{"product_id":"e29h-1tbfl1b-mks-e29h-etch-baratron-gauge","title":"E29H.1TBFL1B MKS E29H Medidor Baratron de grabado","description":"\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eMKS E29H.1TBFL1B | Transductor de presión Baratron con sensor de grabado calefactado\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLos entornos de los procesos de grabado imponen requisitos exigentes a la medición de la presión de vacío. Los subproductos del proceso pueden acumularse en las superficies de detección expuestas y afectar a la estabilidad del cero a largo plazo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eMKS Instruments E29H.1TBFL1B\u003c\/strong\u003e aborda este desafío con un diseño especializado de sensor de grabado calefactado. Pertenece a la \u003cstrong\u003eserie MKS E29H (serie 600)\u003c\/strong\u003e y proporciona medición de presión absoluta en un \u003cstrong\u003erango de 0,1 Torr de fondo de escala\u003c\/strong\u003e.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl instrumento mantiene la temperatura del sensor a \u003cstrong\u003e100 °C\u003c\/strong\u003e. Su estructura de sumidero integrada patentada ayuda a proteger el diafragma de detección de la deposición de subproductos del proceso. Este diseño soporta aplicaciones exigentes de grabado en semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl transductor proporciona una salida analógica de 0–10 VCC a través de un conector D-sub de 9 pines. Su conexión de proceso hembra VCR de 8 soporta conexiones de vacío de alta pureza compatibles.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eE29H.1TBFL1B\u003c\/strong\u003e también ofrece compatibilidad total con los manómetros MKS 629 y E29 Baratron anteriores, según las especificaciones del producto suministradas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Identidad del producto y posicionamiento de ingeniería\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eIdentificación\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMKS Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo completo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE29H.1TBFL1B\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFamilia de productos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie E29H\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePlataforma\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie 600\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTransductor de presión Baratron con sensor de grabado calefactado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrincipio de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eManómetro capacitivo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eReferencia de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión absoluta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e0,1 Torr\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura controlada del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e100 °C\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOrientación de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVertical\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión eléctrica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 9 pines con bloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eProtección de grabado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSumidero integrado patentado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Tecnología del sensor de grabado y ventajas estructurales\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa característica definitoria de la \u003cstrong\u003eserie E29H\u003c\/strong\u003e es su construcción especializada de sensor de grabado. El sumidero integrado aborda los riesgos de contaminación en entornos de procesos reactivos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eCaracterística de diseño\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eFunción de ingeniería\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConjunto de detección calefactado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMantiene una temperatura controlada del sensor de 100 °C.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstructura del sensor de grabado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAborda la acumulación de subproductos del proceso alrededor del diafragma de detección.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSumidero integrado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAyuda a evitar que los depósitos del proceso alcancen el diafragma de aislamiento.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales Inconel en contacto con el proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProporciona la construcción de material de contacto con el proceso especificada.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMedición capacitiva\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMide la presión absoluta mediante el desplazamiento del diafragma.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eDiseño patentado:\u003c\/strong\u003e El sumidero integrado incorpora tecnología patentada bajo la Patente de EE. UU. N.º 5,822,685.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEn las aplicaciones de grabado, los residuos del proceso depositados pueden alterar el comportamiento del diafragma y contribuir a la deriva de la medición. El diseño del sumidero ayuda a limitar esta exposición y permite un monitoreo de presión más consistente.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Desglose de configuración – Estructura del código de pedido\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl número de pedido completo identifica la familia de instrumentos, el rango de presión, la unidad y la configuración de hardware seleccionada. El siguiente árbol separa las especificaciones confirmadas de las interpretaciones de código que requieren documentación original del fabricante.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eSegmento de código\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eCategoría de configuración\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eIdentificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE29H\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFamilia de productos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFamilia Baratron de sensores de grabado calefactados MKS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e.1\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCódigo de fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de rango de 0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eT\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUnidad de presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTorr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCódigo de configuración térmica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRequiere confirmación con la tabla original de códigos de pedido; la especificación suministrada indica 100 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eF\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCódigo de conexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLa configuración suministrada especifica 8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eL1B\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración eléctrica y de fábrica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLa configuración suministrada especifica D-sub de 9 pines y calibración vertical\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNúmero de pedido completo:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eE29H\u003c\/strong\u003e – Familia de productos de sensores de grabado calefactados\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003e.1T\u003c\/strong\u003e – Rango de presión de 0,1 Torr\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e – Código de configuración que requiere verificación del fabricante\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eF\u003c\/strong\u003e – Configuración de conexión asociada con la especificación 8 VCR hembra suministrada\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eL1B\u003c\/strong\u003e – Identificador adicional de configuración eléctrica y de fábrica\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNota de pedido:\u003c\/strong\u003e No infiera la temperatura del calentador, el número de pines del conector o la orientación de calibración únicamente a partir de los caracteres de sufijo individuales. Confirme estos detalles con la documentación completa de pedidos del fabricante.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Rendimiento y precisión de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa configuración de detección de rango bajo permite un monitoreo preciso de la presión absoluta. Su precisión especificada incluye no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro de medición\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión absoluta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e0,1 Torr\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura controlada del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e100 °C\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eComponentes de precisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo linealidad, histéresis y falta de repetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResolución\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,001% F.S.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResolución equivalente\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,000001 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e100 °C controlada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOrientación de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVertical\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación de la medición:\u003c\/strong\u003e La especificación del 0,50% de la lectura describe la precisión. El valor del 0,001% F.S. describe la resolución. La resolución no representa una precisión de medición garantizada.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Características térmicas y condiciones de operación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl conjunto calefactado mantiene una temperatura controlada del sensor de 100 °C. Este arreglo térmico permite la estabilidad de la medición en entornos de procesos de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro térmico\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eValor\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura controlada del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e100 °C\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura ambiente de operación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15 a 40 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,01% F.S.\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,02% de la lectura\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideración de ingeniería:\u003c\/strong\u003e La temperatura interna del sensor difiere de la temperatura ambiente circundante. Mantenga el rango ambiente especificado durante la operación.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Interfaz eléctrica y características de señal\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl instrumento utiliza una salida analógica basada en voltaje. Permite la integración con módulos de entrada analógica PLC compatibles y sistemas industriales de adquisición de datos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro eléctrico\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuente de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC, ±5%\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente máxima\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,50 A\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0 a +10 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCarga de salida\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMayor a 10 kΩ\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector eléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 9 pines\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRetención del conector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eBloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalidas de punto de disparo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo disponible\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLED de estado del calentador\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo disponible\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendaciones de integración:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eProporcione una fuente de alimentación regulada de ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la corriente de suministro disponible antes de la instalación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eUtilice una entrada analógica compatible con señales de 0–10 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMantenga una impedancia de entrada superior a 10 kΩ.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la asignación de pines del D-sub de 9 antes del cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAplique prácticas adecuadas de blindaje de señal y puesta a tierra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eNo espere salidas de relé ni indicación local del estado del calentador.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Interfaz de proceso y construcción mecánica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa conexión hembra VCR de 8 soporta tuberías de gas de proceso de alta pureza. El Inconel forma la construcción de material en contacto especificada.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro mecánico\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInconel\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVolumen interno\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e6,3 cc\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLímite de sobrepresión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e45 psia (310 kPa)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDiámetro del cuerpo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,15 in (80,0 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAltura del cuerpo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,87 in (98,4 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLongitud del vástago\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,38 in (35,1 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumplimiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumple con CE\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInstalación mecánica:\u003c\/strong\u003e Verifique la compatibilidad de las conexiones, las superficies de sellado y el espacio libre de instalación. Utilice componentes de conexión VCR adecuados para el sistema de proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Procedimiento de instalación y puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa instalación correcta ayuda a preservar la condición de medición calibrada. La siguiente secuencia permite una puesta en marcha sistemática del equipo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique el modelo:\u003c\/strong\u003e Confirme el número de pedido completo E29H.1TBFL1B.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique el rango:\u003c\/strong\u003e Verifique el requisito de fondo de escala de 0,1 Torr.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la orientación:\u003c\/strong\u003e Instale según la especificación de calibración vertical.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspeccione la conexión:\u003c\/strong\u003e Verifique la conexión hembra VCR de 8 y los componentes de acoplamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrepare la línea de proceso:\u003c\/strong\u003e Elimine la contaminación de las superficies de conexión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eComplete la instalación mecánica:\u003c\/strong\u003e Siga el procedimiento de instalación VCR adecuado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConecte la alimentación:\u003c\/strong\u003e Aplique el suministro especificado de ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConecte la señal:\u003c\/strong\u003e Verifique el cableado del D-sub de 9 pines y la configuración de entrada analógica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePermita la estabilización térmica:\u003c\/strong\u003e Complete el período de calentamiento de cuatro horas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eValide la medición:\u003c\/strong\u003e Compare la salida con una referencia calibrada adecuada.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Mantenimiento y confiabilidad del proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLos subproductos del proceso de grabado pueden influir en el rendimiento de detección de vacío. El mantenimiento debe centrarse en la limpieza del proceso, la estabilidad térmica y la integridad de la señal.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eEnfoque de mantenimiento\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eAcción de ingeniería\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResiduos de grabado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInspeccione el sistema de proceso en busca de deposición o contaminación anormal.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de vacío\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerifique las superficies de sellado VCR y la integridad de la conexión.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstabilidad del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerifique la presión de referencia y las condiciones de calibración.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstabilización térmica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePermita el período de calentamiento especificado de cuatro horas.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegridad eléctrica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInspeccione el voltaje de suministro, la puesta a tierra y el cableado analógico.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerificación de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompare las lecturas con un instrumento de referencia independiente.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendación de servicio:\u003c\/strong\u003e Evite el desmontaje no autorizado del conjunto de detección. Siga los procedimientos de MKS al limpiar, inspeccionar o recalibrar el instrumento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Compatibilidad del sistema y aplicaciones de reemplazo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eE29H.1TBFL1B\u003c\/strong\u003e está destinado a aplicaciones de vacío para semiconductores que requieren monitoreo de baja presión bajo condiciones de proceso de grabado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eEquipos de grabado por plasma para semiconductores\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSistemas de procesos de grabado reactivo por iones\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMonitoreo de presión de cámaras de vacío\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEquipos de gases de proceso para semiconductores\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEnsamblajes de vacío de alta pureza\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSistemas de instrumentación Baratron MKS compatibles\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCompatibilidad heredada:\u003c\/strong\u003e La especificación suministrada identifica compatibilidad total con los manómetros MKS 629 y E29 Baratron anteriores. Verifique la configuración eléctrica y mecánica completa antes del reemplazo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eLista de verificación de reemplazo:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme el rango de fondo de escala de 0,1 Torr.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el requisito de medición de presión absoluta.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la especificación de temperatura del sensor de 100 °C.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la conexión de proceso hembra VCR de 8.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCoincida con la interfaz eléctrica D-sub de 9 pines.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el requisito de alimentación de ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003ePreserve la orientación de calibración vertical.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Certificaciones y cumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCumplimiento con CE:\u003c\/strong\u003e El modelo especificado cumple con CE.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMedición de presión:\u003c\/strong\u003e Medición capacitiva absoluta.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConstrucción del proceso:\u003c\/strong\u003e Materiales Inconel en contacto con el proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión de proceso:\u003c\/strong\u003e 8 VCR hembra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDiseño de grabado patentado:\u003c\/strong\u003e Patente de EE. UU. N.º 5,822,685.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eSolicite la declaración aplicable del fabricante y los documentos técnicos de respaldo cuando su proyecto requiera una verificación formal de cumplimiento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e12 | Cinco preguntas frecuentes de ingeniería profesional\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Por qué un transductor de presión específico para grabado necesita un sumidero integrado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eR:\u003c\/strong\u003e Los procesos de grabado pueden generar subproductos que se desplazan a través del sistema de vacío. El sumidero integrado ayuda a limitar su acumulación en el diafragma de aislamiento. Esto reduce una fuente potencial de deriva de medición y problemas de mantenimiento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué deben considerar los ingenieros al reemplazar un instrumento MKS 629 o E29 anterior?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eR:\u003c\/strong\u003e Verifique el arreglo de montaje, las dimensiones de la conexión, el pinout eléctrico, el rango de presión y los requisitos de señal analógica. La compatibilidad heredada indicada no elimina la necesidad de verificar la configuración del sistema instalado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben investigar los equipos de mantenimiento la deriva gradual del cero en una cámara de grabado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eR:\u003c\/strong\u003e Primero, inspeccione la contaminación del proceso y la integridad de la conexión de vacío. Luego verifique el período de calentamiento y compare la lectura con una referencia independiente. Evite asumir que cada cambio del cero indica una falla electrónica.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿El E29H es adecuado para aplicaciones que requieren un indicador local listo para calentador?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eR:\u003c\/strong\u003e Esta configuración no incluye un LED de estado del calentador. Si los operadores requieren una indicación local del calentador, seleccione un modelo con una función de indicador confirmada o proporcione una solución de monitoreo externa adecuada.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cómo deben elegir los equipos de compras entre un E29H y un Baratron calefactado estándar?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eR:\u003c\/strong\u003e Considere primero la química del proceso y el riesgo de deposición. Una estructura de detección específica para grabado ofrece una ventaja de diseño cuando los subproductos del proceso amenazan la limpieza del diafragma. También compare el rango, la temperatura del sensor, las conexiones, la precisión y la configuración eléctrica.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e13 | Términos comerciales e información de pedido\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eApoyamos el mantenimiento de equipos de semiconductores, el reemplazo de instrumentación de vacío y las compras de automatización industrial.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eInformación comercial\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eDetalles\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMKS Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE29H.1TBFL1B\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie E29H \/ 600\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSensor Baratron de grabado térmico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e100 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eGarantía\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e12 meses\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMétodos de envío\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFedEx \/ UPS \/ DHL\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eGarantía de 12 meses:\u003c\/strong\u003e Ofrecemos una garantía de 12 meses contra defectos cubiertos del producto, sujeta a los términos de venta y las condiciones de garantía acordados.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eEntrega internacional:\u003c\/strong\u003e Admitimos opciones de envío por FedEx, UPS y DHL. Los arreglos de entrega dependen del destino y de la confirmación del pedido.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSolicitar una cotización:\u003c\/strong\u003e Contacte a nuestro equipo de ventas para obtener información sobre precios, disponibilidad, plazos de entrega y soporte técnico. Proporcione el número de modelo completo y los requisitos de proceso para ayudar a verificar la configuración correcta.\u003c\/p\u003e\n","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68020406321334,"sku":"E29H.1TBFL1B","price":163.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/E29H.1TBFL1B.jpg?v=1794209203","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/e29h-1tbfl1b-mks-e29h-etch-baratron-gauge","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}