{"product_id":"e28h-1tbf5b-mks-instruments-e28h-series-etch-sensor-baratron","title":"E28H.1TBF5B MKS Instruments Sensor de grabado serie E28H Baratron","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDescripción general del producto | Baratron E28H.1TBF5B optimizado para grabado\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1565C0;\"\u003eMKS Instruments E28H.1TBF5B\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e es un manómetro capacitivo absoluto calefactado a 100 °C de la \u003cstrong\u003eserie E28H\u003c\/strong\u003e, parte de la serie MKS 600. Combina un rango de medición de baja presión de 0,1 Torr con un deflector de grabado integrado diseñado para entornos exigentes de procesos de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl sensor mantiene su elemento de medición a una temperatura controlada de 100 °C. Este diseño térmico permite una medición de presión estable en procesos donde los gases corrosivos y los subproductos de reacción pueden afectar las superficies expuestas del sensor. Su depósito integrado patentado ayuda a limitar la deposición en el diafragma sensor.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl instrumento proporciona una salida analógica de 0 a +10 VCC y utiliza un conector D-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca. En la configuración especificada, no dispone de salidas de punto de disparo ni de LED de estado del calentador.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDiseño para procesos de grabado | Estabilidad de medición y protección\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl diseño del E28H aborda un desafío práctico en las aplicaciones de grabado de semiconductores: los depósitos del proceso pueden acumularse dentro de los equipos de medición de presión y afectar el rendimiento a largo plazo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeflector de grabado integrado:\u003c\/strong\u003e La estructura patentada del depósito ayuda a gestionar los subproductos del proceso antes de que alcancen el diafragma sensor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eControl de temperatura de 100 °C:\u003c\/strong\u003e El sensor calefactado permite condiciones de medición controladas durante los procesos de grabado compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMateriales en contacto con Inconel:\u003c\/strong\u003e La construcción especificada en contacto con el proceso está diseñada para entornos exigentes de gases de proceso. Confirme la compatibilidad química con la mezcla real de gases.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMedición de baja presión:\u003c\/strong\u003e El rango de escala completa de 0,1 Torr permite aplicaciones que requieren un monitoreo sensible de la presión absoluta.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCalibración horizontal:\u003c\/strong\u003e El instrumento está calibrado en orientación horizontal. La instalación debe mantener la posición de referencia especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eEspecificaciones técnicas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMKS Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE28H.1TBF5B\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eE28H \/ Serie 600\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eBaratron calefactado a 100 °C para grabado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión absoluta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlada a 100 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,50 % de la lectura, incluyendo no linealidad, histéresis y falta de repetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResolución\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,001 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOrientación de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHorizontal\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuente de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC (±5 %)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente máxima\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,60 A\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0 a +10 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCarga de salida\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMayor que 10 kΩ\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector eléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePuntos de disparo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNinguno; solo salida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLED de estado del calentador\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo incluido\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLímite de sobrepresión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e45 psia (310 kPa) o el 120 % de la escala completa, lo que sea mayor\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVolumen interno\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e6,3 cc\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInconel\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDe 15 a 40 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura de cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,01 % de la escala completa\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura de la escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,02 % de la lectura\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDiámetro: 3,15 in (80,0 mm); altura del cuerpo: 3,87 in (98,4 mm); vástago: 1,38 in (35,1 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumplimiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumple con CE\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDesglose de la configuración | E28H.1TBF5B\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl código de pedido identifica la familia de sensores, el rango de medición, la conexión de proceso, la interfaz eléctrica, la clase de precisión y la orientación de calibración.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eSegmento del código\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eConfiguración\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eInterpretación de ingeniería\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE28H\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFamilia de modelos de sensor de grabado\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eManómetro capacitivo absoluto e-Baratron calefactado a 100 °C con estructura de protección de grabado integrada.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e1T\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de 0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDefine el rango de presión de escala completa del instrumento.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEspecifica la conexión de proceso 8 VCR hembra compatible con Swagelok.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eF\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInterfaz eléctrica analógica con herrajes bloqueadores de rosca.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e5\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión de lectura del 0,50 %\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDefine la clase de precisión de medición indicada.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCalibración horizontal\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIdentifica la orientación de calibración utilizada para el instrumento.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eNota de pedido:\u003c\/strong\u003e Verifique el sufijo completo con la placa de identificación del instrumento y la documentación aplicable de MKS antes del reemplazo. La coincidencia únicamente con la familia de modelos no establece la compatibilidad eléctrica, mecánica o de proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones de instalación y puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOrientación de montaje:\u003c\/strong\u003e Instale el sensor en su orientación de calibración horizontal especificada. Una posición de montaje incorrecta puede afectar el rendimiento de medición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilización térmica:\u003c\/strong\u003e Permita aproximadamente cuatro horas de calentamiento antes de confiar en las lecturas de medición. Evite tratar los valores iniciales de arranque como datos de proceso estabilizados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerificación de alimentación:\u003c\/strong\u003e Confirme una fuente regulada de ±15 VCC dentro de ±5 % y asegúrese de que el circuito pueda soportar el requisito de corriente máxima de 0,60 A.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIntegración de señal:\u003c\/strong\u003e Configure el controlador receptor o el canal de adquisición de datos para una señal analógica de 0 a +10 VCC. Verifique que su impedancia de entrada supere los 10 kΩ.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión de proceso:\u003c\/strong\u003e Confirme que el ajuste 8 VCR hembra coincida con el puerto de la cámara y el herraje de acoplamiento. Siga los procedimientos aplicables de conexión de vacío de alta pureza.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompatibilidad de gases:\u003c\/strong\u003e Revise la química del proceso y las condiciones de temperatura antes de exponer las superficies de contacto de Inconel a gases corrosivos.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eMantenimiento y diagnóstico de campo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003ePara aplicaciones de grabado de baja presión, las lecturas estables dependen de más que la precisión del sensor. Los depósitos del proceso, las condiciones de instalación, la puesta a tierra eléctrica y la estabilización térmica pueden afectar el lazo de medición.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRespuesta lenta o deriva de presión:\u003c\/strong\u003e Verifique la contaminación del lado del proceso, los cambios en las condiciones de la cámara y la estabilización térmica incompleta antes de ajustar el sistema de control.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDesviación de cero inesperada:\u003c\/strong\u003e Verifique la orientación de instalación, el voltaje de alimentación, la referencia de señal y las condiciones reales de presión de la cámara.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSeñal analógica inestable:\u003c\/strong\u003e Inspeccione el acoplamiento del conector, el blindaje del cable, la puesta a tierra y la configuración de entrada del controlador.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eContaminación repetida del lado del proceso:\u003c\/strong\u003e Revise la química de grabado, los intervalos de limpieza de la cámara y el estado del deflector integrado. No asuma que el deflector elimina todos los requisitos de mantenimiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerificación de reemplazo:\u003c\/strong\u003e Compare el sufijo completo, el ajuste, la interfaz de salida, la orientación de calibración y el rango de presión antes de instalar un reemplazo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eGuía de compatibilidad y reemplazo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eMKS identifica el \u003cstrong\u003eE28H\u003c\/strong\u003e como intercambiable con los manómetros Baratron anteriores 128, 628A\/B\/D y E28B\/D\/F. Esto proporciona un punto de partida útil al evaluar el reemplazo de equipos heredados.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eSin embargo, la intercambiabilidad debe confirmarse para la instalación específica. Verifique el rango de presión, el ajuste de proceso, la asignación de pines del conector, los requisitos de alimentación, la escala de la señal analógica, la orientación de calibración y la compatibilidad de los materiales del proceso. Una declaración de reemplazo a nivel de familia no garantiza que cada configuración de sufijo sea un sustituto directo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eInformación del paquete y suministro\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eProducto: MKS Instruments E28H.1TBF5B Sensor calefactado para grabado Baratron\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfiguración: 0,1 Torr, 8 VCR hembra, D-sub de 15 pines, precisión de lectura del 0,50 %, calibración horizontal\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eGarantía: 12 meses\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMétodos de envío: FedEx, UPS o DHL\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eContenido del paquete: Unidad de sensor y accesorios estándar suministrados con la configuración de pedido confirmada. Confirme los requisitos de accesorios antes de realizar el pedido.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003ePreguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Qué deben verificar los ingenieros antes de reemplazar un Baratron antiguo con este modelo E28H?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompare el rango de escala completa, el ajuste de proceso, la asignación de pines del conector, la fuente de alimentación, la escala de salida y la orientación de montaje. También confirme que el reemplazo sea adecuado para la química de los gases del proceso. No confíe únicamente en la intercambiabilidad de la familia de modelos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Es adecuado un sensor de escala completa de 0,1 Torr para cada cámara de grabado de baja presión?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo. El rango seleccionado debe cubrir la presión de operación normal de la cámara y las transiciones esperadas. Un rango demasiado alto puede sacrificar la resolución útil de la señal, mientras que un rango demasiado bajo puede exponer el sensor a excursiones de presión inadecuadas. Revise juntos la presión normal, los límites de control y las condiciones de falla.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben los equipos de mantenimiento distinguir los problemas del sensor de los cambios en el proceso de la cámara?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompare la salida del Baratron con una referencia de presión independiente o una medición verificada de la cámara. Verifique primero el lazo analógico y la estabilización térmica. Si la señal eléctrica permanece estable mientras la presión de referencia cambia, investigue las condiciones de la cámara y del proceso antes de descartar el sensor.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué equipo adicional se necesita para usar este modelo en un sistema de control?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl sistema receptor necesita una fuente de alimentación compatible de ±15 VCC y una entrada analógica de 0 a +10 VCC con una impedancia superior a 10 kΩ. Confirme la asignación de pines del conector y los requisitos de común de señal de la documentación de cableado aplicable antes de la puesta en marcha.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cuándo debe un comprador elegir un sensor de grabado en lugar de un Baratron calefactado estándar?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eConsidere un diseño específico para grabado cuando la química del proceso y los subproductos de reacción creen un riesgo significativo de depósitos alrededor del diafragma sensor. El depósito integrado está destinado a ayudar a gestionar esta exposición. La selección aún debe tener en cuenta la compatibilidad de gases, las prácticas de limpieza de la cámara, el rango de presión y la estrategia de mantenimiento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e¿Por qué obtener el E28H.1TBF5B de Global PLC Spare HUB?\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eGlobal PLC Spare HUB apoya el abastecimiento de automatización industrial y equipos de procesos de semiconductores. Proporcionamos verificación de modelos y sufijos para ayudar a reducir los errores de pedido en proyectos de reemplazo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGarantía de 12 meses:\u003c\/strong\u003e La cobertura de la garantía se proporciona de acuerdo con los términos de pedido confirmados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEnvío internacional:\u003c\/strong\u003e Opciones de envío de FedEx, UPS y DHL disponibles.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRevisión técnica del pedido:\u003c\/strong\u003e Confirme el rango, el ajuste, el conector y la orientación de calibración antes de la compra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSoporte de aplicaciones:\u003c\/strong\u003e Comparta su modelo existente y los detalles de instalación para una revisión de compatibilidad de reemplazo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eContacte a nuestro equipo con el número de pieza completo \u003cstrong\u003eE28H.1TBF5B\u003c\/strong\u003e para precios, disponibilidad y confirmación técnica.\u003c\/p\u003e","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68020294680758,"sku":"E28H.1TBF5B","price":209.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/E28H.1TBF5B.jpg?v=1794208984","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/e28h-1tbf5b-mks-instruments-e28h-series-etch-sensor-baratron","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}