{"product_id":"e28h11tde2b-mks-instruments-600-series-etch-pressure-transducer","title":"E28H11TDE2B MKS Instruments Transductor de presión de grabado Serie 600","description":"\u003ch3\u003e\u003cb\u003eMKS Instruments E28H11TDE2B – Sensor Baratron para grabado con calefacción a 100 °C\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eE28H11TDE2B\u003c\/strong\u003e es un sensor de presión absoluta con calefacción a 100 °C de la \u003cstrong\u003eserie E28H 600 de MKS Instruments\u003c\/strong\u003e. Utiliza tecnología de diafragma capacitivo para medir presiones absolutas bajas con alta repetibilidad.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eDiseñado para aplicaciones de grabado en semiconductores, este sensor mantiene una temperatura controlada para favorecer una medición de presión estable. Su deflector de grabado patentado integrado cuenta con un diseño de sumidero que ayuda a proteger el área de detección en entornos de proceso exigentes.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLa unidad proporciona una salida analógica de 0–10 VCC y no incluye puntos de disparo integrados. Un LED de estado de la calefacción proporciona una indicación local del funcionamiento de la misma. La conexión NW16 ISO-KF permite conectarlo a líneas de vacío compatibles.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e01 | Desglose de la configuración\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl código de pedido identifica la familia de sensores, el rango de presión, la conexión, la conexión eléctrica y las opciones de configuración. El siguiente desglose se basa en la información de configuración suministrada. Las definiciones de los sufijos relacionados con la calibración deben confirmarse con la documentación oficial de códigos de pedido de MKS.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eSegmento del código\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eConfiguración\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eInterpretación suministrada\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE28H\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFamilia de productos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSensor Baratron para grabado E28H con calefacción a 100 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e11T\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 Torr de fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eD\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión NW16 ISO-KF\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpción de configuración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLa descripción del código suministrado asocia este segmento con opciones de precisión y calibración. Su significado exacto requiere confirmación.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e2\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector eléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpción de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLa descripción del código suministrado indica una calibración horizontal, lo que entra en conflicto con la especificación del producto, que establece una calibración vertical.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eVerificación de la configuración:\u003c\/strong\u003e La especificación técnica suministrada establece una calibración vertical. La explicación del sufijo identifica una calibración horizontal para los segmentos E y B. Estos detalles son contradictorios y deben comprobarse con el registro de pedido completo del fabricante antes de sustituir o instalar el sensor.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e02 | Rendimiento de medición\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión absoluta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlada a 100 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,25 % de la lectura, incluyendo no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResolución\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,001 % del fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOrientación de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVertical, según la especificación técnica suministrada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstado de la calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIndicador LED\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePuntos de disparo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNinguno; solo salida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e03 | Interfaz eléctrica y salida de señal\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuente de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC, ±5 %\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente máxima\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,60 A\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0 a +10 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCarga de salida\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSuperior a 10 kΩ\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de señal\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida de tensión analógica\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLa salida de 0–10 VCC permite la conexión a equipos compatibles de monitorización y control de procesos. Confirme el rango de entrada y los requisitos de puesta a tierra del instrumento receptor antes de realizar el cableado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e04 | Conexión de vacío y construcción del sensor\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNW16 ISO-KF\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto con el proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInconel\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVolumen interno\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e6,3 cc\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLímite de sobrepresión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e45 psia (310 kPa) o el 120 % del fondo de escala, lo que sea mayor\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeflector de grabado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDiseño de sumidero patentado integrado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eReferencia de la patente\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePatente de EE. UU. n.º 5.822.685\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eEl deflector de grabado integrado con diseño de sumidero está diseñado para entornos de procesos de grabado. La construcción en Inconel de las partes en contacto con el proceso proporciona la interfaz de material especificada para la exposición al proceso. Aun así, se debe evaluar la compatibilidad con el proceso en función de la composición real de los gases y las condiciones de funcionamiento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e05 | Datos térmicos y mecánicos\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDe 15 a 40 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,002 % FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del fondo de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,02 % de la lectura\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDiámetro\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,15 in (80,0 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAltura del cuerpo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,87 in (98,4 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLongitud del vástago\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,38 in (35,1 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e06 | Notas de selección e instalación para ingeniería\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de presión:\u003c\/strong\u003e Confirme que el rango de fondo de escala de 10 Torr coincida con el intervalo de presión del proceso. Evite seleccionar un rango basándose únicamente en la presión máxima del sistema.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOrientación de montaje:\u003c\/strong\u003e Verifique la orientación de calibración requerida antes de la instalación. La especificación suministrada establece una calibración vertical.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFuncionamiento de la calefacción:\u003c\/strong\u003e Espere aproximadamente dos horas para que se caliente antes de confiar en el rendimiento de medición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompatibilidad eléctrica:\u003c\/strong\u003e Compruebe la fuente de alimentación de ±15 VCC, la capacidad de corriente, la entrada de 0–10 VCC y la disposición de los pines del conector de 15 pines.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInterfaz de vacío:\u003c\/strong\u003e Confirme que el sistema utiliza una conexión NW16 ISO-KF y que los componentes de sellado son compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eExposición al proceso:\u003c\/strong\u003e Revise la composición de los gases, los depósitos y los procedimientos de limpieza antes de utilizar el sensor en una cámara de grabado.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e07 | Compatibilidad de sustitución\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cnl--\u003e\u003cp\u003eEl E28H11TDE2B se especifica como intercambiable con familias anteriores de manómetros Baratron de MKS, entre ellas:\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie 128\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie 628A\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie 628B\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie 628D\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie E28B\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie E28D\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMKS serie E28F\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eLa intercambiabilidad no debe considerarse como una compatibilidad automática de conexión y uso. Antes de sustituir una unidad instalada, compare el rango de presión, la conexión, la orientación de montaje, la asignación de pines del conector, la fuente de alimentación, la señal de salida y los requisitos de calibración.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e08 | Información de cumplimiento y suministro\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFabricante:\u003c\/strong\u003e MKS Instruments\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSerie:\u003c\/strong\u003e E28H \/ serie 600\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eModelo:\u003c\/strong\u003e E28H11TDE2B\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCumplimiento:\u003c\/strong\u003e Conforme a la CE\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstado:\u003c\/strong\u003e Nuevo y original en embalaje de fábrica\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGarantía:\u003c\/strong\u003e Garantía de fábrica: 12 meses\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEnvío:\u003c\/strong\u003e Disponible por FedEx, UPS y DHL\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e09 | Perspectiva de ingeniería del centro global de repuestos PLC\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eAl seleccionar el E28H11TDE2B, los ingenieros deben prestar especial atención a su diseño de sensor con calefacción y a su orientación de instalación. La temperatura controlada del sensor a 100 °C, el rango de medición de 10 Torr y la salida de 0–10 VCC definen sus principales requisitos de integración.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eEl deflector de grabado integrado con diseño de sumidero es una característica de configuración importante para aplicaciones de procesos de semiconductores. En proyectos de sustitución, verifique el código de modelo completo y la interfaz eléctrica en lugar de confiar únicamente en el nombre de la serie. La discrepancia de orientación de calibración en la descripción del sufijo suministrada también debe resolverse antes de realizar el pedido.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e10 | Preguntas frecuentes\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Qué información debe proporcionarse al solicitar una cotización de sustitución?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eProporcione el número de modelo completo, la aplicación del equipo, el rango de presión, el tipo de conexión, los detalles del conector y una foto de la placa de identificación instalada. Estos detalles ayudan a verificar la configuración requerida antes del envío.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Se puede instalar este sensor en un sistema que actualmente utiliza un modelo Baratron diferente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003ePotencialmente. Las familias heredadas enumeradas se identifican como intercambiables, pero la instalación real debe comprobarse en cuanto a compatibilidad mecánica, eléctrica y de calibración. Un rango de presión idéntico no es suficiente.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Qué debe comprobarse si la lectura de presión se desvía después de la instalación?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eCompruebe el tiempo de calentamiento, la orientación de montaje, la estabilidad de la fuente de alimentación, la puesta a tierra, la contaminación del proceso y la configuración de entrada del instrumento receptor. Compare la salida con una referencia adecuada antes de ajustar los controles del sistema.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Es adecuado un sensor de 10 Torr para todos los procesos de grabado de baja presión?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eNo. El rango correcto depende de la presión de funcionamiento normal, los transitorios del proceso y la resolución de medición requerida. Revise el intervalo de presión previsto y los requisitos del sistema de control antes de seleccionar el rango.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿El E28H11TDE2B proporciona alarmas de relé para los límites de presión?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eNo. La especificación suministrada identifica este modelo como de salida analógica únicamente, sin puntos de disparo. Si la aplicación requiere un conmutador de alarma independiente, utilice un controlador externo o un sistema de monitorización compatible.\u003c\/p\u003e\u003c\/nl--\u003e","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68020349173942,"sku":"E28H11TDE2B","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/E28H11TDE2B_1.jpg?v=1794209087","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/e28h11tde2b-mks-instruments-600-series-etch-pressure-transducer","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}