajustes de comunicación en relación con la configuración del sistema. La conexión RS-232 requiere un convertidor adecuado en lugar de asumir directamente una compatibilidad nativa con RS-232.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Datos mecánicos y ambientales\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFC-D980\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAERA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie de productos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie FC-D980\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador digital de flujo másico con válvula piezoeléctrica y sellado metálico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones (Al. × An. × Pr.)\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e129 × 38 × 124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDistancia entre puertos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePeso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,0 kg (2,2 lb)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5 a 45 °C (41 a 113 °F)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpción calefactada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo; versión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumplimiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRoHS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eReferencia del tiempo de estabilización\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eUtilice las dimensiones generales indicadas al comprobar el espacio libre en el panel del equipo y el espacio de montaje. Confirme la interfaz mecánica y la disposición de los puertos con el dibujo general aplicable antes de preparar las líneas de gas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Aplicaciones en procesos de semiconductores\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl FC-D980 está destinado a aplicaciones de suministro de gas en equipos de fabricación de semiconductores. Su calibración programable y su trayectoria de gas con sellado metálico permiten su integración en sistemas que requieren un flujo de gas controlado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeposición química de vapor (CVD):\u003c\/strong\u003e Regula el suministro de gas de proceso a los equipos de deposición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeposición física de vapor (PVD):\u003c\/strong\u003e Permite un suministro controlado de gas para procesos de deposición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGrabado por plasma:\u003c\/strong\u003e Controla el flujo de gas para el suministro de gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDifusión:\u003c\/strong\u003e Permite un suministro de gas repetible en equipos de procesos térmicos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eImplantación iónica:\u003c\/strong\u003e Proporciona un flujo de gas controlado en las configuraciones de equipos aplicables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePulverización catódica:\u003c\/strong\u003e Permite la regulación del gas en sistemas de procesos de pulverización catódica.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Comprobaciones de ingeniería antes de la instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme el rango de flujo:\u003c\/strong\u003e Haga coincidir el rango de escala completa seleccionado con el requisito de flujo del proceso. Compare la consigna requerida con el rango de control del 2 % al 100 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la calibración del gas:\u003c\/strong\u003e Confirme la selección de gas almacenada y los datos de calibración antes de introducir el gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe las condiciones de presión:\u003c\/strong\u003e Mantenga la presión diferencial entre 7 y 40 psiD y la presión de funcionamiento dentro del máximo indicado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspeccione las conexiones de gas:\u003c\/strong\u003e Mantenga prácticas de conexión limpias para proteger la trayectoria de gas electropulida de la contaminación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la compatibilidad eléctrica:\u003c\/strong\u003e Compruebe la alimentación de ±15 VCC, el conector de 20 pines, las señales analógicas y la interfaz RS-485.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la acción de la válvula:\u003c\/strong\u003e Seleccione la configuración normalmente abierta o normalmente cerrada que coincida con el diseño del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eValide la respuesta de flujo:\u003c\/strong\u003e Compruebe el comportamiento de estabilización con el gas, la presión y las condiciones reales del sistema después de la instalación.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Mantenimiento y diagnóstico de procesos\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eUn control de flujo estable depende del suministro de gas, las condiciones de presión, las señales eléctricas y la configuración de calibración. Cuando el flujo medido difiera de la consigna indicada, compruebe toda la trayectoria de suministro antes de reemplazar el controlador.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDesviación del flujo:\u003c\/strong\u003e Compare la consigna indicada con la salida medida y verifique la calibración de gas seleccionada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilización lenta:\u003c\/strong\u003e Compruebe la estabilidad de la presión aguas arriba, las restricciones aguas abajo y el volumen de la línea de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLecturas inestables:\u003c\/strong\u003e Inspeccione el voltaje de suministro, la puesta a tierra, el cableado de señales y las fluctuaciones de presión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFallos de comunicación:\u003c\/strong\u003e Verifique el cableado RS-485 y la configuración de comunicación del host.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eComportamiento inesperado de la válvula:\u003c\/strong\u003e Confirme si la unidad instalada utiliza una acción de válvula normalmente abierta o normalmente cerrada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeriva a largo plazo:\u003c\/strong\u003e Revise la estabilidad del cero y el historial de calibración antes de cambiar las consignas del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eEl FC-D980 incluye múltiples funciones de alarma y diagnóstico. Utilice la documentación aplicable del equipo para interpretar las indicaciones de diagnóstico y determinar las acciones correctivas. Evite abrir o modificar el conjunto de control de gas sin un procedimiento de servicio aprobado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Preguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Cómo deben los ingenieros seleccionar el rango de escala completa para un proceso con una demanda de flujo variable?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eElija un rango que cubra la mayor demanda prevista del proceso y que mantenga los puntos de funcionamiento normales dentro del rango de control especificado. Si el proceso pasa la mayor parte del tiempo cerca del límite inferior, revise la especificación de precisión para el rango del 2 % al 25 % de la escala completa. Para recetas con requisitos de flujo significativamente diferentes, evalúe si son necesarios rangos separados.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué se debe comprobar cuando se cambia una receta de gas en el controlador?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eVerifique la identidad del gas seleccionado, la calibración almacenada y los puntos de calibración aplicables. También confirme la presión de suministro de gas y los requisitos del proceso. Un cambio en la selección de gas no debe sustituir a una verificación a nivel de sistema del rendimiento de flujo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Por qué el controlador instalado puede mostrar un comportamiento de estabilización diferente al especificado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl tiempo de respuesta indicado describe el rendimiento del controlador en condiciones de prueba definidas. El comportamiento real del sistema también puede depender de la estabilidad de la presión aguas arriba, el volumen aguas abajo, las restricciones de las tuberías y el gas de proceso. Compruebe estas condiciones antes de considerar un tiempo de estabilización del sistema más prolongado como un fallo del controlador.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Cuál es la diferencia práctica entre las configuraciones de válvula normalmente abierta y normalmente cerrada?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLa distinción describe el estado mecánico predeterminado de la válvula cuando se retira su alimentación de accionamiento. Los ingenieros deben seleccionar la configuración según el diseño de aislamiento de gas y seguridad de proceso del equipo. Confirme el comportamiento requerido con el diseñador del sistema en lugar de asumir que ambas versiones responden de manera idéntica durante una interrupción del suministro eléctrico.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Qué información se debe preparar al reemplazar un FC-D980 en un equipo existente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eRegistre el rango de flujo a escala completa, la calibración de gas, la acción de la válvula, la presión de funcionamiento, la asignación de pines del conector, la escala de la señal analógica y los requisitos de comunicación. También compare la distancia entre puertos y el contorno mecánico con la unidad instalada. Estas comprobaciones ayudan a identificar diferencias de configuración antes de que el reemplazo entre en servicio.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eResumen del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eAERA FC-D980\u003c\/strong\u003e combina calibración digital multipresión, regulación de flujo piezoeléctrica y una estructura de sellado de gas totalmente metálica. Su rango de 3 sccm a 5 slm, su interfaz analógica de 0 a 5 VCC y su compatibilidad con la comunicación RS-485 ofrecen soporte para sistemas de suministro de gas para semiconductores. Para la selección de equipos, confirme la calibración de gas, el rango de escala completa, las condiciones de presión, la acción de la válvula y la configuración eléctrica requeridos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eContáctenos para obtener información sobre el producto FC-D980, verificación de la configuración y una cotización.\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"AERA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027805892790,"sku":"FC-D980","price":118.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/FC-D980_3.jpg?v=1794282312","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/fc-d980-aera-fc-d980-series-multi-gas-mass-flow-controller","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}